[發明專利]掩模數據切割方法和裝置、設備及存儲介質

在審

• 申請號: 202110607431.4
• 申請日: 2021-06-01
• 公開（公告）號: CN113378507A
• 公開（公告）日: 2021-09-10
• 發明（設計）人: 張榮佳;韓春營;俞宗強;蔣俊海
• 申請（專利權）人: 中科晶源微電子技術（北京）有限公司
• 主分類號: G06F30/392
• 分類號: G06F30/392;G06F30/398
• 代理公司: 北京市鼎立東審知識產權代理有限公司 11751
• 代理人: 陳佳妹;朱慧娟

1.一種掩模數據切割方法，其特征在于，包括：

遍歷掩模上的每一個多邊形得到多個凹角；

對每一個所述多邊形內的凹角進行匹配得到多個弦；

從多個所述弦中篩選獨立弦，使用所述獨立弦對所述多邊形進行切割得到子多邊形；其中，所述獨立弦為不與其他所述弦相交的弦；

將所述子多邊形中未匹配的凹角引出兩條射線至所述子多邊形的邊緣處，通過相交的所述射線之間的交點將所述射線劃分為多個段；

從多個所述段中選擇候選段進行貪婪選擇算法得到切割段；其中，所述候選段為與所述凹角相接的所述段；

通過所述切割段將所述掩模切割為多個矩形。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，遍歷掩模上的每一個多邊形得到多個凹角包括：

計算所述多邊形中相鄰的兩條邊的方向向量的外積；其中，外積為垂直于所述兩條邊所構成平面的垂直向量；

根據所述垂直向量的方向確定所述兩條邊之間的角是否為所述凹角。

3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，對每一個所述多邊形內的凹角進行匹配得到多個弦包括：

若兩個所述凹角有相同的橫坐標或縱坐標，則連接兩個所述凹角的相同坐標的邊；

將兩個所述相同坐標的邊之間的線段作為所述弦。

4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，從多個所述弦中篩選獨立弦，使用所述獨立弦對所述多邊形進行切割得到子多邊形包括：

從多個所述弦中使用最大匹配問題方法進行篩選得到所述獨立弦；

使用所述獨立弦對所述多邊形進行切割得到子多邊形。

5.根據權利要求1或4所述的方法，其特征在于，從多個所述弦中篩選獨立弦，使用所述獨立弦對所述多邊形進行切割得到子多邊形，還包括：

若所述獨立弦與同方向的所述多邊形的邊緣的最小距離小于預設閾值，則不進行切割。

6.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，將所述子多邊形中未匹配的凹角引出兩條射線至所述子多邊形的邊緣處，通過相交的所述射線之間的交點將所述射線劃分為多個段包括：

查找與所述段在所述射線的方向上的相連段；

查找與所述段起點相同的垂直段；

查找與所述段的方向平行的相鄰段，其中，所述相鄰段與所述段的距離小于預設閾值，所述相連段、所述垂直段和所述相鄰段均為劃分得到的所述段。

7.根據權利要求6所述的方法，其特征在于，從多個所述段中選擇候選段進行貪婪選擇算法得到切割段包括：

計算所述候選段的增益和權重；其中，所述權重為選擇當前所述候選段后會引入的細條矩形的長邊長度，所述細條矩形的寬度小于所述預設閾值，所述增益為當前所述候選段的所述垂直段的權重減去當前所述候選段的權重；

依據所述候選段的增益從大到小創建一個堆；其中，所述堆存放所述候選段的名字和所述候選段的增益；

建立所述候選段的字典；其中，所述字典用于記錄所述段的增益和所述段是否被訪問；

依據所述堆和所述字典得到所述切割段。

8.根據權利要求7所述的方法，其特征在于，依據所述堆和所述字典得到所述切割段包括：

查看所述堆的頂部的段對應的字典；

若所述字典中為沒有被訪問過，則取出所述頂部的段作為所述切割段，并在所述頂部的段的字典中標記為已訪問；

將所述頂部的段的垂直段的字典中標記為已訪問；

將所述頂部的段的垂直段的所有相連段的字典中標記為已訪問；

在所述頂部的段的相鄰段的字典中更新所述頂部的段的相鄰段的增益；

將所述頂部的段的相連段放入所述堆中。