[發明專利]一種4D打印CuAl基合金EBSD樣品的制備方法

有效

• 申請號: 202110602470.5
• 申請日: 2021-05-31
• 公開（公告）號: CN113138203B
• 公開（公告）日: 2022-08-30
• 發明（設計）人: 李瑞迪;康景濤;鄭聃;袁鐵錘
• 申請（專利權）人: 中南大學
• 主分類號: G01N23/203
• 分類號: G01N23/203;G01N23/20008
• 代理公司: 南京禹為知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 32272
• 代理人: 劉峰

本發明公開了一種4D打印CuAl基合金EBSD樣品的制備方法，包括，使用電火花線切割機切割CuAl基合金；對切割好的樣品進行清洗，去除切割過程中殘留在樣品表面的金屬粉末和油污；對清洗好的樣品進行鑲嵌，鑲嵌后厚度為8～12mm；研磨4D打印CuAl基合金樣品；對研磨好的樣品進行機械拋光，再進行化學機械拋光，拋光結束后用去離子水沖洗樣品表面后，乙醇脫水吹干樣品，即得4D打印CuAl基合金EBSD樣品；所述拋光液，以拋光液總質量為百分百計，包括氣相二氧化硅2～10％，尿素過氧化氫2～10％，殼寡糖0.5～2％，余量為蒸餾水。本發明制備4D打印CuAl基合金EBSD樣品操作簡單、耗時短、拋光區域大且不需要昂貴的設備，實現了4D打印CuAl基合金EBSD樣品的高效低成本制備。

技術領域

本發明屬于合金分析技術領域，具體涉及到一種4D打印CuAl基合金EBSD樣品的制備方法。

背景技術

EBSD技術是一種裝配在掃描電子顯微鏡上使用的顯微表征技術，是進行材料晶體取向和微觀組織分析的重要手段。EBSD測試通過掃描電鏡中電子束在傾斜樣品表面激發出并形成衍射菊池帶(衍射花樣)，然后對背散射衍射花樣進行標定，實現樣品晶體取向、物相、晶界性質、晶格常數和應變分布等分析。

4D打印CuAl基合金具有優良的形狀記憶性能，并且具有相變溫度高、易于加工和原材料價格便宜等優勢，不僅可以用于航空航天等高端領域，還可以很好的推廣到民用領域。4D打印CuAl基合金的晶粒尺寸、相組成及含量和織構組織對其形狀記憶性能和力學性能有顯著的影響，利用EBSD技術可進行形狀記憶合金的晶粒尺寸、相組成及含量和織構組織的測試分析。

因此，EBSD技術越來越受到形狀記憶合金研究者的關注。EBSD測試對測試樣品的表面質量要求非常高，如果樣品表面不夠平整如存在浮凸或劃痕，或樣品表面存在應力層，將無法獲得有效的衍射花樣，不能進行晶粒尺寸、相組成及含量和織構組織的測試分析。

化學機械拋光工藝可以為金屬材料提供平面化拋光的能力，近年來受到了廣泛認可，在集成電路全局平面化領域已有廣泛使用。但使用化學機械拋光方法制備4D打印CuAl基合金EBSD樣品目前鮮有報道。

發明內容

本部分的目的在于概述本發明的實施例的一些方面以及簡要介紹一些較佳實施例。在本部分以及本申請的說明書摘要和發明名稱中可能會做些簡化或省略以避免使本部分、說明書摘要和發明名稱的目的模糊，而這種簡化或省略不能用于限制本發明的范圍。

鑒于上述和/或現有產品中存在的問題，提出了本發明。

因此，本發明其中一個目的是，克服現有技術中的不足，提供一種4D打印CuAl基合金EBSD樣品的制備方法。

為解決上述技術問題，根據本發明的一個方面，本發明提供了如下技術方案：一種4D打印CuAl基合金EBSD樣品的制備方法，包括，

切割：使用電火花線切割機切割CuAl基合金；

清洗：對切割好的樣品進行清洗，去除切割過程中殘留在樣品表面的金屬粉末和油污；

鑲嵌：對清洗好的樣品進行鑲嵌，鑲嵌后厚度為8～12mm；

研磨：研磨4D打印CuAl基合金樣品，至肉眼觀察樣品表面沒有劃痕；

機械拋光：對研磨好的樣品進行機械拋光；

化學機械拋光：對經過機械拋光的樣品進行化學機械拋光，拋光過程中不斷滴加拋光液，拋光結束后用去離子水沖洗樣品表面后，乙醇脫水吹干樣品，即得4D打印CuAl基合金EBSD樣品；

其中，所述拋光液，以拋光液總質量為百分百計，包括氣相二氧化硅2～10％，尿素過氧化氫2～10％，殼寡糖0.5～2％，余量為蒸餾水；

所述拋光液pH值為6～8。