[發明專利]一種太陽能電池的制備方法在審
| 申請號: | 202110594930.4 | 申請日: | 2021-05-28 |
| 公開(公告)號: | CN113328010A | 公開(公告)日: | 2021-08-31 |
| 發明(設計)人: | 王文靜;符欣;周肅;龔道仁;徐曉華 | 申請(專利權)人: | 安徽華晟新能源科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L31/18 | 分類號: | H01L31/18;H01L21/78;H01L21/683 |
| 代理公司: | 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250 | 代理人: | 王鍇 |
| 地址: | 242074 安徽省宣城市宣城經*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 太陽能電池 制備 方法 | ||
1.一種太陽能電池的制備方法,其特征在于,包括如下步驟:
提供遮撐條;
提供襯底器件,所述襯底器件包括器件區和劃片區,所述襯底器件包括:半導體襯底層和位于所述半導體襯底層一側的第一摻雜半導體層;
將所述襯底器件置于所述遮撐條的上方,所述遮撐條接觸所述劃片區的所述第一摻雜半導體層,所述器件區的所述第一摻雜半導體層的表面被暴露;
以所述遮撐條為掩膜,通過鍍膜工藝在所述器件區的所述第一摻雜半導體層的表面形成第一透明導電膜;
形成所述第一透明導電膜之后,沿所述劃片區對所述襯底器件進行劃片;
所述遮撐條的寬度大于沿所述劃片區對所述襯底器件進行劃片步驟中對襯底器件的切割寬度。
2.根據權利要求1所述的太陽能電池的制備方法,其特征在于,所述鍍膜工藝包括反應等離子體沉積工藝或者磁控濺射鍍膜工藝,所述鍍膜工藝采用的鍍膜源位于所述遮撐條背離所述襯底器件的一側。
3.根據權利要求1所述的太陽能電池的制備方法,其特征在于,所述遮撐條的寬度為0.8mm~2mm;
優選的,所述遮撐條的厚度為0.4mm~3mm;
優選的,所述遮撐條的長度為100mm~250mm;
優選的,所述遮撐條的材料包括不銹鋼、碳纖維、鋁、鈦合金或者石墨。
4.根據權利要求1所述的太陽能電池的制備方法,其特征在于,所述遮撐條為支架的一部分,所述支架還包括支架本體,所述支架本體中具有貫穿所述支架本體的鏤空口;所述遮撐條與所述支架本體的側壁固定連接且位于所述鏤空口中;
所述太陽能電池的制備方法還包括:提供載板,所述載板具有貫穿所述載板的開口;將所述支架嵌入所述開口中,所述支架本體的側壁與所述開口的側壁相對設置;
將所述襯底器件置于所述遮撐條的上方的步驟包括:把所述襯底器件置于所述鏤空口中且使所述襯底器件位于所述遮撐條的上方;
優選的,在將所述支架嵌入所述開口中之后,把所述襯底器件置于所述鏤空口中且使所述襯底器件位于所述遮撐條的上方。
5.根據權利要求4所述的太陽能電池的制備方法,其特征在于,所述支架本體包括環狀的第一延伸部、環狀的第二延伸部以及環狀的中間支架部;所述中間支架部位于所述第一延伸部和所述第二延伸部之間,且所述中間支架部的頂端與所述第一延伸部連接,所述中間支架部的底端和所述第二延伸部連接,所述第一延伸部的內徑大于所述第二延伸部的內徑,所述遮撐條的兩端與所述第二延伸部的側壁固定連接;
將所述支架嵌入所述開口中的步驟包括:將所述第二延伸部和所述中間支架部嵌入所述開口中,且所述第一延伸部位于所述開口側部的部分所述載板的表面上;
優選的,中間支架部包圍的鏤空口的寬度為100mm~250mm,中間支架部包圍的鏤空口的長度為100mm~250mm。
6.根據權利要求1所述的太陽能電池的制備方法,其特征在于,還包括:
提供載板,所述載板具有貫穿所述載板的開口,所述遮撐條位于所述開口中且所述遮撐條的兩端與所述載板的側壁固定連接;
將所述襯底器件置于所述遮撐條的上方的步驟包括:把所述襯底器件置于所述開口中且使所述襯底器件位于所述遮撐條的上方。
7.根據權利要求1所述的太陽能電池的制備方法,其特征在于,所述遮撐條的數量為若干個,若干個所述遮撐條間隔分布,若干個所述遮撐條的排布方向平行于所述遮撐條的支撐面。
8.根據權利要求1-7任一項所述的太陽能電池的制備方法,其特征在于,所述襯底器件還包括:位于所述半導體襯底層另一側的第二摻雜半導體層,所述第二摻雜半導體層的導電類型與所述第一摻雜半導體層的導電類型相反;
在沿所述劃片區對所述襯底器件進行劃片之前,所述太陽能電池的制備方法還包括:在所述第二摻雜半導體層背向所述半導體襯底層的一側形成第二透明導電膜。
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H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的,一個或多個電光源,如場致發光光源在結構上相連的,并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的





