[發明專利]機械手及半導體加工設備

在審

• 申請號: 202110608342.1
• 申請日: 2021-06-01
• 公開（公告）號: CN113437010A
• 公開（公告）日: 2021-09-24
• 發明（設計）人: 平林軍;任曉濱
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/687;B25J15/06;B25J11/00
• 代理公司: 北京國昊天誠知識產權代理有限公司 11315
• 代理人: 施敬勃

1.一種機械手，其特征在于，包括支撐臂(100)和吸附件(200)，所述支撐臂(100)與所述吸附件(200)固定相連，所述吸附件(200)開設有負壓吸附孔，所述吸附件(200)的外側邊緣開設有圓弧形豁口(211)，所述圓弧形豁口(211)與所述支撐臂(100)分別位于所述吸附件(200)相背的兩側。

2.根據權利要求1所述的機械手，其特征在于，所述圓弧形豁口(211)的圓心與所述吸附件(200)的圓心重合，所述圓弧形豁口(211)的圓心角大于或等于60°，且小于或等于120°。

3.根據權利要求2所述的機械手，其特征在于，所述圓弧形豁口(211)沿所述吸附件(200)的徑向的中心線為第一中心線，所述支撐臂(100)沿所述吸附件(200)的徑向的中心線為第二中心線，所述第一中心線與所述第二中心線共線且均穿過所述吸附件(200)的中心。

4.根據權利要求1所述的機械手，其特征在于，所述吸附件(200)包括內環吸附區域(220)和外環吸附區域(210)，所述內環吸附區域(220)與所述外環吸附區域(210)同軸設置，且所述內環吸附區域(220)位于所述外環吸附區域(210)之內，所述圓弧形豁口(211)開設于所述外環吸附區域(210)背向所述內環吸附區域(220)的邊緣上，所述負壓吸附孔開設在所述內環吸附區域(220)和所述外環吸附區域(210)的至少一者上，所述內環吸附區域(220)內凹于所述外環吸附區域(210)。

5.根據權利要求4所述的機械手，其特征在于，所述負壓吸附孔包括多個第一吸附孔(212)和多個第二吸附孔(221)，所述多個第一吸附孔(212)間隔設置在所述外環吸附區域(210)，所述多個第二吸附孔(221)間隔設置在所述內環吸附區域(220)。

6.根據權利要求5所述的機械手，其特征在于，所述多個第二吸附孔(221)包括一個條形孔和多個圓孔，所述條形孔設于所述圓弧形豁口(211)的內側，所述多個圓孔沿所述內環吸附區域(220)的圓周方向間隔分布。

7.根據權利要求5所述的機械手，其特征在于，所述多個第一吸附孔(212)包括第一組第一吸附孔(212)和第二組第一吸附孔(212)，所述第一組第一吸附孔(212)與所述第二組第一吸附孔(212)，以經過所述圓弧形豁口(211)的中心和所述吸附件(200)的圓心的連線對稱設置。

8.根據權利要求7所述的機械手，其特征在于，所述第一組第一吸附孔(212)呈預設形狀分布，所述第一組第一吸附孔(212)距所述吸附件(200)的圓心的距離不全相等。

9.根據權利要求8所述的機械手，其特征在于，所述預設形狀為W形、V形或S形。

10.根據權利要求7所述的機械手，其特征在于，所述第一組第一吸附孔(212)和所述第二組第一吸附孔(212)均距所述圓弧形豁口(211)的距離為第一距離，所述第一組第一吸附孔(212)和所述第二組第一吸附孔(212)均距所述支撐臂(100)的距離為第二距離，所述第一距離小于第二距離。

11.根據權利要求4所述的機械手，其特征在于，所述圓弧形豁口(211)在所述吸附件(200)的徑向上尺寸為第一尺寸，所述外環吸附區域(210)在所述吸附件(200)的徑向上尺寸為第二尺寸，所述第一尺寸小于第二尺寸。