[發(fā)明專利]一種三軸陀螺儀

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110565176.1
• 申請日: 2021-05-24
• 公開（公告）號: CN113203404A
• 公開（公告）日: 2021-08-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 丁希聰;凌方舟;蔣樂躍;黃黎
• 申請（專利權(quán)）人: 美新半導(dǎo)體（天津）有限公司
• 主分類號: G01C19/5691
• 分類號: G01C19/5691
• 代理公司: 蘇州簡理知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32371
• 代理人: 龐聰雅

1.一種三軸陀螺儀，其特征在于，其包括：

第一驅(qū)動框架，其位于左側(cè)，其能夠沿Y軸進(jìn)行上下方向的諧振運(yùn)動；

第二驅(qū)動框架，其位于右側(cè)，其與第一驅(qū)動框架平行且間隔預(yù)定距離，其能夠沿Y軸進(jìn)行與第一驅(qū)動框架反向的諧振運(yùn)動；

連接于第一驅(qū)動框架和第二驅(qū)動框架之間的X/Y陀螺結(jié)構(gòu)；

連接于第一驅(qū)動框架和第二驅(qū)動框架外側(cè)的Z陀螺結(jié)構(gòu)；

其中，所述X/Y陀螺結(jié)構(gòu)與所述Z陀螺結(jié)構(gòu)相互獨(dú)立，所述X/Y陀螺結(jié)構(gòu)和Z陀螺結(jié)構(gòu)均是由所述第一驅(qū)動框架和第二驅(qū)動框架共同驅(qū)動。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三軸陀螺儀，其特征在于，其還包括：

第一驅(qū)動框架錨點(diǎn)；

第一驅(qū)動框架支撐梁，其連接于第一驅(qū)動框架錨點(diǎn)和第一驅(qū)動框架之間；

第二驅(qū)動框架錨點(diǎn)；

第二驅(qū)動框架支撐梁，其連接于第二驅(qū)動框架錨點(diǎn)和第二驅(qū)動框架之間；

設(shè)置于第一驅(qū)動框架內(nèi)的第一驅(qū)動電極和第一驅(qū)動反饋電極；

設(shè)置于第二驅(qū)動框架內(nèi)的第二驅(qū)動電極和第二驅(qū)動反饋電極；

通過在第一驅(qū)動電極上施加驅(qū)動電壓驅(qū)動第一驅(qū)動框架沿Y軸進(jìn)行諧振運(yùn)動；

通過在第二驅(qū)動電極上施加驅(qū)動電壓驅(qū)動第二驅(qū)動框架沿Y軸進(jìn)行與第一驅(qū)動框架反向的諧振運(yùn)動。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的三軸陀螺儀，其特征在于，

第一驅(qū)動電極、第一驅(qū)動反饋電極、第二驅(qū)動電極和第二驅(qū)動反饋電極固定設(shè)置于基底上，第一驅(qū)動框架通過第一驅(qū)動框架支撐梁與第一驅(qū)動框架錨點(diǎn)連接，第一驅(qū)動框架和第一驅(qū)動框架支撐梁懸置于所述基底上方，第二驅(qū)動框架通過第二驅(qū)動框架支撐梁與第二驅(qū)動框架錨點(diǎn)連接，第二驅(qū)動框架和第二驅(qū)動框架支撐梁懸置于所述基底上方。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三軸陀螺儀，其特征在于，所述X/Y陀螺結(jié)構(gòu)包括：

第一X/Y驅(qū)動耦合梁和第二X/Y驅(qū)動耦合梁；

第一質(zhì)量塊、第二質(zhì)量塊、第三質(zhì)量塊和第四質(zhì)量塊，分別設(shè)置于所述X/Y陀螺結(jié)構(gòu)的中心點(diǎn)A的上下左右四個位置，第一質(zhì)量塊與第三質(zhì)量塊和第四質(zhì)量塊相鄰設(shè)置，第二質(zhì)量塊與第三質(zhì)量塊和第四質(zhì)量塊相鄰設(shè)置，第三質(zhì)量塊通過第一X/Y驅(qū)動耦合梁與第一驅(qū)動框架相連，第四質(zhì)量塊通過第二X/Y驅(qū)動耦合梁與第二驅(qū)動框架相連；

四個轉(zhuǎn)向梁錨點(diǎn)和四個轉(zhuǎn)向梁，其中每個轉(zhuǎn)向梁與對應(yīng)的一個轉(zhuǎn)向梁錨點(diǎn)相連，相鄰的兩個質(zhì)量塊通過對應(yīng)的一個轉(zhuǎn)向梁相連；

其中，在第一驅(qū)動框架沿Y軸進(jìn)行諧振運(yùn)動，第二驅(qū)動框架沿Y軸進(jìn)行與第一驅(qū)動框架反向的諧振運(yùn)動時，第一驅(qū)動框架通過第一X/Y驅(qū)動耦合梁帶動第三質(zhì)量塊沿Y軸進(jìn)行諧振運(yùn)動，第二驅(qū)動框架通過第二X/Y驅(qū)動耦合梁帶動第四質(zhì)量塊沿Y軸進(jìn)行與第三質(zhì)量塊反向的諧振運(yùn)動，第三質(zhì)量塊和第四質(zhì)量塊通過相應(yīng)的轉(zhuǎn)向梁進(jìn)而帶動第一質(zhì)量塊沿X軸進(jìn)行諧振運(yùn)動，通過相應(yīng)的轉(zhuǎn)向梁進(jìn)而帶動第二質(zhì)量塊沿X軸進(jìn)行與第一質(zhì)量塊反向的諧振運(yùn)動，

X軸和Y軸垂直并且定義了所述X/Y陀螺結(jié)構(gòu)所在的平面，Z軸垂直于X軸和Y軸所定義的平面。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的三軸陀螺儀，其特征在于，所述X/Y陀螺結(jié)構(gòu)還包括：

位于所述X/Y陀螺結(jié)構(gòu)的中心點(diǎn)A的X/Y中心耦合梁，

分別連接于對應(yīng)的質(zhì)量塊內(nèi)側(cè)的四個連接梁，每個連接梁都連接至所述X/Y中心耦合梁。