[發(fā)明專利]一種電沉積銅箔后處理裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110612960.3
• 申請日: 2021-06-02
• 公開（公告）號: CN113355704B
• 公開（公告）日: 2022-03-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 古明煌;謝基賢;羅志宏;李永明;郭志航;謝偉成
• 申請（專利權(quán)）人: 廣東嘉元科技股份有限公司
• 主分類號: C25D1/04
• 分類號: C25D1/04;C25D21/18;B08B1/00;B08B1/02;B08B3/02;F26B5/16;F26B13/00;F26B21/00
• 代理公司: 北京東方盛凡知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11562
• 代理人: 張雪

1.一種電沉積銅箔后處理裝置，其特征在于：包括安裝臺（1），所述安裝臺（1）上固定設(shè)置有電解槽（3），所述電解槽（3）底部設(shè)置有陽極板（4），所述電解槽（3）內(nèi)軸接有陰極輥（5），所述安裝臺（1）在陰極輥（5）的上方固定連接有安裝架（2），所述安裝架（2）上設(shè)置有銅箔清洗機(jī)構(gòu)，所述銅箔清洗機(jī)構(gòu)的一側(cè)設(shè)置有烘干機(jī)構(gòu)，所述烘干機(jī)構(gòu)的一側(cè)設(shè)置有收卷機(jī)構(gòu)；所述烘干機(jī)構(gòu)包括烘干箱體（21），所述烘干箱體（21）沿銅箔傳送方向的兩個(gè)端面上開設(shè)有進(jìn)箔口和出箔口，所述銅箔貫穿所述烘干箱體（21）并將其分為上下兩層，所述烘干箱體（21）同側(cè)的上下兩端面分別開設(shè)有進(jìn)風(fēng)口和出風(fēng)口；所述烘干箱體（21）內(nèi)部平行設(shè)置有兩組滑動板（22），所述烘干箱體（21）的頂部固定設(shè)置有雙向絲杠（23），所述雙向絲杠（23）的兩側(cè)分別螺紋連接有螺母（24），兩組所述螺母（24）分別與兩組滑動板（22）固定連接；所述滑動板（22）相對的側(cè)面上均開設(shè)有限位槽（25），所述銅箔的兩側(cè)與限位槽（25）相適配；靠近所述進(jìn)風(fēng)口和出風(fēng)口的滑動板（22）上連接有與進(jìn)風(fēng)口和出風(fēng)口相對應(yīng)的進(jìn)風(fēng)管（26）和出風(fēng)管（27），遠(yuǎn)離所述進(jìn)風(fēng)口和出風(fēng)口的滑動板（22）上設(shè)置有連通烘干箱體（21）為上下兩層的通風(fēng)道（28）；

所述清洗機(jī)構(gòu)包括第一擠液輥（6），所述第一擠液輥（6）與所述陰極輥（5）上的電解銅箔相接觸；所述第一擠液輥（6）的上方依次設(shè)置有第一真空吸附輥（7）、第一毛刷噴水輥（8）、第二真空吸附輥（9）和第二擠液輥（10），所述第一真空吸附輥（7）、第二真空吸附輥（9）和第二擠液輥（10）均與所述陰極輥（5）上的電解銅箔相接觸；所述清洗機(jī)構(gòu)還包括翻面輥（11），所述翻面輥（11）設(shè)置在背離所述第二擠液輥（10）的一側(cè)，所述翻面輥（11）的上方設(shè)置有第二毛刷噴水輥（12），所述第二擠液輥（10）的上方設(shè)置有第三真空吸附輥（13）；所述第一真空吸附輥（7）、第二真空吸附輥（9）和第三真空吸附輥（13）均包括第一輥體（31），所述第一輥體（31）的內(nèi)部設(shè)置有真空腔（32），所述第一輥體（31）的側(cè)壁上開設(shè)有若干個(gè)真空孔（33），所述安裝架（2）上固定設(shè)置有三組真空罩（14），三組所述真空罩（14）分別套設(shè)在第一真空吸附輥（7）、第二真空吸附輥（9）和第三真空吸附輥（13）的外側(cè)，所述真空罩（14）靠近陰極輥（5）上的電解銅箔的一側(cè)設(shè)置有豁口。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電沉積銅箔后處理裝置，其特征在于：所述第一毛刷噴水輥（8）和第二毛刷噴水輥（12）均包括第二輥體（41），所述第二輥體（41）的內(nèi)部開設(shè)有儲液腔（42），所述第二輥體（41）的側(cè)壁上開設(shè)有若干噴液口（43），所述噴液口（43）和儲液腔（42）相連通；所述第二輥體（41）的側(cè)壁上固定設(shè)置有刷毛（44）。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電沉積銅箔后處理裝置，其特征在于：所述收卷機(jī)構(gòu)包括收卷輥（15），所述收卷輥（15）與所述安裝臺（1）轉(zhuǎn)動連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電沉積銅箔后處理裝置，其特征在于：所述烘干箱體（21）的底部固定設(shè)置有干燥板（29），所述干燥板（29）的頂面上設(shè)置有滑軌，所述滑動板（22）上固定設(shè)置有與滑軌相適配的滑塊；所述干燥板（29）與烘干箱體（21）底板之間設(shè)置有干燥劑，所述干燥板（29）上開設(shè)有干燥孔。