[發(fā)明專利]一種螺旋波-離子回旋共振耦合放電系統(tǒng)在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202110564526.2 | 申請(qǐng)日： | 2021-05-24 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN113133174A | 公開(kāi)（公告）日： | 2021-07-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 萇磊;袁小剛;楊鑫;周海山;羅廣南 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 中國(guó)科學(xué)院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院 |
| 主分類號(hào)： | H05H1/24 | 分類號(hào)： | H05H1/24;H05H1/46;H05H1/16 |
| 代理公司： | 北京科迪生專利代理有限責(zé)任公司 11251 | 代理人： | 李曉莉 |
| 地址： | 230031 安徽省*** | 國(guó)省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 螺旋 離子 回旋 共振 耦合 放電 系統(tǒng) | ||
1.一種螺旋波-離子回旋共振耦合放電系統(tǒng)，其特征在于，包括依次設(shè)置的進(jìn)氣管道(1)、進(jìn)氣密封(2)、放電管(4)、螺旋波天線(5)、隔離板(6)、離子回旋天線(8)、擴(kuò)散隔板(9)、擴(kuò)散密封(10)、擴(kuò)散泵口(12)、磁體線圈(13)、天線泵口(14)；系統(tǒng)主要包括螺旋波放電室(3)、離子回旋加熱室(7)和擴(kuò)散室(11)，其中，螺旋波放電室(3)的一端設(shè)置有進(jìn)氣管道(1)，進(jìn)氣管道(1)與螺旋波放電室(3)連接處設(shè)置有進(jìn)氣密封(2)；螺旋波放電室(3)內(nèi)設(shè)置有放電管(4)和螺旋波天線(5)；隔離板(6)連接天線側(cè)分為螺旋波放電室(3)和離子回旋加熱室(7)，離子回旋加熱室(7)內(nèi)設(shè)置有離子回旋天線(8)；擴(kuò)散室(11)通過(guò)擴(kuò)散隔板(9)、擴(kuò)散密封(10)與螺旋波放電室(3)、離子回旋加熱室(7)隔絕真空；擴(kuò)散室(11)一側(cè)設(shè)置有擴(kuò)散泵口(12)；螺旋波放電室(3)和離子回旋加熱室(7)外側(cè)均環(huán)繞有磁體線圈(13)；螺旋波放電室(3)的一側(cè)設(shè)置有天線泵口(14)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種螺旋波-離子回旋共振耦合放電系統(tǒng)，其特征在于：等離子體激發(fā)、加熱和擴(kuò)散進(jìn)行分段式結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種螺旋波-離子回旋共振耦合放電系統(tǒng)，其特征在于：螺旋波天線與離子回旋加熱天線均置于真空環(huán)境。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種螺旋波-離子回旋共振耦合放電系統(tǒng)，其特征在于：通過(guò)螺旋波-離子回旋加熱的高效耦合，實(shí)現(xiàn)脈沖或連續(xù)多模式放電。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種螺旋波-離子回旋共振耦合放電系統(tǒng)，其特征在于：等離子體擴(kuò)散腔獲得電子密度為1015-1019m-3，離子溫度為0-100eV的等離子體。
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