[發明專利]一種P型鈍化接觸太陽能電池片的擴散方法

有效

• 申請號: 202110576511.8
• 申請日: 2021-05-26
• 公開（公告）號: CN113314640B
• 公開（公告）日: 2023-02-10
• 發明（設計）人: 李躍;何悅;宋飛飛;賈松燕;趙穎
• 申請（專利權）人: 橫店集團東磁股份有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/223
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 鞏克棟

1.一種P型鈍化接觸太陽能電池片的擴散方法，其特征在于，所述擴散方法包括先后進行的正面磷擴散與背面硼擴散；

所述正面磷擴散的具體步驟為：

（1）擴磷預處理：送入電池片，抽真空至絕對真空度為1-10Pa并進行檢漏；

（2）擴磷前氧化：在780-790℃下通入500-700sccm的氧氣，保持5-7min；

（3）第一次通磷源：在780-790℃下通入600-800sccm攜帶磷源的氮氣，保持2-6min；

（4）磷推進：在850-860℃下進行磷的推進，保持15-22min；

（5）第一次擴磷降溫：在12-16min內降溫至800-820℃；

（6）第二次通磷源：在800-820℃下通入600-800sccm攜帶磷源的氮氣，保持3-5min；

（7）第二次擴磷降溫：在7-10min內降溫至780-810℃；

（8）第三次通磷源：在800-820℃下通入800-1000sccm攜帶磷源的氮氣，保持5-8min；

（9）擴磷后氧化：在780-790℃下通入700-900sccm的氧氣，保持1-3min；

其中，所述磷源為三氯氧磷，且磷源在氮氣中的含量為0.3-0.8g/L；

所述背面硼擴散的具體步驟為：

（10）擴硼預處理：送入電池片，抽真空至絕對真空度為1-10Pa并進行檢漏；

（11）擴硼升溫：在10-20min內升溫至950-1000℃；

（12）第一次通硼源：在950-1000℃下通入500-700sccm攜帶硼源的氮氣，保持6-10min；

（13）第一次硼推進：在950-1000℃下進行硼的推進，保持40-60min；

（14）第一次擴硼降溫：在15-20min內降溫至900-950℃；

（15）第二次通硼源：在900-950℃下通入400-600sccm攜帶硼源的氮氣，保持1-3min；

（16）第二次硼推進：在900-950℃下進行硼的推進，保持15-20min；

（17）第二次擴硼降溫：在15-20min內降溫至850-900℃；

（18）擴硼后氧化：在800-850℃下通入20-25slm的氧氣，保持15-20min；

其中，所述硼源為三溴化硼，且硼源在氮氣中的含量為0.4-0.9g/L。