[發明專利]一種半導體級石英環的洗凈方法

有效

• 申請號: 202110565279.8
• 申請日: 2021-05-24
• 公開（公告）號: CN113231372B
• 公開（公告）日: 2022-01-14
• 發明（設計）人: 房玉林;楊軍;鄒琴
• 申請（專利權）人: 江蘇富樂德石英科技有限公司
• 主分類號: B08B1/04
• 分類號: B08B1/04;B08B3/02;B08B3/04;B08B3/08;B08B3/12
• 代理公司: 合肥錦輝利標專利代理事務所(普通合伙) 34210
• 代理人: 陳鑠

本發明公開了一種半導體級石英環的洗凈方法，該方法具體包括下述步驟：步驟一：選取出需要進行洗凈的產品，先用異丙醇來擦拭石英產品，除去粗的污染物和油脂；步驟二：在異丙醇擦拭后，通過沖洗裝置對產品表面進行純水沖洗，確保產品無可視污染物；步驟三：通過純水沖洗后將產品放入洗凈槽，對產品進行浸泡，浸泡時間控制30?50分鐘；步驟四：將在洗凈槽內浸泡過后的產品取出，再進行純水漂洗；本發明通過向下按動推動板，使得推動板帶動支撐桿向著遠離轉盤的方向運動，從而使得第一清洗頭與第二清洗頭之間的距離增加，將產品放入到沖洗槽內，快速對產品本體進行放置，節省清洗前準備工作所消耗的時間，提高工作效率。

技術領域

本發明涉及一種清洗方法，具體為一種半導體級石英環的洗凈方法，屬于石英環加工處理應用技術領域。

背景技術

隨著電子產業的發展，對晶圓和相關件的表面質量要求也越來越高；其表面潔凈度將會嚴重影響器件的成品率和進入下一步工藝的品質；

石英制品由于其純度非常高、耐熱性、透光性、電氣絕緣性、化學穩定性都很優良，被大量應用于半導體設備，所以對石英表面的潔凈度的要求越來越高，已有的洗凈工藝已經不能滿足石英行業的需求，更先進的洗凈技術一直是目前需要突破的技術難點；

目前的洗凈工藝無法很好的去除石英產品表面的有機物、顆粒物和無機金屬離子的污染物，尤其是洗凈后的金屬離子殘留量相對于目前工藝有顯著降低，大大提高了送至第三方洗凈的洗凈成本及運輸成本，且在產品加工周期的控制上無法達到理想，為此，我們提出一種半導體級石英環的洗凈方法。

發明內容

本發明的目的就在于提供一種半導體級石英環的洗凈方法。

本發明的目的可以通過以下技術方案實現：一種半導體級石英環的洗凈方法，該方法具體包括下述步驟：

步驟一：選取出需要進行洗凈的產品，先用異丙醇來擦拭石英產品，除去粗的污染物和油脂；

步驟二：在異丙醇擦拭后，通過沖洗裝置對產品表面進行純水沖洗，確保產品無可視污染物；

步驟三：通過純水沖洗后將產品放入洗凈槽，對產品進行浸泡，浸泡時間控制30-50分鐘；

步驟四：將在洗凈槽內浸泡過后的產品取出，再進行純水漂洗；

步驟五：純水漂洗后進行酸洗，酸洗后目視無可視污染物；

步驟六：對酸洗后的產品進行純水漂洗，漂洗時間為20-30秒，溢流速度5-10L/min；

步驟七：對純水漂洗后的產品進行第一次超聲波清洗；

步驟八：超聲波清洗后進行第一次吹干，氣槍壓力0.5-1Mpa，吹干為止；

步驟九：第一次吹干后進行受入檢查；

步驟十：產品受入檢查后再進行第二次超聲波清洗，強度控制在40-60W/m²，溢流速度5-10L/min，洗凈時間控制在40-60分鐘；

步驟十一：對第二次超聲波清洗后的產品進行第二次吹干，氣槍壓力0.5-1Mpa，吹干為止；

步驟十二：第二次吹干后將產品放進烘干爐進行烘干，烘干溫度控制在150℃-200℃之間，烘干時間控制在30-40分鐘；

步驟十三：最后進行包裝，包裝袋內需抽真空，包裝袋材質采用PVC材質。

本發明的進一步技術改進在于：步驟二中純水沖洗的具體方法為：每個產品每遍需沖洗5-10秒，沖洗3-6遍。

本發明的進一步技術改進在于：步驟四中的純水漂洗具體方法為：漂洗時間5-10秒，溢流速度5-10L/min。