[發(fā)明專利]樣品表面位置在線定位測量裝置及其漂移監(jiān)測方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110605782.1 | 申請日： | 2021-05-31 |
| 公開（公告）號： | CN113358569A | 公開（公告）日： | 2021-09-07 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王丹;李璟;陳進新;武志鵬;齊威;高斌;折昌美 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學院微電子研究所 |
| 主分類號： | G01N21/01 | 分類號： | G01N21/01;G01N21/84;G01N21/95 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人： | 孫蕾 |
| 地址： | 100029 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 樣品 表面 位置 在線 定位 測量 裝置 及其 漂移 監(jiān)測 方法 | ||
1.一種樣品表面位置在線定位測量裝置，包括：
定位系統(tǒng)，用于對待測的樣品的樣品表面進行在線定位，將所述樣品表面保持在參考面位置；以及
測量系統(tǒng)，用于對在參考面位置的所述樣品表面進行測量，完成所述樣品表面的樣品表面位置的在線定位測量。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的樣品表面位置在線定位測量裝置，其中，所述定位系統(tǒng)包括：
三維調(diào)節(jié)機構(gòu)，用于調(diào)節(jié)所述樣品表面的位置，包括用于承載所述樣品的樣品臺；
計量機構(gòu)，用于對所述樣品表面的定位測量，所述計量機構(gòu)包括：
支撐框架；以及
位移傳感器組，通過固定結(jié)構(gòu)固定于所述支撐框架，能夠?qū)μ幱谠O(shè)定的參考面位置的所述樣品表面進行測量，得到標準位置數(shù)據(jù)，所述位移傳感器組還能夠?qū)λ鰳悠繁砻娴奈恢眠M行監(jiān)測，得到監(jiān)測位置數(shù)據(jù)；
所述三維調(diào)節(jié)機構(gòu)根據(jù)監(jiān)測位置數(shù)據(jù)，將所述樣品表面的位置調(diào)節(jié)至所述參考面位置，完成所述樣品的在線定位。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的樣品表面位置在線定位測量裝置，其中，所述三維調(diào)節(jié)機構(gòu)還包括：
基板；以及
調(diào)節(jié)板，通過精密調(diào)節(jié)螺釘連接于所述基板；所述精密調(diào)節(jié)螺釘，用于將所述樣品表面調(diào)節(jié)至參考面位置。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的樣品表面位置在線定位測量裝置，其中，所述精密調(diào)節(jié)螺釘具有鎖緊結(jié)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的樣品表面位置在線定位測量裝置，其中，所述位移傳感器組包括：多個不在同一直線上的位移傳感器，各位移傳感器均能分別獲取一個相對于所述樣品表面的距離，進而能夠確定所述樣品表面所在平面的位置數(shù)據(jù)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的樣品表面位置在線定位測量裝置，其中，所述光學測量系統(tǒng)為的高度測量系統(tǒng)、半導體曝光光學系統(tǒng)、顯微成像光學系統(tǒng)其中一種。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的樣品表面位置在線定位測量裝置，其中，所述參考面為通過外部校準和標定工具得到的標準參考面。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7所述任一的樣品表面位置在線定位測量裝置的漂移檢測方法，包括：
操作S100：在線檢測并確定所述定位系統(tǒng)或所述測量系統(tǒng)發(fā)生漂移；以及
操作S200：對發(fā)生漂移的所述定位系統(tǒng)或所述測量系統(tǒng)進行校準。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的漂移檢測方法，其中，所述操作S100包括：
操作S110：讀取位所述移傳感器的所述監(jiān)測位置數(shù)據(jù)；
操作S120：對所述監(jiān)測位置數(shù)據(jù)與所述參考面的位置數(shù)據(jù)進行對比得到高度差；以及
操作S130：對所述高度差與所述測量系統(tǒng)的焦深對比分析，其中，所述高度差小于等于所述焦深的值的一半為測量系統(tǒng)發(fā)生漂移，所述高度差大于所述焦深的值的一半為定位系統(tǒng)發(fā)生漂移。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的漂移檢測方法，其中，所述操作S200包括：
操作S210：通過三維調(diào)節(jié)機構(gòu)，根據(jù)監(jiān)測位置數(shù)據(jù)，將所述樣品表面的位置調(diào)節(jié)至所述標準參考面位置，完成所述定位系統(tǒng)或所述測量系統(tǒng)的在線校準；以及
操作S220：完成所述樣品表面的在線校準后，所述高度差仍然大于所述焦深的值的一半，為所述定位系統(tǒng)和所述測量系統(tǒng)發(fā)生漂移，進而重新通過外部校準和標定工具得到所述參考面，完成所述定位系統(tǒng)和所述測量系統(tǒng)的在線校準。
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