[發明專利]一種暗場散射顯微成像和光譜測試系統

有效

• 申請號: 202110604407.5
• 申請日: 2021-05-31
• 公開（公告）號: CN113359288B
• 公開（公告）日: 2023-03-21
• 發明（設計）人: 袁浚瀟;侯宜棟;楊秀;吳軒楠;高福華;杜驚雷
• 申請（專利權）人: 四川大學
• 主分類號: G02B21/10
• 分類號: G02B21/10;G02B21/18;G02B21/00
• 代理公司: 北京同恒源知識產權代理有限公司 11275
• 代理人: 趙榮之

1.一種暗場散射顯微成像和光譜測試系統，其特征在于，包括至少一個光源（1）、一個光纖探頭（2）、第一曲面反射鏡（4）、第二曲面反射鏡（9）、第三曲面反射鏡（11）、第四曲面反射鏡（13）、至少一個光闌（5），2個平面反射鏡（3、6）、半透半反鏡（10），三維調節臺（8），光譜儀（12）、CCD（14）、待測樣品（7）；

散射光路沿入射光經過順序依次為第一平面鏡、第一曲面反射鏡、光闌、第二曲面反射鏡、待測樣品、第二平面鏡、第三曲面鏡、第三曲面反射鏡，最后匯聚于光譜儀探頭；在散射光路中，入射的非平行光經過第一曲面反射鏡之后轉化為平行光，平行光經過光闌后，經過第二曲面反射鏡后聚焦待測樣品發生散射，散射光再經過第二曲面反射鏡反射后仍為平行光，與入射平行光平行的方向出射，經過半透半反鏡分為兩路光線，一路經第三曲面反射鏡匯聚于光譜儀探頭，一路經過第四曲面鏡匯聚于CCD探頭，同時進行顯微成像和光譜；

所述第一曲面反射鏡（4）、第二曲面反射鏡（9）均為凹面反射鏡，放置于同一光軸上，反射面彼此相對，入射光、散射光共用一段光路，起到縮小體積的作用。

2.如權利要求1所述的一種暗場散射顯微成像和光譜測試系統，其特征在于：所述光纖探頭（2）通過光纖與光源（1）相連，且光纖探頭（2）經過平面反射鏡（3）作鏡像對稱后，光纖探頭（2）的鏡像位于第一曲面反射鏡（4）的焦點位置，以保證入射光經過第一曲面反射鏡（4）反射后為平行光出射。

3.如權利要求1所述的一種暗場散射顯微成像和光譜測試系統，其特征在于：所述光源（1）為可見光、紅外、紫外、太赫茲波段的光源。

4.如權利要求1所述的一種暗場散射顯微成像和光譜測試系統，其特征在于：所述平面反射鏡（6）、平面反射鏡（3）在光闌（5）方向上的投影，其尺寸與光闌尺寸相同或小于光闌尺寸。

5.如權利要求1所述的一種暗場散射顯微成像和光譜測試系統，其特征在于：所述三維調節臺（8）的懸臂上設置了穩定作用的支架。

6.如權利要求1所述的一種暗場散射顯微成像和光譜測試系統，其特征在于：所述待測樣品（7）由三維調節臺（8）調節其位置，使得待測樣品位于第二曲面反射鏡（9）的焦點處，以保證平行入射光經待測樣品（7）散射后、由第二曲面反射鏡（9）反射后為平行光出射。

7.如權利要求1所述的一種暗場散射顯微成像和光譜測試系統，其特征在于：所述半透半反鏡（10）將出射光分為兩路，同時進行成像和光譜測試。

8.如權利要求1所述的一種暗場散射顯微成像和光譜測試系統，其特征在于：所述第三曲面反射鏡（11）替換為光纖探頭，并連接便攜式光譜儀，以降低成本。