[發明專利]一種原位三維光刻的方法及其設備

在審

• 申請號: 202110571042.0
• 申請日: 2021-05-25
• 公開（公告）號: CN115390359A
• 公開（公告）日: 2022-11-25
• 發明（設計）人: 嚴振中;吳陽
• 申請（專利權）人: 赫智科技(蘇州)有限公司
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00;G03F7/20;G03F7/16
• 代理公司: 北京同輝知識產權代理事務所(普通合伙) 11357
• 代理人: 廖娜

1.一種原位三維光刻的方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟1：紫外光和指引光分別通過第一準直透鏡模組和第二準直透鏡模組進行準直處理；

步驟2：步驟1中的兩種光通過二向色鏡后進行合束，接著再通過聚焦透鏡組聚焦在勻光模組的入射端面；

步驟3：通過勻光模組射出的光通過第三準直透鏡組射入反光鏡上；

步驟4：通過反射鏡，將步驟3中光通過第一分光鏡將一部分光射入至光掩模板；

步驟5：反射回來的光將帶著光掩模板上面的信息，通過第一分光片和第二分光片與照明光實現合束；

步驟6：步驟5中合束的光通過第三分光片射入樣品上，照射出光掩模板上面的信息；

步驟7：樣品放置在樣品吸盤上，通過真空泵將樣品固定在樣品吸盤上，同時樣品吸盤內置設置有加熱板，樣品吸盤裝在電動旋轉臺上；

步驟8：通過步驟6反饋的信息，同時結合步驟7的樣品吸盤旋轉工作，可使樣品實現原位三維光刻。

2.根據權利要求1所述的一種原位三維光刻的方法，其特征在于：所述光掩模板上面的信息為圖形結構。

3.根據權利要求1所述的一種原位三維光刻的方法，其特征在于：所述步驟6中通過第三分光片將步驟5中合束的光反射到相機中可以對樣品進行實時成像觀測。

4.一種原位三維光刻設備，其特征在于：包括第一準直透鏡組(1)、第二準直透鏡組(2)、二向色鏡(3)、聚焦透鏡組(4)、勻光模組(5)、第三準直透鏡組(6)、反射鏡(7)、第一分光鏡(8)、第二分光鏡(9)、第三分光鏡(10)、相機(11)、光掩模板(12)及電動旋轉裝置(13)，所述二向色鏡(3)的上方設置有第一準直透鏡組(1)，所述二向色鏡(3)的后方設置有第二準直透鏡組(2)，所述二向色鏡(3)的前方依次設置有聚焦透鏡組(4)、勻光模組(5)第三準直透鏡組(6)及反射鏡(7)，所述反射鏡(7)的前方設置有第一分光鏡(8)，所述第一分光鏡(8)的后方設置有光掩模板(12)，所述第一分光鏡(8)的前方依次設置有第二分光鏡(9)和第三分光鏡(10)，所述第三分光鏡(10)的上方設置有相機(11)，所述第三分光鏡(10)的下方設置有電動旋轉裝置(13)。

5.根據權利要求4所述的一種原位三維光刻的方法，其特征在于：所述電動旋轉裝置(13)包括旋轉臺，所述旋轉臺內設置有電機，所述旋轉臺上設置有樣品吸盤，所述樣品吸盤與電機相連接。