[發(fā)明專利]平板探測器及其制備方法、攝影設(shè)備在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110594517.8 | 申請日： | 2021-05-28 |
| 公開（公告）號： | CN113325459A | 公開（公告）日： | 2021-08-31 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 張正東;李挺;張亞東;羅皓;吳博 | 申請（專利權(quán)）人： | 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司 |
| 主分類號： | G01T1/161 | 分類號： | G01T1/161;G01T1/202;A61B6/00 |
| 代理公司： | 北京律智知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11438 | 代理人： | 王輝;闞梓瑄 |
| 地址： | 100015 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 平板 探測器 及其 制備 方法 攝影 設(shè)備 | ||
本公開提供一種平板探測器及其制備方法、攝影設(shè)備，屬于成像技術(shù)領(lǐng)域。本公開提供的平板探測器，包括依次層疊設(shè)置的無機(jī)緩沖層、驅(qū)動(dòng)層、檢測層和閃爍層；所述檢測層設(shè)置有感光元件；所述驅(qū)動(dòng)層包括層疊設(shè)置的驅(qū)動(dòng)電路層和圖案限定層；所述圖案限定層具有容置凹槽，所述感光元件至少部分容置于所述容置凹槽中。本公開提供的平板探測器能夠提高平板探測器的均一性。
技術(shù)領(lǐng)域
本公開涉及成像技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種平板探測器及其制備方法、攝影設(shè)備。
背景技術(shù)
平板型數(shù)字化攝影(DR)技術(shù)，可以清晰的拍攝出病人體內(nèi)多種器官，被廣泛應(yīng)用于醫(yī)療成像中。其中，X光平板探測器是平板型數(shù)字化攝影(DR)技術(shù)的關(guān)鍵組件之一。然而，當(dāng)前平板探測器存在均一性差的問題，制約了成像效果的提升。
需要說明的是，在上述背景技術(shù)部分公開的信息僅用于加強(qiáng)對本公開的背景的理解，因此可以包括不構(gòu)成對本領(lǐng)域普通技術(shù)人員已知的現(xiàn)有技術(shù)的信息。
發(fā)明內(nèi)容
本公開的目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種平板探測器及其制備方法、攝影設(shè)備，提高平板探測器的均一性。
根據(jù)本公開的一個(gè)方面，提供一種平板探測器，包括依次層疊設(shè)置的無機(jī)緩沖層、驅(qū)動(dòng)層、檢測層和閃爍層；所述檢測層設(shè)置有感光元件；所述驅(qū)動(dòng)層包括層疊設(shè)置的驅(qū)動(dòng)電路層和圖案限定層；
所述圖案限定層具有容置凹槽，所述感光元件至少部分容置于所述容置凹槽中。
根據(jù)本公開的一種實(shí)施方式，所述容置凹槽貫穿所述圖案限定層。
根據(jù)本公開的一種實(shí)施方式，所述感光元件包括依次層疊設(shè)置的第一電極、光敏半導(dǎo)體層和第二電極；
所述容置凹槽的深度，不小于所述光敏半導(dǎo)體層的厚度的一半。
根據(jù)本公開的一種實(shí)施方式，所述感光元件包括依次層疊設(shè)置的第一電極、光敏半導(dǎo)體層和第二電極；所述第一電極位于所述第二電極靠近所述無機(jī)緩沖層的一側(cè)；
所述第二電極在所述無機(jī)緩沖層上的正投影，與所述容置凹槽在所述無機(jī)緩沖層上的正投影重合。
根據(jù)本公開的一種實(shí)施方式，所述圖案限定層位于所述驅(qū)動(dòng)電路層遠(yuǎn)離所述無機(jī)緩沖層的一側(cè)；
所述感光元件包括依次層疊設(shè)置的第一電極、光敏半導(dǎo)體層和第二電極；所述第一電極位于所述第二電極靠近所述無機(jī)緩沖層的一側(cè)；
所述光敏半導(dǎo)體層至少部分嵌入所述容置凹槽中。
根據(jù)本公開的一種實(shí)施方式，所述驅(qū)動(dòng)電路層包括開關(guān)晶體管；
所述圖案限定層位于所述開關(guān)晶體管的漏電極遠(yuǎn)離所述無機(jī)緩沖層的一側(cè)，且所述容置凹槽貫穿所述圖案限定層；所述容置凹槽在所述無機(jī)緩沖層上的正投影，位于所述開關(guān)晶體管的漏電極在所述無機(jī)緩沖層上的正投影內(nèi)；
所述開關(guān)晶體管的漏電極作為所述感光元件的第一電極。
根據(jù)本公開的一種實(shí)施方式，所述圖案限定層位于所述驅(qū)動(dòng)電路層與所述無機(jī)緩沖層之間。
根據(jù)本公開的另一個(gè)方面，提供一種攝影設(shè)備，包括上述的平板探測器。
根據(jù)本公開的另一個(gè)方面，提供一種平板探測器的制備方法，包括：
形成無機(jī)緩沖層；
在所述無機(jī)緩沖層的一側(cè)形成驅(qū)動(dòng)層；所述驅(qū)動(dòng)層包括層疊設(shè)置的驅(qū)動(dòng)電路層和圖案限定層；所述圖案限定層具有容置凹槽；
在所述驅(qū)動(dòng)層遠(yuǎn)離所述無機(jī)緩沖層的一側(cè)形成檢測層，所述檢測層設(shè)置有感光元件；所述感光元件至少部分容置于所述容置凹槽中；
在所述檢測層遠(yuǎn)離所述無機(jī)緩沖層的一側(cè)形成閃爍層。
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