[發明專利]一種生產高品質合成石英玻璃的設備

有效

• 申請號: 202110581593.5
• 申請日: 2021-05-27
• 公開（公告）號: CN113277716B
• 公開（公告）日: 2022-06-03
• 發明（設計）人: 王正帥;王崗;裴磊;高運周
• 申請（專利權）人: 四川神光石英科技有限公司
• 主分類號: C03B20/00
• 分類號: C03B20/00
• 代理公司: 成都欣圣知識產權代理有限公司 51292
• 代理人: 易丹;王海文

1.一種生產高品質合成石英玻璃的設備，其特征在于，包括：

爐本體（1），其內部設置有封閉的反應室（2）；所述反應室（2）具有排氣通道（21）；

燃燒器（3），設置于所述反應室（2）內上部，產生加熱區，所述加熱區中的含硅原料被加熱生成松散體（8）；

加熱器（4），設置于所述反應室（2）內，并位于所述燃燒器（3）下方，產生燒結區，在所述燒結區松散體（8）被燒結成玻璃體（9）；

支撐柱（5），其一端位于所述反應室（2）內，并伸入到所述加熱區和燒結區內，其外壁與爐本體（1）外壁構成密封；隨著石英玻璃合成，所述支撐柱（5）可沿著自身長度方向，以自身軸向中心為旋轉軸，旋轉并向遠離燃燒器（3）方向移動；

其中，所述設備還包括進氣通道（22）、導流罩（23）；

所述進氣通道（22）設置在所述支撐柱（5）的底部一側；

所述導流罩（23）設置在所述反應室（2）內，位于所述燃燒器（3）下方；

所述導流罩（23）的罩體體積從上至下逐漸縮??；

所述排氣通道（21）位于所述導流罩（23）的上方一側；

所述加熱器（4）設置在所述導流罩（23）內；

燒結氣體由所述進氣通道（22）進入，經所述導流罩（23）導流后，由所述排氣通道（21）排出。

2.根據權利要求1所述的生產高品質合成石英玻璃的設備，其特征在于，所述支撐柱（5）的底端安裝有升降板（52）；所述升降板（52）與所述爐本體（1）外壁構成密封。

3.根據權利要求2所述的生產高品質合成石英玻璃的設備，其特征在于，所述設備還包括波紋管（6），其一端與所述爐本體（1）底部爐口的外壁連接，另一端與所述升降板（52）外側連接；

所述波紋管（6）與所述爐本體（1）、升降板（52）構成密封。

4.根據權利要求2所述的生產高品質合成石英玻璃的設備，其特征在于，所述設備還包括驅動機構（7），設置在所述支撐柱（5）的底部，用于帶動所述支撐柱（5）旋轉升降。

5.根據權利要求4所述的生產高品質合成石英玻璃的設備，其特征在于，所述驅動機構（7）包括升降電機（71）、旋轉電機（72）；

所述升降電機（71）設置在升降板（52）上，帶動升降板（52）升降的同時帶動支撐柱（5）升降；

所述支撐柱（5）的底部穿過所述升降板（52）安裝有所述旋轉電機（72）；

所述旋轉電機（72）用于帶動支撐柱（5）旋轉。

6.根據權利要求1所述的生產高品質合成石英玻璃的設備，其特征在于，所述燃燒器（3）包括主燃燒器（31）、輔燃燒器（32）。

7.根據權利要求6所述的生產高品質合成石英玻璃的設備，其特征在于，所述主燃燒器（31）、輔燃燒器（32）的數量均不少于1個。

8.根據權利要求1所述的生產高品質合成石英玻璃的設備，其特征在于，所述進氣通道（22）上設置有質量流量計（24）；所述排氣通道（21）上設置有比例閥（25）。

9.根據權利要求1所述的生產高品質合成石英玻璃的設備，其特征在于，所述爐本體（1）的外表面設置有上保溫套（11）和下保溫套（12）。