[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體用帶腔體陶瓷部件高度結(jié)合制備裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110607267.7
• 申請(qǐng)日: 2021-06-01
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113503297B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-03-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王超杰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 合肥英仕博精密裝備有限公司
• 主分類號(hào): F16B11/00
• 分類號(hào): F16B11/00;C04B37/00;B05C13/02;B05C1/02
• 代理公司: 合肥正則元起專利代理事務(wù)所(普通合伙) 34160
• 代理人: 劉念

1.一種半導(dǎo)體用帶腔體陶瓷部件高度結(jié)合制備裝置，包括有底板組件（1）、控制屏（5）、支座（6）、支撐板（7）、支腳（8）、防滑墊（9）、燒結(jié)爐（10）和控制器（11）；其特征是：還包括有涂膠單元（2）、組合單元（3）和擠壓燒結(jié)單元（4）；底板組件（1）與涂膠單元（2）相連接；底板組件（1）與組合單元（3）相連接；底板組件（1）與擠壓燒結(jié)單元（4）相連接；底板組件（1）與支座（6）相連接；底板組件（1）與支撐板（7）相連接；底板組件（1）與四組支腳（8）相連接；底板組件（1）與燒結(jié)爐（10）相連接；涂膠單元（2）與組合單元（3）相連接；涂膠單元（2）與擠壓燒結(jié)單元（4）相連接；涂膠單元（2）與支撐板（7）相連接；組合單元（3）與擠壓燒結(jié)單元（4）相連接；控制屏（5）與支座（6）相連接；四組支腳（8）與四組防滑墊（9）相連接；燒結(jié)爐（10）與控制器（11）相連接；

涂膠單元（2）包括有電機(jī)（201）、第一傳動(dòng)軸（202）、第一錐齒輪（203）、第二錐齒輪（204）、第二傳動(dòng)軸（205）、第一直齒輪（206）、第二直齒輪（207）、第三傳動(dòng)軸（208）、圓盤(pán)（209）、第一彈簧（210）、圓塊（211）、環(huán)形板（212）、第一伸縮桿（213）、第二伸縮桿（214）、膠刷（215）、第一傳動(dòng)輪（216）、第二傳動(dòng)輪（217）、第四傳動(dòng)軸（218）、第三直齒輪（219）、第三伸縮桿（220）、第一固定板（221）、第一電動(dòng)推桿（222）、第四直齒輪（223）、齒桿（224）、楔形板（225）、第一光桿（226）、第二光桿（227）、球頭桿（228）、第二固定板（229）、第二彈簧（230）和第三錐齒輪（231）；電機(jī)（201）與支撐板（7）進(jìn)行固接；電機(jī)（201）與第一傳動(dòng)軸（202）進(jìn)行固接；第一傳動(dòng)軸（202）與底板組件（1）進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)連接；第一傳動(dòng)軸（202）與第一錐齒輪（203）進(jìn)行固接；第一錐齒輪（203）與擠壓燒結(jié)單元（4）相連接；第一傳動(dòng)軸（202）與第三錐齒輪（231）進(jìn)行固接；第三錐齒輪（231）與第二錐齒輪（204）相嚙合；第二錐齒輪（204）與第二傳動(dòng)軸（205）進(jìn)行固接；第二傳動(dòng)軸（205）與底板組件（1）進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)連接；第二傳動(dòng)軸（205）與第一直齒輪（206）進(jìn)行固接；第一直齒輪（206）與第二直齒輪（207）相嚙合；第二直齒輪（207）與第三傳動(dòng)軸（208）進(jìn)行固接；第三傳動(dòng)軸（208）與底板組件（1）進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)連接；第三傳動(dòng)軸（208）與圓盤(pán)（209）進(jìn)行固接；圓盤(pán)（209）與第一彈簧（210）進(jìn)行固接；第一彈簧（210）與圓塊（211）進(jìn)行固接；圓塊（211）與第三傳動(dòng)軸（208）相連接；圓塊（211）與環(huán)形板（212）進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)連接；環(huán)形板（212）與第一伸縮桿（213）進(jìn)行固接；第一伸縮桿（213）與底板組件（1）進(jìn)行固接；環(huán)形板（212）與第二伸縮桿（214）進(jìn)行固接；第二伸縮桿（214）與底板組件（1）進(jìn)行固接；第三傳動(dòng)軸（208）的側(cè)部設(shè)置有膠刷（215）；膠刷（215）與底板組件（1）進(jìn)行固接；第一傳動(dòng)軸（202）與第一傳動(dòng)輪（216）進(jìn)行固接；第一傳動(dòng)輪（216）通過(guò)皮帶與第二傳動(dòng)輪（217）進(jìn)行傳動(dòng)連接；第二傳動(dòng)輪（217）與第四傳動(dòng)軸（218）進(jìn)行固接；第四傳動(dòng)軸（218）與底板組件（1）進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)連接；第四傳動(dòng)軸（218）的側(cè)部設(shè)置有第三直齒輪（219）；第三直齒輪（219）與第三伸縮桿（220）進(jìn)行固接；第三伸縮桿（220）與底板組件（1）進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)連接；第三伸縮桿（220）與第一固定板（221）進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)連接；第一固定板（221）與第一電動(dòng)推桿（222）進(jìn)行固接；第一電動(dòng)推桿（222）與底板組件（1）進(jìn)行固接；第三伸縮桿（220）與第四直齒輪（223）進(jìn)行固接；第四直齒輪（223）與齒桿（224）相嚙合；齒桿（224）與楔形板（225）進(jìn)行固接；楔形板（225）與第一光桿（226）進(jìn)行滑動(dòng)連接；第一光桿（226）與底板組件（1）進(jìn)行固接；第一光桿（226）與組合單元（3）進(jìn)行固接；楔形板（225）與第二光桿（227）進(jìn)行滑動(dòng)連接；第二光桿（227）與底板組件（1）進(jìn)行固接；第二光桿（227）與組合單元（3）進(jìn)行固接；楔形板（225）與多組球頭桿（228）相接觸；球頭桿（228）與環(huán)形板（212）相接觸；球頭桿（228）與第二固定板（229）進(jìn)行滑動(dòng)連接；第二固定板（229）與底板組件（1）進(jìn)行固接；球頭桿（228）與第二彈簧（230）進(jìn)行固接；第二彈簧（230）與第二固定板（229）進(jìn)行固接；

