[發明專利]一種納米空氣溝道晶體管在審
| 申請號： | 202110571179.6 | 申請日： | 2021-05-25 |
| 公開（公告）號： | CN113345781A | 公開（公告）日： | 2021-09-03 |
| 發明（設計）人： | 王躍林;劉夢;史東方;李鐵;梁淞泰 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海微系統與信息技術研究所 |
| 主分類號： | H01J29/04 | 分類號： | H01J29/04;H01J29/02;H01J29/52;H01J29/82 |
| 代理公司： | 廣州三環專利商標代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝傳鑫;賈允 |
| 地址： | 200050 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 納米 空氣 溝道 晶體管 | ||
1.一種納米空氣溝道晶體管，其特征在于，包括：
陽極(8)，所述陽極(8)設有陽極支點(7)；
柵極(4)，所述柵極(4)的第一側與所述陽極支點(7)連接，所述柵極(4)的第二側設有柵極支點(2)；
陰極(1)，所述陰極(1)與所述柵極支點(2)連接，所述陰極(1)的靠近所述柵極(4)的一側設有第一凸起(9)。
2.如權利要求1所述的納米空氣溝道晶體管，其特征在于，所述第一凸起(9)的形狀為棒狀、錐狀或金字塔狀。
3.如權利要求1所述的納米空氣溝道晶體管，其特征在于，所述第一凸起(9)通過以下任一方式形成：等離子體刻蝕方式、濕法腐蝕方式、聚焦離子束刻蝕方式。
4.如權利要求1所述的納米空氣溝道晶體管，其特征在于，所述柵極(4)設有網孔。
5.如權利要求4所述的納米空氣溝道晶體管，其特征在于，所述柵極(4)的厚度范圍小于50nm，所述網孔的半徑范圍為5nm～500nm。
6.如權利要求4所述的納米空氣溝道晶體管，其特征在于，還包括第一絕緣層(5)、第二絕緣層(3)和第三絕緣層(6)，所述第一絕緣層(5)設于所述柵極(4)的第一側與所述陽極支點(7)之間，所述第二絕緣層(3)設于所述柵極(4)的第二側與所述柵極支點(2)之間，所述第三絕緣層(6)設于所述網孔的孔壁。
7.如權利要求6所述的納米空氣溝道晶體管，其特征在于，所述第一絕緣層(5)和所述第二絕緣層(3)均設有與所述網孔相匹配的通孔，所述第三絕緣層(6)設于所述通孔的孔壁。
8.如權利要求6所述的納米空氣溝道晶體管，其特征在于，所述第一絕緣層(5)、所述第二絕緣層(3)和所述第三絕緣層(6)的厚度范圍均為2nm～10nm。
9.如權利要求1所述的納米空氣溝道晶體管，其特征在于，所述陽極(8)的靠近所述柵極(4)的一側設有第二凸起。
10.如權利要求1所述的納米空氣溝道晶體管，其特征在于，所述陽極(8)和所述陰極(1)之間的距離小于150nm。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于中國科學院上海微系統與信息技術研究所，未經中國科學院上海微系統與信息技術研究所許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202110571179.6/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：探測儀
- 下一篇：一種利用外購高溫高壓蒸汽生產PHC管樁的方法
