[發(fā)明專利]一種溫度傳感器、器件有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110578547.X | 申請日： | 2021-05-26 |
| 公開（公告）號： | CN113295292B | 公開（公告）日： | 2023-05-12 |
| 發(fā)明（設計）人： | 李澤源;孟凡理;陳江博 | 申請（專利權）人： | 北京京東方技術開發(fā)有限公司;京東方科技集團股份有限公司 |
| 主分類號： | G01K7/00 | 分類號： | G01K7/00;H01L29/06 |
| 代理公司： | 北京市立方律師事務所 11330 | 代理人： | 張筱寧;王存霞 |
| 地址： | 100176 北京市大興區(qū)*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 溫度傳感器 器件 | ||
1.一種溫度傳感器，其特征在于，包括：
電流獲取單元，包括：基底，位于所述基底一側的電極層、絕緣層和半導體層，所述半導體層位于所述絕緣層遠離所述基底一側；所述電流獲取單元被配置為通過所述電極層接收電信號，以形成流過所述絕緣層和所述半導體層的隧穿電流，并將所述電流傳輸給檢測單元；
檢測單元，與所述電流獲取單元連接，被配置為接收所述電流，并檢測所述電流的電流值，根據(jù)所述電流值確定待測器件的溫度值，所述待測器件上集成有所述溫度傳感器。
2.根據(jù)權利要求1所述的溫度傳感器，其特征在于，所述電極層包括第一電極層和第二電極層；
所述第一電極層和所述第二電極層同層設置，且通過所述絕緣層絕緣設置；
所述絕緣層位于所述第一電極層和所述第二電極層遠離所述基底一側；
所述半導體層包覆所述第一電極層和所述第二電極層。
3.根據(jù)權利要求2所述的溫度傳感器，其特征在于，所述第一電極層和所述第二電極層呈叉指狀設置；
所述絕緣層沿垂直于所述基底方向上的厚度小于叉指間距。
4.根據(jù)權利要求2或3所述的溫度傳感器，其特征在于，所述半導體層的材料包括本征非晶硅或輕摻雜非晶硅。
5.根據(jù)權利要求1所述的溫度傳感器，其特征在于，所述電極層包括第一電極層和第二電極層；
所述第一電極層位于所述基底一側；
所述絕緣層位于所述第一電極層遠離所述基底一側；
所述第二電極層位于所述半導體層遠離所述基底一側。
6.根據(jù)權利要求5所述的溫度傳感器，其特征在于，所述半導體層在所述基底上的正投影區(qū)域的面積大于所述第一電極層在所述基底上的正投影區(qū)域的面積。
7.根據(jù)權利要求5或6所述的溫度傳感器，其特征在于，所述半導體層包括第一半導體層和第二半導體層；
所述第一半導體層靠近所述基底設置，所述第二半導體層遠離所述基底設置；
所述第一半導體層的材料包括本征非晶硅或輕摻雜非晶硅；
所述第二半導體層的材料包括重摻雜非晶硅。
8.根據(jù)權利要求1-3、5-6任一項所述的溫度傳感器，其特征在于，所述電流獲取單元還包括鈍化層；
所述鈍化層覆蓋所述電極層和所述半導體層。
9.一種具有溫度監(jiān)控功能的器件，其特征在于，集成有如權利要求1-8任一項所述的溫度傳感器。
10.根據(jù)權利要求9所述的具有溫度監(jiān)控功能的器件，其特征在于，所述具有溫度監(jiān)控功能的器件包括：顯示器件、生物芯片、電池中的一種或多種。
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