[發(fā)明專利]一種LED芯片晶粒盤片全自動分離裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110573276.9
• 申請日: 2021-05-25
• 公開（公告）號: CN113019957B
• 公開（公告）日: 2021-08-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 林永祥
• 申請（專利權(quán)）人: 琉明光電（常州）有限公司
• 主分類號: B07C5/02
• 分類號: B07C5/02;B07C5/34;B07C5/36;B07C5/38
• 代理公司: 北京華際知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11676
• 代理人: 李浩

本發(fā)明公開了一種LED芯片晶粒盤片全自動分離裝置，涉及芯片晶粒技術(shù)領(lǐng)域，該全自動分離裝置包括晶粒分離臺、晶粒分離區(qū)、晶粒分離組件、晶盤投放口和晶盤存放組件，所述晶粒分離臺上表面一側(cè)設(shè)置有晶粒分離區(qū)，所述晶粒分離區(qū)上開設(shè)有若干個負(fù)壓吸附孔，所述晶粒分離臺上表面中部設(shè)置有晶粒分離組件，所述晶粒分離臺上表面與晶粒分離區(qū)對應(yīng)位置處開設(shè)有晶盤投放口，所述晶粒分離臺下表面設(shè)置有晶盤存放組件；本發(fā)明科學(xué)合理，使用安全方便，通過與晶盤上晶粒對應(yīng)的分離吸頭以及電磁鐵的設(shè)置，使得可以一次性完成整個晶盤上合格晶粒與不合格晶粒的分離，大大的提高了分離效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及芯片晶粒生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，具體是一種LED芯片晶粒盤片全自動分離裝置。

背景技術(shù)

LED芯片的生產(chǎn)和制造需要經(jīng)歷晶圓生產(chǎn)、光刻、摻雜、封裝測試幾個階段，在LED芯片生產(chǎn)的過程中，將摻雜的晶圓切片后便形成了晶粒，后續(xù)需要對晶粒進(jìn)行功能性測試，對于測試完成的晶粒，利用分離裝置對測試合格和不合格的晶粒進(jìn)行分離，對分離之后的測試合格的晶粒進(jìn)行封裝；

現(xiàn)有的分離裝置在對晶粒進(jìn)行分離時，通常采用機械夾爪或者單個吸嘴的方式對合格晶粒進(jìn)行一一提取分離，存在著分離效率低下，容易對測試合格晶粒造成損壞的問題，并且，現(xiàn)有技術(shù)中對于測試分離之后的晶盤的存放不規(guī)整，難以對測試不合格的晶粒進(jìn)行統(tǒng)一回收處理；

因此，人們急需一種LED芯片晶粒盤片全自動分離裝置來解決上述問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種LED芯片晶粒盤片全自動分離裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中提出的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種LED芯片晶粒盤片全自動分離裝置，該全自動分離裝置包括晶粒分離臺、晶粒分離區(qū)、晶粒分離組件、晶盤投放口和晶盤存放組件；

所述晶粒分離臺上表面一側(cè)設(shè)置有晶粒分離區(qū)，所述晶粒分離區(qū)用于對測試完成之后的晶粒盤片進(jìn)行存放，方便后續(xù)進(jìn)行合格晶粒與不合格晶粒的分離，所述晶粒分離區(qū)上開設(shè)有若干個負(fù)壓吸附孔，所述負(fù)壓吸附孔用于對測試之后的晶盤進(jìn)行負(fù)壓吸附固定，使得在進(jìn)行晶粒分離時晶盤不會出現(xiàn)脫離現(xiàn)象，所述晶粒分離臺上表面中部設(shè)置有晶粒分離組件，所述晶粒分離組件用于對測試之后的合格晶粒進(jìn)行分離，所述晶粒利用光電測試儀進(jìn)行功能性測試，測試完成之后利用光電測試儀對測試合格的晶粒進(jìn)行標(biāo)記，方便后續(xù)利用分離裝置進(jìn)行晶粒的精準(zhǔn)定位分離；

所述晶粒分離組件包括機械手、分離吸盤、真空罐、負(fù)壓管和抽真空泵；

所述機械手固定安裝在晶粒分離臺表面，所述機械手一端設(shè)置有分離吸盤，所述分離吸盤用于對測試之后的晶盤上的合格晶粒進(jìn)行吸取分離，所述機械手一側(cè)設(shè)置有真空罐，所述真空罐用于為分離吸盤提供負(fù)壓，避免了直接利用真空泵提供負(fù)壓，因為在對合格晶粒進(jìn)行分離的過程中，需要頻繁的實現(xiàn)負(fù)壓吸附，利用真空罐不僅僅可以實現(xiàn)快速響應(yīng)，同時，可以避免頻繁的啟停真空泵導(dǎo)致對真空泵造成的損壞，使得可以延長真空泵的使用壽命，所述分離吸盤與真空罐之間通過負(fù)壓管連接，所述負(fù)壓管上設(shè)置有電磁閥，方便快速實現(xiàn)對分離吸盤內(nèi)部的抽真空，提高分離吸盤吸附晶粒的響應(yīng)速度，所述機械手另一側(cè)設(shè)置有抽真空泵，所述真空罐與抽真空泵之間通過管道連接，使得當(dāng)真空罐內(nèi)部的真空度較低時，對真空罐進(jìn)行抽真空，使得真空罐可以保持在快速響應(yīng)的狀態(tài)，所述晶粒分離臺上表面與晶粒分離區(qū)對應(yīng)位置處開設(shè)有晶盤投放口，所述晶盤投放口用于對合格晶粒分離之后的晶盤進(jìn)行投放，所述晶粒分離臺下表面設(shè)置有晶盤存放組件，所述晶盤存放組件用于對合格晶粒分離之后的晶盤進(jìn)行統(tǒng)一存放，方便后期的統(tǒng)一處理。

根據(jù)上述技術(shù)方案，所述分離吸盤包括吸板、空腔、分離吸頭、電磁鐵、抓取吸嘴、限位槽和限位塊；