[發(fā)明專利]一種三軸陀螺儀

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110565198.8
• 申請(qǐng)日: 2021-05-24
• 公開（公告）號(hào): CN113203405A
• 公開（公告）日: 2021-08-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 凌方舟;丁希聰;蔣樂(lè)躍;劉堯
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 美新半導(dǎo)體（天津）有限公司
• 主分類號(hào): G01C19/5691
• 分類號(hào): G01C19/5691
• 代理公司: 蘇州簡(jiǎn)理知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32371
• 代理人: 龐聰雅

1.一種三軸陀螺儀，其特征在于，其包括：

第一驅(qū)動(dòng)框架，其能夠沿X軸進(jìn)行諧振運(yùn)動(dòng)；

第二驅(qū)動(dòng)框架，其與第一驅(qū)動(dòng)框架平行且間隔預(yù)定距離，其能夠沿X軸進(jìn)行與第一驅(qū)動(dòng)框架反向的諧振運(yùn)動(dòng)；

連接于第一驅(qū)動(dòng)框架和第二驅(qū)動(dòng)框架之間的X/Y陀螺結(jié)構(gòu)；

連接于第一驅(qū)動(dòng)框架和第二驅(qū)動(dòng)框架之間且位于所述X/Y陀螺結(jié)構(gòu)一側(cè)的Z陀螺結(jié)構(gòu)；

其中，所述X/Y陀螺結(jié)構(gòu)與所述Z陀螺結(jié)構(gòu)相互獨(dú)立，所述X/Y陀螺結(jié)構(gòu)和Z陀螺結(jié)構(gòu)均是由所述第一驅(qū)動(dòng)框架和第二驅(qū)動(dòng)框架共同驅(qū)動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三軸陀螺儀，其特征在于，其還包括：

第一驅(qū)動(dòng)框架錨點(diǎn)；

第一驅(qū)動(dòng)框架支撐梁，其連接于第一驅(qū)動(dòng)框架錨點(diǎn)和第一驅(qū)動(dòng)框架之間；

第二驅(qū)動(dòng)框架錨點(diǎn)；

第二驅(qū)動(dòng)框架支撐梁，其連接于第二驅(qū)動(dòng)框架錨點(diǎn)和第二驅(qū)動(dòng)框架之間；

設(shè)置于第一驅(qū)動(dòng)框架內(nèi)的第一驅(qū)動(dòng)電極和第一驅(qū)動(dòng)反饋電極；

設(shè)置于第二驅(qū)動(dòng)框架內(nèi)的第二驅(qū)動(dòng)電極和第二驅(qū)動(dòng)反饋電極；

通過(guò)在第一驅(qū)動(dòng)電極上施加驅(qū)動(dòng)電壓驅(qū)動(dòng)第一驅(qū)動(dòng)框架沿X軸進(jìn)行諧振運(yùn)動(dòng)；

通過(guò)在第二驅(qū)動(dòng)電極上施加驅(qū)動(dòng)電壓驅(qū)動(dòng)第二驅(qū)動(dòng)框架沿X軸進(jìn)行與第一驅(qū)動(dòng)框架反向的諧振運(yùn)動(dòng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的三軸陀螺儀，其特征在于，

第一驅(qū)動(dòng)電極、第一驅(qū)動(dòng)反饋電極、第二驅(qū)動(dòng)電極和第二驅(qū)動(dòng)反饋電極固定設(shè)置于基底上，第一驅(qū)動(dòng)框架通過(guò)第一驅(qū)動(dòng)框架支撐梁與第一驅(qū)動(dòng)框架錨點(diǎn)連接，第一驅(qū)動(dòng)框架和第一驅(qū)動(dòng)框架支撐梁懸置于所述基底上方，第二驅(qū)動(dòng)框架通過(guò)第二驅(qū)動(dòng)框架支撐梁與第二驅(qū)動(dòng)框架錨點(diǎn)連接，第二驅(qū)動(dòng)框架和第二驅(qū)動(dòng)框架支撐梁懸置于所述基底上方。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三軸陀螺儀，其特征在于，所述X/Y陀螺結(jié)構(gòu)包括：

第一X/Y驅(qū)動(dòng)耦合梁和第二X/Y驅(qū)動(dòng)耦合梁；

第一質(zhì)量塊、第二質(zhì)量塊、第三質(zhì)量塊和第四質(zhì)量塊，分別設(shè)置于所述X/Y陀螺結(jié)構(gòu)的中心點(diǎn)A的上下左右四個(gè)位置，第一質(zhì)量塊與第三質(zhì)量塊和第四質(zhì)量塊相鄰設(shè)置，第二質(zhì)量塊與第三質(zhì)量塊和第四質(zhì)量塊相鄰設(shè)置，第一質(zhì)量塊通過(guò)第一X/Y驅(qū)動(dòng)耦合梁與第一驅(qū)動(dòng)框架相連，第二質(zhì)量塊通過(guò)第二X/Y驅(qū)動(dòng)耦合梁與第二驅(qū)動(dòng)框架相連；

四個(gè)轉(zhuǎn)向梁錨點(diǎn)和四個(gè)轉(zhuǎn)向梁，其中每個(gè)轉(zhuǎn)向梁與對(duì)應(yīng)的一個(gè)轉(zhuǎn)向梁錨點(diǎn)相連，相鄰的兩個(gè)質(zhì)量塊通過(guò)對(duì)應(yīng)的一個(gè)轉(zhuǎn)向梁相連；

其中，在第一驅(qū)動(dòng)框架沿X軸進(jìn)行諧振運(yùn)動(dòng)，第二驅(qū)動(dòng)框架沿X軸進(jìn)行與第一驅(qū)動(dòng)框架反向的諧振運(yùn)動(dòng)時(shí)，第一驅(qū)動(dòng)框架通過(guò)第一X/Y驅(qū)動(dòng)耦合梁帶動(dòng)第一質(zhì)量塊沿X軸進(jìn)行諧振運(yùn)動(dòng)，第二驅(qū)動(dòng)框架通過(guò)第二X/Y驅(qū)動(dòng)耦合梁帶動(dòng)第二質(zhì)量塊沿X軸進(jìn)行與第一質(zhì)量塊反向的諧振運(yùn)動(dòng)，第一質(zhì)量塊和第二質(zhì)量塊通過(guò)相應(yīng)的轉(zhuǎn)向梁進(jìn)而帶動(dòng)第三質(zhì)量塊沿Y軸進(jìn)行諧振運(yùn)動(dòng)，通過(guò)相應(yīng)的轉(zhuǎn)向梁進(jìn)而帶動(dòng)第四質(zhì)量塊沿Y軸進(jìn)行與第三質(zhì)量塊反向的諧振運(yùn)動(dòng)，

X軸和Y軸垂直并且定義了所述X/Y陀螺結(jié)構(gòu)所在的平面，Z軸垂直于X軸和Y軸所定義的平面。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的三軸陀螺儀，其特征在于，所述X/Y陀螺結(jié)構(gòu)還包括：

位于所述X/Y陀螺結(jié)構(gòu)的中心點(diǎn)A的X/Y中心耦合梁，

分別連接于對(duì)應(yīng)的質(zhì)量塊內(nèi)側(cè)的四個(gè)連接梁，每個(gè)連接梁都連接至所述X/Y中心耦合梁。