[發明專利]一種硅片表面除液機械臂

有效

• 申請號: 202110596141.4
• 申請日: 2021-05-30
• 公開（公告）號: CN113488405B
• 公開（公告）日: 2022-11-18
• 發明（設計）人: 黃國燊
• 申請（專利權）人: 廣東凡林裝備科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;B08B5/04;B08B5/00;B08B13/00
• 代理公司: 蚌埠幺四零二知識產權代理事務所(普通合伙) 34156
• 代理人: 尹杰

1.一種硅片表面除液機械臂，其特征在于：包括左除液組件、右除液組件、連接所述左除液組件和右除液組件的合圍驅動組件、驅動所述合圍驅動組件轉動的轉動驅動組件，所述左除液組件和右除液組件相互對稱，所述合圍驅動組件驅動所述左除液組件和右除液組件相互靠攏以對硅片進行吹氣；所述左除液組件包括半圓板、設置在所述半圓板中心的負壓吸氣組件、設置在所述半圓板中部的上正壓吹氣組件、設置在所述半圓板邊緣的下正壓吹氣組件，所述下正壓吹氣組件位于硅片的下方且沿硅片的邊緣斜向上吹氣，所述上正壓吹氣組件對硅片的上側中部進行吹氣，所述負壓吸氣組件對硅片的中部進行吸氣從而吸收液體。

2.根據權利要求1所述的硅片表面除液機械臂，其特征在于：所述下正壓吹氣組件包括正壓噴頭、連接支架、連接管座和下正壓吹氣連接管路，所述正壓噴頭通過連接支架連接至連接管座，所述連接管座固定在所述半圓板上，所述連接支架內形成用于將所述連接管座與正壓噴頭連通的通道，所述連接管座與下正壓吹氣連接管路連通，所述下正壓吹氣連接管路固定連接至所述合圍驅動組件，各下正壓吹氣組件的下正壓吹氣連接管路均連接至同一轉動連接座。

3.根據權利要求2所述的硅片表面除液機械臂，其特征在于：所述正壓噴頭與所述連接支架轉動連接且可相對固定，所述正壓噴頭可在通過半圓板中心的豎直平面內轉動角度。

4.根據權利要求3所述的硅片表面除液機械臂，其特征在于：所述連接支架呈L型，所述連接支架的末端形成有U型的連接座，所述正壓噴頭的兩側通過銷釘與所述連接座轉動連接，所述銷釘通過螺母與所述連接座固定。

5.根據權利要求4所述的硅片表面除液機械臂，其特征在于：所述半圓板上沿其徑向開設有滑槽，所述連接管座可滑動地設置在所述滑槽內且，所述連接管座可相對于所述半圓板固定以調整位置。

6.根據權利要求1所述的硅片表面除液機械臂，其特征在于：所述上正壓吹氣組件包括半圓盒體，所述半圓盒體的上表面與所述半圓板固定，所述半圓板上開設有與所述半圓盒體連通的正壓通氣接口，所述半圓盒體的下表面開設有吹氣縫。

7.根據權利要求6所述的硅片表面除液機械臂，其特征在于：所述吹氣縫包括第一吹氣縫和第二吹氣縫，沿著所述左除液組件的轉動方向，所述第一吹氣縫和第二吹氣縫相對于半圓板的徑向距離逐漸變小，所述第一吹氣縫的尾端與第二吹氣縫首端位于半圓盒體的一條半徑上，且第一吹氣縫的尾端位于第二吹氣縫首端的內側。

8.根據權利要求7所述的硅片表面除液機械臂，其特征在于：所述負壓吸氣組件包括負壓吸嘴，所述半圓板上開設有與所述負壓吸嘴連通的負壓通氣接口。

9.根據權利要求1-8任一項所述的硅片表面除液機械臂，其特征在于：所述合圍驅動組件包括安裝支架、下支座、連桿、上支座、滑塊、絲桿和第一電機，所述下支座與半圓板固定連接，所述下支座的中部與連桿的下端鉸接，所述連桿的上端與所述上支座鉸接，所述上支座固定連接至滑塊，所述滑塊與絲桿螺紋連接，所述絲桿通過第一電機驅動轉動，所述第一電機固定連接至安裝支架，所述安裝支架向下延伸至下支座且與所述下支座的內端轉動鉸接。

10.根據權利要求9所述的硅片表面除液機械臂，其特征在于：所述轉動驅動組件包括轉盤以及驅動所述轉盤轉動的第二電機，所述轉盤的輸出端連接至第一電機。