[發明專利]測定異常檢測裝置及測定異常檢測方法

有效

• 申請號: 202110565378.6
• 申請日: 2021-05-24
• 公開（公告）號: CN113720252B
• 公開（公告）日: 2023-04-11
• 發明（設計）人: 伊藤敦
• 申請（專利權）人: 株式會社愛發科
• 主分類號: G01B7/06
• 分類號: G01B7/06;C23C14/54;C23C14/24
• 代理公司: 上海和躍知識產權代理事務所(普通合伙) 31239
• 代理人: 洪磊

1.一種測定異常檢測裝置，當使用對晶體振蕩器的發送信號的波形和對來自所述晶體振蕩器的所述發送信號響應的接收信號的振動波形之間的相關關系計算在所述晶體振蕩器堆積的膜厚的時間變化率時，作為測定異常而檢測所述膜厚的時間變化率暫時增減的現象，

在所述測定異常檢測裝置中，

對根據所述相關關系導出的相位或者虛數部設置基準，利用所述基準確定能夠追隨所述測定異常的標本，對所述標本的時間變化量是否由所述測定異常引起進行評價，由此檢測所述測定異常，

所述基準是所述晶體振蕩器中的導納的虛數部或者阻抗的虛數部，

所述標本是所述晶體振蕩器中的導納的實數部或者阻抗的實數部。

2.根據權利要求1所述的測定異常檢測裝置，其中，

所述測定異常檢測裝置具備：

計算部，其計算所述膜厚的時間變化率；

檢測部，其將所述標本的時間變化量在正常范圍外作為所述測定異常；以及

控制部，其執行用于對所述檢測部剛剛檢測出所述測定異常之前的所述計算部的計算結果進行保持的保持處理，在所述標本的時間變化量返回正常范圍內時解除所述保持處理。

3.根據權利要求1或2所述的測定異常檢測裝置，其中，

使用用于收集所述相關關系的參數的第1傳感器部和用于收集所述相關關系的參數的第2傳感器部，

在使用一方傳感器部而得到的所述標本的時間變化量的評價中檢測出所述測定異常時，使用由另一方傳感器部收集的所述相關關系的參數計算所述膜厚的時間變化率。

4.根據權利要求3所述的測定異常檢測裝置，其中，

兩個電極位于所述晶體振蕩器中與蒸鍍源對置的側面，

所述第1傳感器部具備一方電極，

所述第2傳感器部具備另一方電極。

5.一種測定異常檢測方法，在使用對晶體振蕩器的發送信號的波形和對來自所述晶體振蕩器的所述發送信號響應的接收信號的振動波形之間的相關關系計算在所述晶體振蕩器堆積的膜厚的時間變化率時，作為測定異常而檢測所述膜厚的時間變化率暫時增減的現象，

在所述測定異常檢測方法中，

對根據所述相關關系導出的相位或者虛數部設置基準，利用所述基準確定能夠追隨所述測定異常的標本，評價所述標本的時間變化量是否由所述測定異常引起，由此檢測所述測定異常，

所述基準是所述晶體振蕩器中的導納的虛數部或者阻抗的虛數部，

所述標本是所述晶體振蕩器中的導納的實數部或者阻抗的實數部。