[發(fā)明專利]液封式真空泵

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110612932.1
• 申請日: 2017-12-08
• 公開（公告）號: CN113202764B
• 公開（公告）日: 2023-02-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 川崎裕之;佐佐木望
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社荏原制作所
• 主分類號: F04C25/02
• 分類號: F04C25/02;F04C19/00;F04C29/00;F04C29/12
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 陳偉;孫明軒

本發(fā)明涉及液封式真空泵。該液封式真空泵具有收容密封液的殼體、和所述殼體內(nèi)所收容的至少一個葉輪，該液封式真空泵的特征在于，在支承所述葉輪的主軸將殼體貫穿的部分上設(shè)有軸封部件，所述葉輪具備：具有供所述主軸穿插的孔的圓筒狀的輪轂部；從所述輪轂部向徑向外側(cè)延伸的多個葉片；和在面對所述軸封部件一側(cè)從所述輪轂部的外周向徑向外側(cè)延伸的圓環(huán)狀的側(cè)板，所述側(cè)板的外徑比形成于所述殼體的軸封部件收容空間的內(nèi)徑大。

本申請是國際申請日為2017年12月8日、國際申請?zhí)枮镻CT/JP2017/044180、國家申請?zhí)枮?01780084217.7、發(fā)明名稱為“液封式真空泵”的發(fā)明申請的分案申請。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及在電機(jī)的主軸(旋轉(zhuǎn)軸)的軸端部安裝有兩級葉輪(impeller)的兩級液封式真空泵。另外，本發(fā)明涉及如下的液封式真空泵，其具有圓形殼體、相對于圓形殼體的中心偏心地安裝的葉輪、和設(shè)置在支承葉輪的主軸將殼體貫穿的部分上的軸封部。

背景技術(shù)

已知一種液封式真空泵，其具有圓形殼體、和相對于圓形殼體的中心偏心地安裝的葉輪(impeller)，在殼體內(nèi)封入水或其他液體，通過基于葉輪的旋轉(zhuǎn)所產(chǎn)生的離心力而沿著殼體內(nèi)壁形成液膜(液環(huán))，利用由液膜和相鄰的兩片葉片形成的葉片室的容積變化來起到泵作用。

在設(shè)計高真空的液封式真空泵的情況下，雖然使用兩級式或者噴射式的泵，但不論哪種類型的尺寸、質(zhì)量都很大。尤其，在兩級式的情況下，將固定有兩片葉輪的旋轉(zhuǎn)軸由軸承兩端支承的方案為多數(shù)，全長會變長。

在設(shè)計小型、高真空的泵的情況下，由于以往的對旋轉(zhuǎn)軸兩端支承的泵構(gòu)造會成為大型，所以有時會設(shè)計將葉輪以兩級設(shè)于直動型電機(jī)旋轉(zhuǎn)軸的軸端部的構(gòu)造，來謀求真空泵的小型、輕量化。

在設(shè)計兩級液封式真空泵的情況下，通例為：相對于大氣壓側(cè)的第二級葉輪而增大真空側(cè)的第一級葉輪的寬度，來增大排氣速度。

在專利文獻(xiàn)1(日本實用新型登記公報第2508668號公報)中記載了一種兩級水封式真空泵，其是上述的將葉輪以兩級設(shè)于直動型電機(jī)旋轉(zhuǎn)軸的軸端部的真空泵，其中，將設(shè)于第一級泵室105內(nèi)的第一級葉輪106和設(shè)于第二級泵室107內(nèi)的第二級葉輪108固定于相同的旋轉(zhuǎn)軸，并將第一級泵室105的排氣口與第二級泵室107的吸氣口連通。

另外，液封式真空泵可以與分開設(shè)置的電動機(jī)的主軸連接而驅(qū)動，也可以將上述葉輪安裝于直動型電機(jī)的主軸而驅(qū)動。另外，在支承葉輪的主軸將排氣側(cè)的殼體貫穿的部分上，設(shè)置有用于進(jìn)行軸密封的機(jī)械密封件等的軸封部件。

已知真空泵通過謀求高速化而能夠縮小葉輪直徑，而能夠?qū)崿F(xiàn)小型·輕量化。例如，若將驅(qū)動真空泵的電動機(jī)從四極的替換為兩級的，則兩級的電動機(jī)相對于四極的電動機(jī)增加旋轉(zhuǎn)速度，由此相對于四極而將葉輪直徑設(shè)計得小，使得軸動力不會變得過大。為了即使在縮小葉輪直徑的同時，也極力將由相鄰的兩片葉片所形成的葉片室的容積確保得大，而也要縮小葉輪的輪轂直徑。液封式真空泵對由葉輪、殼體和液膜所形成的空間的氣體進(jìn)行進(jìn)氣排氣，由此需要使葉輪與殼體間的側(cè)隙變窄而形成液膜。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本實用新型登記第2508668號公報

專利文獻(xiàn)2：日本特開2015-175322號公報

發(fā)明內(nèi)容

關(guān)于上述兩級水封式真空泵，在專利文獻(xiàn)1的段落“0004”中如下所述地進(jìn)行了記載。

“但是，在如上所述的兩級水封式真空泵中，吸入的空氣在第一級泵室105中被壓縮，在體積減少了的狀態(tài)下向第二級泵室107流入，由此第二級泵室107中的空氣流量與第一級泵室105中的空氣流量相比需要根據(jù)上述壓縮的程度而設(shè)定得少。為此，通常僅變更兩葉輪106、108的寬度尺寸來對應(yīng)該空氣流量的變化。”