[發(fā)明專利]半導(dǎo)體基板結(jié)構(gòu)及其形成方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110587168.7
• 申請日: 2021-05-27
• 公開（公告）號: CN113555337A
• 公開（公告）日: 2021-10-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黃文宏
• 申請（專利權(quán)）人: 日月光半導(dǎo)體制造股份有限公司
• 主分類號: H01L23/498
• 分類號: H01L23/498;H01L23/522;H01L21/48;H01L21/768
• 代理公司: 北京德恒律治知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11409
• 代理人: 章社杲;李偉

本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體基板結(jié)構(gòu)及其形成方法。半導(dǎo)體基板結(jié)構(gòu)包括：電容器，具有沿相同方向延伸的多個輸入輸出部件；線路層，位于多個輸入輸出部件的相對端上方，線路層中的線路與多個輸入輸出部件直接接觸和電連接以形成導(dǎo)電路徑。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，具體來說，涉及一種半導(dǎo)體基板結(jié)構(gòu)及其形成方法。

背景技術(shù)

隨著封裝技術(shù)的演進，各式各樣的封裝結(jié)構(gòu)亦推陳出新，整體封裝尺寸也越來越小，功能也越來越多，對被動元件的需求亦越來越高。

傳統(tǒng)被動元件大多是采用內(nèi)埋被動元件的設(shè)計，絕大部分是利用基板逐層建構(gòu)完成后，再利用成型技術(shù)將要內(nèi)埋被動元件的位置移除形成空腔，并將被動元件放置到空腔中，最后再使用封孔材料填孔。這樣的作法浪費工程資源，同時也使制程良率損失。此外，目前技術(shù)內(nèi)埋電容器和電感器都需要額外制程，使得厚度無法降低，并且電性表現(xiàn)也比較不好。

發(fā)明內(nèi)容

針對相關(guān)技術(shù)中的問題，本發(fā)明提出一種半導(dǎo)體基板結(jié)構(gòu)及其形成方法。

本發(fā)明的技術(shù)方案是這樣實現(xiàn)的：

根據(jù)本發(fā)明的一個方面，提供了一種半導(dǎo)體基板結(jié)構(gòu)，包括：電容器，具有沿相同方向延伸的多個輸入輸出部件；線路層，位于多個輸入輸出部件的相對端上方，線路層中的線路與多個輸入輸出部件直接接觸和電連接以形成導(dǎo)電路徑。

在上述半導(dǎo)體基板結(jié)構(gòu)中，多個輸入輸出部件為多個導(dǎo)電柱。

在上述半導(dǎo)體基板結(jié)構(gòu)中，多個輸入輸出部件貫穿電容器。

在上述半導(dǎo)體基板結(jié)構(gòu)中，線路層覆蓋電容器。

在上述半導(dǎo)體基板結(jié)構(gòu)中，電容器具有垂直于多個輸入輸出部件的延伸方向的中心線，線路層中的線路相對于電容器的中心線對稱設(shè)置。

在上述半導(dǎo)體基板結(jié)構(gòu)中，導(dǎo)電路徑為電感線圈。

在上述半導(dǎo)體基板結(jié)構(gòu)中，電容器包括金屬核心層，多個輸入輸出部件貫穿金屬核心層。

在上述半導(dǎo)體基板結(jié)構(gòu)中，電容器還包括覆蓋在金屬核心層的相對側(cè)上的電極材料層。

在上述半導(dǎo)體基板結(jié)構(gòu)中，還包括導(dǎo)磁層，設(shè)置于電容器上方。

在上述半導(dǎo)體基板結(jié)構(gòu)中，電容器還包括附加輸入輸出部件，附加輸入輸出部件為通孔。

根據(jù)本發(fā)明的一個方面，還提供了一種形成半導(dǎo)體基板結(jié)構(gòu)的方法，包括：形成具有多個輸入輸出部件的電容器；在電容器的多個輸入輸出部件的兩端上電鍍導(dǎo)電線路，導(dǎo)電線路連接多個輸入輸出部件以形成穿過電容器的導(dǎo)電路徑。

在上述方法中，電容器為薄膜型電容器。

在上述方法中，形成電容器包括：提供金屬核心層；在金屬核心層的相對側(cè)上覆蓋電極材料層。

在上述方法中，形成電容器包括：形成穿過核心層和電極材料層的多個通孔。

在上述方法中，形成電容器還包括：在通孔中形成導(dǎo)電柱以形成多個輸入輸出部件。

在上述方法中，電容器具有垂直于多個輸入輸出部件的延伸方向的中心線，導(dǎo)電線路相對于電容器的中心線對稱設(shè)置。

在上述方法中，導(dǎo)電路徑為電感線圈。

在上述方法中，在形成電容器包括：形成附加輸入輸出部件，附加輸入輸出部件為通孔。

在上述方法中，還包括：在電容器上方形成導(dǎo)磁層。

在上述方法中，在電鍍導(dǎo)電線路之后還包括：在導(dǎo)電線路上方形成重布線層。

附圖說明