[發明專利]觸控面板、觸控面板制造方法及顯示裝置在審
| 申請號: | 202110573897.7 | 申請日: | 2021-05-25 |
| 公開(公告)號: | CN113342214A | 公開(公告)日: | 2021-09-03 |
| 發明(設計)人: | 肖剛;許建凡;趙玲;羅道源;宋洋 | 申請(專利權)人: | 京東方科技集團股份有限公司;綿陽京東方光電科技有限公司 |
| 主分類號: | G06F3/044 | 分類號: | G06F3/044;G06F3/041 |
| 代理公司: | 北京風雅頌專利代理有限公司 11403 | 代理人: | 李莎 |
| 地址: | 100015 *** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 面板 制造 方法 顯示裝置 | ||
1.一種觸控面板,包括:基板;設置于所述基板上的第一絕緣層,設置于所述第一絕緣層上的第一電極層,設置于所述第一電極層上的第二絕緣層,設置于所述第二絕緣層上的第二電極層;
所述第一電極層與所述第一絕緣層之間設置有第三絕緣層,所述第三絕緣層的刻蝕速度小于所述第一電極層及所述第一絕緣層的刻蝕速度。
2.根據權利要求1所述的觸控面板,其中,所述第三絕緣層為氧化硅膜層。
3.根據權利要求1所述的觸控面板,其中,所述第三絕緣層與所述第一電極層在所述基板上的正投影重合。
4.根據權利要求1所述的觸控面板,其中,所述第三絕緣層厚度為至
5.根據權利要求1所述的觸控面板,其中,所述第一絕緣層及所述第二絕緣層為氮化硅膜層。
6.根據權利要求1所述的觸控面板,其中,所述第二電極層與所述第一電極層在所述基板上的正投影重合。
7.根據權利要求1所述的觸控面板,其中,所述第二電極層上設置有機保護層。
8.一種觸控面板制造方法,包括:
在基板上依次形成第一絕緣層、第三絕緣層及第一電極層;
對所述第一電極層及所述第三絕緣層按照預設圖案進行刻蝕;
在刻蝕后的所述第一電極層上依次形成第二絕緣層及第二電極層。
9.根據權利要求8所述的制造方法,還包括:
形成所述第二電極層后,對所述第二電極層按照預設圖案進行刻蝕;
在刻蝕后的所述第二電極層上形成有機保護層。
10.一種顯示裝置,包括:如權利要求1至7任一項所述的觸控面板。
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