[發明專利]用于光刻膠噴嘴的封堵接頭

有效

• 申請號: 202110596139.7
• 申請日: 2021-05-30
• 公開（公告）號: CN113457894B
• 公開（公告）日: 2022-07-15
• 發明（設計）人: 周洪
• 申請（專利權）人: 唐山國芯晶源電子有限公司
• 主分類號: B05B15/50
• 分類號: B05B15/50;B05C5/02;G03F7/16
• 代理公司: 長沙柳騰知識產權代理事務所(普通合伙) 43267
• 代理人: 唐冬艷

1.一種用于光刻膠噴嘴的封堵接頭，其特征在于：包括封堵座和設置于封堵座上并用于封堵噴嘴口部的封堵機構；所述封堵座上設置有用于安裝噴嘴的第一通孔，所述封堵機構包括安裝座、堵頭、第一彈性件和蓋板，所述封堵座上開設有用于安裝安裝座的第一沉孔，所述安裝座安裝于第一沉孔內，所述安裝座上開設有與堵頭密封配合并連通第一通孔的第二通孔，所述堵頭安裝于第二通孔內，所述安裝座上開設有用于安裝第一彈性件并與第二通孔連通的第二沉孔，所述蓋板固定設置于第二沉孔內，所述第一彈性件設置于堵頭與蓋板之間；其中，在對噴嘴封堵時，所述第一通孔與噴嘴相配合，并通過所述彈性件將堵頭抵緊于噴嘴的端面，從而對噴嘴口部密封，所述封堵機構還包括導向組件，所述導向組件包括第一導向件和第二導向件，所述第一導向件固定設置于堵頭上，所述第二導向件固定設置于蓋板上并外套于第一導向件，所述第一導向件可沿其軸向在第二導向件內往復移動，所述封堵座內設置有用于稀釋溶劑流通的流道，所述流道包括第一流道、第二流道和第三流道，所述第二流道設置于第一通孔內，所述第一流道設置于第一通孔的口部一端，所述第三流道設置于第一通孔的底部一端，使稀釋溶劑從第一流道流入第二流道內對噴嘴口部的光刻膠稀釋清理，再通過第三流道流出，所述封堵座上設置有管道，所述第一流道設置管道內，所述管道上設置有用于開閉第一流道的開關閥，所述第三流道內設置有單向閥，所述第二通孔為錐形孔，所述堵頭的側面與錐形孔相配合的錐形面；所述封堵機構還包括將堵頭固定于通孔內的鎖緊組件，所述鎖緊組件包括抵壓件、第二彈性件、第一限位件和第二限位件，所述蓋板上設置有用于安裝抵壓件的安裝孔，所述抵壓件安裝于安裝孔內，所述彈性件設置于抵壓件與第一導向件之間，所述第一限位件、第二限位件沿安裝孔軸向依次設置于安裝孔內，所述抵壓件上設置有限位部；其中，所述限位部與第一限位件配合時，所述抵壓件抵壓第一導向件，使所述第一導向件固定，當所述限位部與第二限位件配合時，所述抵壓件脫離第一導向件，所述第一導向件可沿其軸向移動。

2.根據權利要求1所述的用于光刻膠噴嘴的封堵接頭，其特征在于：所述第一限位件為沿安裝孔周向均布的多個第一凸臺，各所述第一凸臺之間設置有用于限位部通過的間隙，所述限位部為沿安裝孔周向均布的限位臺，所述第二限位件為環形凸臺；

其中，當所述限位部與第一凸臺配合時，抵壓件壓縮彈性件抵緊于第一導向件，轉動抵壓件，在限位臺與間隙對正后，在第二彈性件彈力的作用下，所述抵壓件遠離第一導向件移動，并被環形凸臺限位。

3.根據權利要求2所述的用于光刻膠噴嘴的封堵接頭，其特征在于：所述第二彈性件為彈簧，所述彈簧外套于抵壓件上，并抵緊于限位部與第一導向件之間。

4.根據權利要求1所述的用于光刻膠噴嘴的封堵接頭，其特征在于：所述第二流道為開設于第一通孔側面的螺旋槽。

5.根據權利要求1所述的用于光刻膠噴嘴的封堵接頭，其特征在于：所述封堵座與噴嘴通過管螺紋連接。