[發明專利]大晶片多點頻率測量機

在審

• 申請號: 202110593007.9
• 申請日: 2021-05-28
• 公開（公告）號: CN113333309A
• 公開（公告）日: 2021-09-03
• 發明（設計）人: 任波
• 申請（專利權）人: 深圳市銘盛鑫自動化設備有限公司
• 主分類號: B07C5/02
• 分類號: B07C5/02;B07C5/344;B07C5/36
• 代理公司: 深圳眾邦專利代理有限公司 44545
• 代理人: 郭曉宇

本發明公開了大晶片多點頻率測量機，包括底座，以及設置于底座上的送料機構、送料手臂、測量機構、分杯機構、分杯底座、顯示屏及晶片；所述送料機構包括第一交叉滾柱型Z軸滑臺，所述第一交叉滾柱型Z軸滑臺上設置有第一交叉滾柱型X軸滑臺，所述第一交叉滾柱型X軸滑臺上設置有氣動滑臺，所述氣動滑臺上設置有送料吸板，所述送料吸板上設置有料夾，所述料夾下設置有厚度調節裝置，所述厚度調節裝置上設置有微分計；本石英晶片三點頻率自動測量機采用3點的多點的頻率掃描原理直接測量晶片不同位置的頻率，分析出石英晶片的頻率散差，從中挑選出合格的晶片，具有精度高、速度快、節約人工等優點。

技術領域

本發明涉及石英晶片測量技術領域，具體為大晶片多點頻率測量機。

背景技術

石英晶體是晶石(sio2)的一種。石英晶體元器件是用壓電單晶石英(即水晶)制成的壓電器件，石英晶片在電子設備中獲得廣泛應用，是目前世界上用量最大的晶體材料。其產品主要有石英晶體諧振器、石英晶體振蕩器，具有良好的頻率穩定性，主要應用于通訊、電腦、導航、航空航天、家用電器等領域。

根據石英晶片生產工藝流程中不同階段的需求，頻率檢測技術可以分為兩個方向。一個方向是流程后段的“石英晶片電參數測試”技術，其將基本加工完成的石英晶片按照以諧振頻率為核心參數進行分選，即石英晶片切割后的晶片由于線切割的特性會造成石英晶片厚薄不一樣，為了保證后續研磨的效率和合格率一般需要人工挑選單片晶片的厚度，以前采用千分尺測量厚度效率較低，由于石英晶片的特性，厚度差1Um頻率可能相差幾百Khz，所以千分尺測量的精度和效率達不到要求。而測量石英晶片頻率通常做法為通過測量厚度石英晶片得出石英晶片頻率，但這類測量方法往往精度低、效率低以及耗時耗力，增加人工成本。

發明內容

為了克服現有技術方案的不足，本發明提供大晶片多點頻率測量機，能有效的解決背景技術提出的問題。

本發明解決其技術問題所采用的技術方案是：

大晶片多點頻率測量機，包括底座，以及設置于底座上的送料機構、送料手臂、測量機構、分杯機構、分杯底座、顯示屏及晶片；

所述送料機構包括第一交叉滾柱型Z軸滑臺，所述第一交叉滾柱型Z軸滑臺上設置有第一交叉滾柱型X軸滑臺，所述第一交叉滾柱型X軸滑臺上設置有氣動滑臺，所述氣動滑臺上設置有送料吸板，所述送料吸板上設置有料夾，所述料夾下設置有厚度調節裝置，所述厚度調節裝置上設置有微分計；

所述送料手臂包括第二交叉滾柱型Z軸滑臺，所述第二交叉滾柱型Z軸滑臺上設置有手臂底座，所述手臂底座前設置有送料吸嘴，所述送料吸嘴下連接有第一步進電機；

所述測量機構包括安裝座，所述安裝座上設置有下電極，所述安裝座前端設置有下接線板，所述安裝座上設置有升降臺，所述升降臺后方連接有偏心輪機構，所述偏心輪機構后方連接有第二步進電機，所述升降臺上設置有上電極安裝板，所述上電極安裝板下設置有上接線板，所述上接線板下設置有三根探針，所述安裝座上還設置有廢料座，所述廢料座上設置有廢料杯；

所述分杯機構包括導軌座，所述導軌座上設置有沿導軌座滑動的底板，所述底板上設置有第二交叉滾柱型X軸滑臺，所述第二交叉滾柱型X軸滑臺上設置有微調板，所述微調板上設置有分杯吸嘴；所述分杯底座上設置有至少一個杯子。

優選的，所述底座包括機架、設置于機架上的桌面以及設置于機架下的水平調節腳輪，所述機架中設置有氣路裝置，所述桌面上設置有鋁型材框架，所述鋁型材框架中設置有合頁門，所述機架中設置有柜門。

優選的，所述顯示屏包括顯示器支撐管及設置于顯示器支撐管上的顯示器，所述支撐管上設置有掃頻控制盒。

優選的，所述導軌座上設置有傳動箱，所述傳動箱上設置有導軌電機。

優選的，所述料夾上設置有激光傳感器裝置，所述手臂底座上設置有手臂傳感器，所述安裝座上設置有測量傳感器。