組合單元（3）包括有支撐架（301）、第二電動(dòng)推桿（302）、第三固定板（303）、承重板（304）、電動(dòng)滑軌（305）、第一滑塊（306）、第四固定板（307）、第二滑塊（308）、第五固定板（309）、電動(dòng)轉(zhuǎn)盤(pán)（310）、第一連桿（311）、第一固定桿（312）和擠壓桿（313）；支撐架（301）與底板組件（1）進(jìn)行固接；支撐架（301）與擠壓燒結(jié)單元（4）相連接；支撐架（301）與第二電動(dòng)推桿（302）進(jìn)行固接；第二電動(dòng)推桿（302）與第三固定板（303）進(jìn)行固接；支撐架（301）與承重板（304）進(jìn)行滑動(dòng)連接；支撐架（301）的側(cè)部設(shè)置有電動(dòng)滑軌（305）；電動(dòng)滑軌（305）與底板組件（1）進(jìn)行固接；電動(dòng)滑軌（305）與第一滑塊（306）進(jìn)行滑動(dòng)連接；第一滑塊（306）與第四固定板（307）進(jìn)行固接；第四固定板（307）與第二滑塊（308）進(jìn)行固接；第二滑塊（308）與第五固定板（309）進(jìn)行滑動(dòng)連接；第五固定板（309）與底板組件（1）進(jìn)行固接；第五固定板（309）與第一光桿（226）進(jìn)行固接；第五固定板（309）與第二光桿（227）進(jìn)行固接；第四固定板（307）與電動(dòng)轉(zhuǎn)盤(pán)（310）的定子進(jìn)行固接；電動(dòng)轉(zhuǎn)盤(pán)（310）的轉(zhuǎn)子與第一連桿（311）進(jìn)行固接；第一連桿（311）與第一固定桿（312）相接觸；第一固定桿（312）與第四固定板（307）進(jìn)行固接；第四固定板（307）與擠壓桿（313）進(jìn)行固接；

擠壓燒結(jié)單元（4）包括有第四錐齒輪（401）、第五傳動(dòng)軸（402）、第五錐齒輪（403）、第六錐齒輪（404）、第六傳動(dòng)軸（405）、第七錐齒輪（406）、第八錐齒輪（407）、第七傳動(dòng)軸（408）、第九錐齒輪（409）、第十錐齒輪（410）、第八傳動(dòng)軸（411）、連接架（412）、第二連桿（413）、連軸（414）、第七固定板（415）、第二固定桿（416）、平板（417）和傳送帶（418）；第一錐齒輪（203）與第四錐齒輪（401）相嚙合；第四錐齒輪（401）與第五傳動(dòng)軸（402）進(jìn)行固接；第五傳動(dòng)軸（402）與底板組件（1）進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)連接；第五傳動(dòng)軸（402）與第五錐齒輪（403）進(jìn)行固接；第五錐齒輪（403）與第六錐齒輪（404）相嚙合；第六錐齒輪（404）與第六傳動(dòng)軸（405）進(jìn)行固接；第六傳動(dòng)軸（405）與底板組件（1）進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)連接；第六傳動(dòng)軸（405）與第七錐齒輪（406）進(jìn)行固接；第七錐齒輪（406）與第八錐齒輪（407）相嚙合；第八錐齒輪（407）與第七傳動(dòng)軸（408）進(jìn)行固接；第七傳動(dòng)軸（408）與底板組件（1）進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)連接；第七傳動(dòng)軸（408）與第九錐齒輪（409）進(jìn)行固接；第九錐齒輪（409）與第十錐齒輪（410）相嚙合；第十錐齒輪（410）與第八傳動(dòng)軸（411）進(jìn)行固接；第八傳動(dòng)軸（411）與底板組件（1）進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)連接；第八傳動(dòng)軸（411）與連接架（412）進(jìn)行固接；連接架（412）與第二連桿（413）進(jìn)行固接；第二連桿（413）與底板組件（1）進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)連接；連接架（412）與連軸（414）進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)連接；連軸（414）與第七固定板（415）進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)連接；第七固定板（415）與底板組件（1）進(jìn)行滑動(dòng)連接；第七固定板（415）與四組第二固定桿（416）進(jìn)行固接；四組第二固定桿（416）均與平板（417）進(jìn)行固接；平板（417）的下方設(shè)置有傳送帶（418）；傳送帶（418）與底板組件（1）進(jìn)行固接。