[發(fā)明專利]鍍膜脆性材料的激光加工裝置及其方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110608629.4 | 申請日： | 2021-06-01 |
| 公開（公告）號： | CN113146072A | 公開（公告）日： | 2021-07-23 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 趙裕興;田超 | 申請（專利權(quán)）人： | 蘇州德龍激光股份有限公司 |
| 主分類號： | B23K26/38 | 分類號： | B23K26/38;B23K26/064;B23K26/06;B23K26/067 |
| 代理公司： | 江蘇圣典律師事務(wù)所 32237 | 代理人： | 王玉國 |
| 地址： | 215021 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 鍍膜 脆性 材料 激光 加工 裝置 及其 方法 | ||
1.鍍膜脆性材料的激光加工裝置，其特征在于：激光器(1)的輸出光路上依次布置有半波片(2)和分光立方體(3)；
分光立方體(3)的原方向出射的P光光路布置有第一反射鏡(4)、聚焦鏡(5)、第一衍射鏡(6)、第二反射鏡(7)，第二反射鏡(7)的反射光路與偏振分光合束鏡(9)相對；
分光立方體(3)的垂直方向出射的S光光路布置有第二衍射鏡(8)，第二衍射鏡(8)的輸出光路與偏振分光合束鏡(9)相對；
偏振分光合束鏡(9)的輸出光路布置有物鏡(10)，物鏡(10)正對于加工平臺(11)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍍膜脆性材料的激光加工裝置，其特征在于：半波片(2)安裝于旋轉(zhuǎn)電機上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍍膜脆性材料的激光加工裝置，其特征在于：第二反射鏡(7)與偏振分光合束鏡(9)之間的光路上布置有第一光閘。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍍膜脆性材料的激光加工裝置，其特征在于：第二衍射鏡(8)與偏振分光合束鏡(9)之間的光路上布置有第二光閘。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍍膜脆性材料的激光加工裝置，其特征在于：所述激光器(1)為1064nm波長、最大功率25W、脈寬小于15ps的超短脈沖固體激光器。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍍膜脆性材料的激光加工裝置，其特征在于：所述偏振分光合束鏡(9)采用50％反射、50％透射的半透半反鏡。
7.鍍膜脆性材料的激光加工方法，其特征在于：激光器(1)發(fā)出的光束經(jīng)過半波片(2)后進入分光立方體(3)，P光經(jīng)分光立方體(3)后從原方向出射，S光則從垂直方向出射；
從分光立方體(3)原方向出射的光束，經(jīng)第一反射鏡(4)后進入聚焦鏡(5)，聚焦后再進入第一衍射鏡(6)，再經(jīng)第二反射鏡(7)后進入偏振分光合束鏡(9)；
從分光立方體(3)垂直方向出射的光束進入第二衍射鏡(8)，繼而也進入偏振分光合束鏡(9)；
從偏振分光合束鏡(9)出射的P光經(jīng)過物鏡(10)實現(xiàn)成絲切割，從偏振分光合束鏡(9)出射的S光經(jīng)過物鏡(10)實現(xiàn)環(huán)形光斑刻蝕。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的鍍膜脆性材料的激光加工方法，其特征在于：半波片(2)安裝在旋轉(zhuǎn)電機上，驅(qū)動半波片(2)可以以垂直其中心的軸線進行360度任意角度旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)電機帶動半波片(2)角度變化，使得出射的P光和S光的比例發(fā)生變化。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的鍍膜脆性材料的激光加工方法，其特征在于：激光器(1)輸出1064nm波長的皮秒激光。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于蘇州德龍激光股份有限公司，未經(jīng)蘇州德龍激光股份有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202110608629.4/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
