[發(fā)明專利]驅(qū)動電路的制造方法、驅(qū)動電路和光罩

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110576057.6
• 申請日: 2021-05-26
• 公開（公告）號: CN113314462B
• 公開（公告）日: 2022-03-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫曉振;邱添輝;鄭浩旋
• 申請（專利權(quán)）人: 惠科股份有限公司
• 主分類號: H01L21/77
• 分類號: H01L21/77;H01L21/3213;H01L27/12;G09G3/20
• 代理公司: 深圳中一專利商標(biāo)事務(wù)所 44237
• 代理人: 張海燕

1.一種驅(qū)動電路的制造方法，其特征在于，所述驅(qū)動電路包括像素控制線路，所述制造方法包括：

將導(dǎo)電層覆蓋于基板；

將光刻膠層覆蓋于所述導(dǎo)電層；

將光罩覆蓋于所述光刻膠層并進(jìn)行曝光；其中，所述光罩包括像素控制線路圖形，所述像素控制線路圖形設(shè)置有多處隔斷，以釋放曝光時(shí)在所述像素控制線路圖形產(chǎn)生的靜電，所述隔斷的長度為預(yù)設(shè)距離，所述預(yù)設(shè)距離小于曝光機(jī)的最小解析精度；

對所述光刻膠層進(jìn)行顯影，去除所述光刻膠層中未被所述像素控制線路圖形所覆蓋的區(qū)域，以形成光刻膠區(qū)域；

對所述導(dǎo)電層進(jìn)行蝕刻，去除所述導(dǎo)電層中未被所述光刻膠區(qū)域所覆蓋的區(qū)域，以形成像素控制線路。

2.如權(quán)利要求1所述的驅(qū)動電路的制造方法，其特征在于，所述像素控制線路包括第一顏色像素控制線路、第二顏色像素控制線路和第三顏色像素控制線路；

所述像素控制線路圖形包括第一顏色像素控制線路圖形、第二顏色像素控制線路圖形和第三顏色像素控制線路圖形；

所述對所述光刻膠層進(jìn)行顯影，去除所述光刻膠層中未被所述像素控制線路圖形所覆蓋的區(qū)域，以形成光刻膠區(qū)域，包括：

對所述光刻膠層進(jìn)行顯影，去除所述光刻膠層中未被第一像素控制線路圖形所覆蓋的區(qū)域，以形成第一子光刻膠區(qū)域；

對所述光刻膠層進(jìn)行顯影，去除所述光刻膠層中未被第二像素控制線路圖形所覆蓋的區(qū)域，以形成第二子光刻膠區(qū)域；

對所述光刻膠層進(jìn)行顯影，去除所述光刻膠層中未被第三像素控制線路圖形所覆蓋的區(qū)域，以形成第三子光刻膠區(qū)域。

3.如權(quán)利要求2所述的驅(qū)動電路的制造方法，其特征在于，所述對所述導(dǎo)電層進(jìn)行蝕刻，去除所述導(dǎo)電層中未被所述光刻膠區(qū)域所覆蓋的區(qū)域，以形成像素控制線路，包括：

對所述導(dǎo)電層進(jìn)行蝕刻，去除所述導(dǎo)電層中未被所述第一子光刻膠區(qū)域所覆蓋的區(qū)域，以形成第一像素控制線路；

對所述導(dǎo)電層進(jìn)行蝕刻，去除所述導(dǎo)電層中未被所述第二子光刻膠區(qū)域所覆蓋的區(qū)域，以形成第二像素控制線路；

對所述導(dǎo)電層進(jìn)行蝕刻，去除所述導(dǎo)電層中未被所述第三子光刻膠區(qū)域所覆蓋的區(qū)域，以形成第三像素控制線路。

4.如權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的驅(qū)動電路的制造方法，其特征在于，所述對所述導(dǎo)電層進(jìn)行蝕刻，去除所述導(dǎo)電層中未被所述光刻膠區(qū)域所覆蓋的區(qū)域，以形成像素控制線路之后，包括：

對所述基板進(jìn)行剝膜，以去除覆蓋于所述基板的剩余光刻膠。

5.一種驅(qū)動電路，其特征在于，基于權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的驅(qū)動電路的制造方法實(shí)現(xiàn)，所述驅(qū)動電路包括像素控制線路和開關(guān)模塊，所述像素控制線路包括第一像素控制線路、第二像素控制線路和第三像素控制線路，所述開關(guān)模塊包括第一開關(guān)單元、第二開關(guān)單元和第三開關(guān)單元：

所述第一像素控制線路，與所述第一開關(guān)單元連接，用于輸出第一顏色像素控制信號，所述第一開關(guān)單元用于控制第一顏色像素控制信號輸出至顯示面板；

所述第二像素控制線路，與所述第二開關(guān)單元連接，用于輸出第二顏色像素控制信號，所述第二開關(guān)單元用于控制第二顏色像素控制信號輸出至顯示面板；

所述第三像素控制線路，與所述第三開關(guān)單元連接，用于輸出第三顏色像素控制信號，所述第三開關(guān)單元用于控制第三顏色像素控制信號輸出至顯示面板。

6.如權(quán)利要求5所述的驅(qū)動電路，其特征在于，還包括驅(qū)動模塊；

所述驅(qū)動模塊分別與所述第一開關(guān)單元、所述第二開關(guān)單元和所述第三開關(guān)單元連接，所述驅(qū)動模塊用于根據(jù)第一顏色像素控制信號輸出第一驅(qū)動信號至顯示面板，還用于根據(jù)第二顏色像素控制信號輸出第二驅(qū)動信號至顯示面板，還用于根據(jù)第三顏色像素控制信號輸出第三驅(qū)動信號至顯示面板，以驅(qū)動所述顯示面板顯示畫面。

7.如權(quán)利要求6所述的驅(qū)動電路，其特征在于，還包括扇出模塊；

所述扇出模塊與所述驅(qū)動模塊連接，用于發(fā)送所述第一驅(qū)動信號、所述第二驅(qū)動信號和所述第三驅(qū)動信號至所述顯示面板。