[發明專利]超精密加工對心機構

有效

• 申請號: 202110591221.0
• 申請日: 2021-05-28
• 公開（公告）號: CN113305596B
• 公開（公告）日: 2022-10-14
• 發明（設計）人: 張國慶;馬帥;王建鵬;姜建凱;羅通
• 申請（專利權）人: 深圳大學
• 主分類號: B23Q3/00
• 分類號: B23Q3/00
• 代理公司: 深圳中一聯合知識產權代理有限公司 44414
• 代理人: 王明磊

本申請提供了一種超精密加工對心機構，包括機床本體、真空吸盤、對心卡盤、翻轉機構，真空吸盤連接于機床本體上的旋轉主軸，翻轉機構轉動連接于機床本體，對心卡盤連接于翻轉機構，翻轉機構翻轉，驅動對心卡盤轉動，以使對心卡盤的中心軸線與真空吸盤的中心軸線重合。與現有技術相比，本申請超精密加工對心機構，通過翻轉機構翻轉，使對心卡盤與真空吸盤的中心對齊，實現對心卡盤與真空吸盤之間的自動精準對心，簡化對心步驟，提高對心精度以及生產效率。

技術領域

本申請屬于機床本體技術領域，更具體地說，是涉及一種超精密加工對心機構。

背景技術

隨著微電子技術、信息技術、航空航天技術等高新技術的飛速發展，迫使超精密加工技術需要不斷進步，以滿足上述行業對零件的加工質量越來越高的需求。超精密切削是超精密加工中的一個重要領域，主要是通過使用精密的單晶金剛石刀具，直接在工件表面加工出超光滑的鏡面，保證工件的加工精度和表面質量，減少后續工件表面的拋光等精加工工序，極大的提高加工效率。

超精密加工中，工件通過中間夾具吸附在真空吸盤上，由于夾具與主軸分體設置，在夾具將工件放置在真空吸盤過程中，需要手動調整夾具，使夾具的中心軸線與真空吸盤軸線對齊。

采用上述方案，手動調整夾具對心的過程比較繁瑣，且自動化程度低，加工效率低下。

發明內容

本申請實施例的目的在于提供一種超精密加工對心機構，以解決現有技術中存在的夾具對心的過程比較繁瑣、且自動化程度低的技術問題。

為實現上述目的，本申請提供一種超精密加工對心機構，包括：

機床本體，包括旋轉主軸；

真空吸盤，連接于所述旋轉主軸，且所述真空吸盤隨所述旋轉主軸轉動，并通過真空吸附固定待加工工件；

對心卡盤，用于夾持待加工工件；

翻轉機構，轉動連接于所述機床本體，所述對心卡盤連接于所述翻轉機構，所述翻轉機構轉動驅動所述對心卡盤轉動，以使所述對心卡盤的中心軸線與所述真空吸盤的中心軸線重合。

一實施例中，所述翻轉機構包括第一翻轉機構和第二翻轉機構；

所述第一翻轉機構轉動連接于所述機床本體，所述第二翻轉機構轉動連接于所述第一翻轉機構，所述第一翻轉機構的轉動軸線與所述第二翻轉機構的轉動軸線平行；

所述對心卡盤連接于所述第二翻轉機構。

一實施例中，所述第一翻轉機構包括：

第一旋轉驅動件，連接于所述機床本體；

轉軸，連接于所述第一旋轉驅動件的轉動部；

連桿組件，一端連接于所述轉軸，所述第二翻轉機構轉動連接于所述連桿組件的另一端。

一實施例中，所述第一翻轉機構還包括萬向節連軸器，所述萬向節連軸器一端連接于所述第一旋轉驅動件的轉動部，另一端連接于所述轉軸。

一實施例中，所述第二翻轉機構包括：

保持架，連接于所述連桿組件；

第二旋轉驅動件，所述第二旋轉驅動件的固定部連接于所述保持架；

夾持架，所述夾持架連接于所述第二旋轉驅動件的轉動部，所述對心卡盤連接于所述夾持架。

一實施例中，所述夾持架包括連接段以及與所述連接段連接的夾持段

所述連接段遠離所述夾持段的一端轉動連接于所述第二旋轉驅動件的轉動部，所述對心卡盤連接于所述夾持段。

一實施例中，所述超精密加工對心機構還包括第一定位機構、第二定位機構、第三定位機構；