[發(fā)明專利]一種動態(tài)可控超寬幅高頻響離子源調(diào)控方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110565566.9 | 申請日： | 2021-05-24 |
| 公開（公告）號： | CN113182944B | 公開（公告）日： | 2023-08-15 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 田野;石峰;周光奇;宋辭;鐵貴鵬;周港 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國人民解放軍國防科技大學(xué) |
| 主分類號： | B24B1/00 | 分類號： | B24B1/00;B24B13/00;B24B49/00;G06F17/10 |
| 代理公司： | 湖南兆弘專利事務(wù)所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 譚武藝 |
| 地址： | 410073 湖南*** | 國省代碼： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 動態(tài) 可控 寬幅 高頻 離子源 調(diào)控 方法 | ||
1.一種動態(tài)可控超寬幅高頻響離子源調(diào)控方法，其特征在于，包括：
1）建立去除函數(shù)數(shù)據(jù)庫；
2）獲取光學(xué)元件初始的面形誤差，根據(jù)初始的面形誤差與去除函數(shù)數(shù)據(jù)庫進行去除函數(shù)匹配，并基于匹配的去除函數(shù)進行離子束加工駐留時間解算；
3）根據(jù)駐留時間解算結(jié)果選擇機床最佳的運動軸速度
，
上式中，表示在掃描方向的進給量處的運動軸速度，為面形誤差幅值，為去除函數(shù)沿掃描方向的面積去除效率，為去除函數(shù)束徑，為面形誤差頻率，為掃描方向的位置，為均勻駐留時間所對應(yīng)的材料去除層厚度；3.2）選擇滿足
4）根據(jù)光學(xué)元件初始的面形誤差、運動軸速度
上式中，
5）判斷光學(xué)元件加工后的面形誤差是否滿足要求，若滿足要求則結(jié)束并退出，否則跳轉(zhuǎn)執(zhí)行步驟2）。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的動態(tài)可控超寬幅高頻響離子源調(diào)控方法，其特征在于，步驟2）中根據(jù)初始的面形誤差與去除函數(shù)數(shù)據(jù)庫進行去除函數(shù)匹配時，包括根據(jù)各個駐留點的初始的面形誤差的波長將面形誤差分類為低頻段、中頻段或高頻段，且通過更換不同的去除函數(shù)束徑來實現(xiàn)針對不同的面形誤差類型選擇對應(yīng)截止頻率內(nèi)的去除函數(shù)，且在材料去除有效率小于等于預(yù)設(shè)閾值時對應(yīng)的頻率成為修形截止頻率。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的動態(tài)可控超寬幅高頻響離子源調(diào)控方法，其特征在于，步驟2）中進行離子束加工駐留時間解算時，離子束加工駐留時間的計算函數(shù)表達式為：
，
上式中，
，
上式中，為初始駐留點的去除量，為掃描方向的位置，為去除函數(shù)束徑，為峰值去除速率。
4.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的動態(tài)可控超寬幅高頻響離子源調(diào)控方法，其特征在于，所述占空比的計算函數(shù)表達式為：
上式中，
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的動態(tài)可控超寬幅高頻響離子源調(diào)控方法，其特征在于，幅值的動態(tài)解算是指查詢預(yù)設(shè)的去除函數(shù)束徑、幅值映射表，獲得當(dāng)前去除函數(shù)束徑對應(yīng)的脈沖電壓幅值。
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