[發明專利]一種高純氯氣全產線純度分析系統

在審

• 申請號: 202110590501.X
• 申請日: 2021-05-28
• 公開（公告）號: CN113289927A
• 公開（公告）日: 2021-08-24
• 發明（設計）人: 孫芳;李飛明;董劍平;李建忠
• 申請（專利權）人: 浙江瑞亨電子材料有限公司
• 主分類號: B07C5/34
• 分類號: B07C5/34;B07C5/38
• 代理公司: 浙江永鼎律師事務所 33233
• 代理人: 陸永強

1.一種高純氯氣全產線純度分析系統，包括氯氣純度分析機主體(1)，其特征在于，所述的氯氣純度分析機主體(1)內設有若干沿氯氣純度分析機主體(1)中心線對稱的純度分析腔(2)，所述的純度分析腔(2)內設有可拆式氯氣分析組件(3)，所述的氯氣純度分析機主體(1)內設有若干氯氣進管(4)，所述的氯氣進管(4)與純度分析腔(2)相連通，所述的純度分析腔(2)底部設有合規排氣件(5)，所述的氯氣純度分析機主體(1)內還設有側部回收部(6)，所述的側部回收部(6)與純度分析腔(2)相連。

2.根據權利要求1所述的一種高純氯氣全產線純度分析系統，其特征在于，所述的可拆式氯氣分析組件(3)包括設置于純度分析腔(2)內的氯氣純度分析面板(7)，所述的氯氣純度分析面板(7)內設有若干沿氯氣純度分析面板(7)中心線對稱的通氣槽(8)，所述的氯氣純度分析機主體(1)內設有純度分析器(9)，所述的純度分析器(9)與氯氣純度分析面板(7)相連。

3.根據權利要求2所述的一種高純氯氣全產線純度分析系統，其特征在于，所述的純度分析器(9)與氯氣純度分析面板(7)之間通過連接板(10)相連，所述的氯氣純度分析機主體(1)內設有若干面板抽拉側塊(11)，所述的面板抽拉側塊(11)與氯氣純度分析面板(7)相連，所述的面板抽拉側塊(11)遠離氯氣純度分析面板(7)一端設有螺接件(12)，所述的螺接件(12)與氯氣純度分析機主體(1)相連。

4.根據權利要求3所述的一種高純氯氣全產線純度分析系統，其特征在于，所述的螺接件(12)包括設置于面板抽拉側塊(11)遠離氯氣純度分析面板(7)一端上的螺接固定板(13)，所述的螺接固定板(13)上設有推拉桿(14)，所述的螺接固定板(13)與氯氣純度分析機主體(1)之間通過緊固螺栓相連。

5.根據權利要求4所述的一種高純氯氣全產線純度分析系統，其特征在于，所述的合規排氣件(5)包括設置于純度分析腔(2)底部的合規氣體排管(15)，所述的氯氣純度分析機主體(1)內設有若干可沿水平方向往復直線運動的底部排氣通阻板(16)，所述的底部排氣通阻板(16)與合規氣體排管(15)的位置相對應。

6.根據權利要求5所述的一種高純氯氣全產線純度分析系統，其特征在于，所述的氯氣純度分析機主體(1)上設有若干沿氯氣純度分析機主體(1)中心線對稱的側部驅動固定座(17)，所述的側部驅動固定座(17)內設有第一直線驅動器(18)，所述的第一直線驅動器(18)的動力軸與底部排氣通阻板(16)相連。

7.根據權利要求6所述的一種高純氯氣全產線純度分析系統，其特征在于，所述的側部回收部(6)包括若干設置于氯氣純度分析機主體(1)內的側部抽吸回收通道(19)，所述的側部抽吸回收通道(19)與純度分析腔(2)相連，所述的氯氣純度分析機主體(1)上設有若干抽吸機(20)，所述的抽吸機(20)與側部抽吸回收通道(19)相連。

8.根據權利要求7所述的一種高純氯氣全產線純度分析系統，其特征在于，所述的氯氣純度分析機主體(1)內設有若干可沿豎直方向往復直線運動的側部通阻板(21)，所述的側部通阻板(21)與側部抽吸回收通道(19)的位置相對應。

9.根據權利要求8所述的一種高純氯氣全產線純度分析系統，其特征在于，所述的氯氣純度分析機主體(1)上設有若干頂部驅動固定座(22)，所述的頂部驅動固定座(22)內設有第二直線驅動器(23)，所述的第二直線驅動器(23)的動力軸與側部通阻板(21)相連。

10.根據權利要求9所述的一種高純氯氣全產線純度分析系統，其特征在于，所述的氯氣進管(4)上設有關節加固防爆套(24)，所述的氯氣進管(4)與純度分析腔(2)之間的連接處設有密封圈。