[發明專利]一種晶體線切割設備有效
| 申請號: | 202110576913.8 | 申請日: | 2021-05-26 |
| 公開(公告)號: | CN113458518B | 公開(公告)日: | 2022-07-15 |
| 發明(設計)人: | 楊建春 | 申請(專利權)人: | 上海翌波光電科技有限公司 |
| 主分類號: | B23H7/02 | 分類號: | B23H7/02;B23H7/10;B23H11/00 |
| 代理公司: | 北京維正專利代理有限公司 11508 | 代理人: | 謝緒寧;倪鑫萍 |
| 地址: | 201800 上海市嘉定*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 晶體 切割 設備 | ||
1.一種晶體線切割設備,包括架體(1)、以及設置在架體(1)上的操作臺(2),所述操作臺(2)上設置有夾具(3),所述夾具(3)的長度方向平行于架體(1)的寬度方向,其特征在于:所述架體(1)上位于操作臺(2)的上方設置有支撐平臺(4),所述支撐平臺(4)上設置有線切割組件(5),所述線切割組件(5)包括轉動設置于支撐平臺(4)上方的繞線軸(51),所述繞線軸(51)的軸向和轉動軸線方向均平行于架體(1)的寬度方向,所述繞線軸(51)上沿自身軸向依次繞設有金剛砂線(45);所述線切割組件(5)還包括平行于繞線軸(51)并轉動設置于支撐平臺(4)的下方的放線軸(52)和收線軸(53),所述放線軸(52)和收線軸(53)分別位于繞線軸(51)水平徑向的兩側;所述金剛砂線(45)依次繞至繞線軸(51)、放線軸(52)和收線軸(53)上;
所述架體(1)上設置有用于驅動繞線軸(51)轉動的第一驅動組件(7);使用時,所述第一驅動組件(7)驅動繞線軸(51)上的金剛砂線(45)繞設至放線軸(52),之后,經由放線軸(52)放線并收卷至收線軸(53)上;然后,再經收線軸(53)放線并重新繞設至繞線軸(51)上;
所述架體(1)上設置有用于驅動繞線軸(51)沿自身軸線直線往返運動的第二驅動組件(8);
所述第一驅動組件(7)包括第一伺服電機(71),所述第一伺服電機(71)的輸出軸與繞線軸(51)同軸傳動連接;所述第二驅動組件(8)包括主動輪(81)和從動輪(82),所述主動輪(81)轉動設置于繞線軸(51)軸向背離第一伺服電機(71)的一端,所述主動輪(81)與繞線軸(51)呈同軸設置;所述支撐平臺(4)上活動設置有安裝架(43),所述繞線軸(51)與第一伺服電機(71)均固定于安裝架(43)上;所述安裝架(43)的中部位置設置有第一螺桿(83),所述從動輪(82)同軸固定于第一螺桿(83)軸向背離安裝架(43)的一側,且所述主動輪(81)和從動輪(82)通過皮帶連接;
所述架體(1)上豎直固定有支撐架(11),所述支撐架(11)包括四根支撐滑柱(111),四根所述支撐滑柱(111)分別設置在架體(1)的四角上;所述支撐平臺(4)的四角處均固定有套管(41),任一所述套管(41)的軸線均呈豎直設置,任一所述支撐滑柱(111)分別穿設對應套管(41)并與對應套管(41)滑移配合,且任一所述支撐滑柱(111)與所述套管(41)的配合關系均為緊配合連接關系;且所述架體(1)上位于支撐平臺(4)的下側設置有用于支撐支撐平臺(4)的支撐組件(6);
所述支撐組件(6)包括第二螺桿(61),所述第二螺桿(61)在架體(1)上位于支撐平臺(4)長度的兩側均豎直設置有一根,任一所述第二螺桿(61)的軸線方向均平行于支撐滑柱(111)的軸線方向,且任一所述第二螺桿(61)均位于架體(1)長度方向對應側的兩根支撐滑柱(111)的中間位置,任一所述第二螺桿(61)的螺紋端均自下而上貫穿操作臺(2)并與操作臺(2)螺紋連接,且所述第二螺桿(61)的螺紋端抵緊支撐平臺(4)的下側面。
2.根據權利要求1所述的一種晶體線切割設備,其特征在于:所述支撐平臺(4)上對應相應第二螺桿(61)的位置均開設有限位槽(42),任一所述第二螺桿(61)上端嵌入對應限位槽(42),且任一所述第二螺桿(61)均與限位槽(42)內壁滑移配合。
3.根據權利要求1所述的一種晶體線切割設備,其特征在于:所述操作臺(2)上位于夾具(3)的下側設置有固定塊(21),所述固定塊(21)的長度方向平行于架體(1)的寬度方向,所述固定塊(21)上沿其自身長度方向滑移設置有滑塊(22),所述夾具(3)固定在滑塊(22)上側;所述架體(1)上設置有用于驅動滑塊(22)滑移的第三驅動組件(9)。
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