[發(fā)明專利]空間等離子體儀器定標(biāo)離子源裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202110563062.3 | 申請(qǐng)日： | 2021-05-24 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN113314392B | 公開（公告）日： | 2022-12-30 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 章玉康;李毅人 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | H01J49/10 | 分類號(hào)： | H01J49/10;H01J49/02 |
| 代理公司： | 北京科迪生專利代理有限責(zé)任公司 11251 | 代理人： | 李曉莉 |
| 地址： | 230026 安*** | 國(guó)省代碼： | 安徽;34 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 空間 等離子體 儀器 定標(biāo) 離子源 裝置 | ||
1.一種空間等離子體儀器定標(biāo)離子源裝置，其特征在于，所述空間等離子體儀器定標(biāo)離子源裝置包括電離腔(14)、差分泵(20)、熱陰極燈絲(10)放電裝置和加速電場(chǎng)產(chǎn)生裝置(15)，加速電場(chǎng)產(chǎn)生裝置(15)包括正電極(16)、接地極(17)和負(fù)電極(18)；熱陰極燈絲(10)放電裝置裝配于電離腔(14)一側(cè)，電離腔(14)另一側(cè)固定加速電場(chǎng)產(chǎn)生裝置(15)，都與電離腔(14)相連通；加速電場(chǎng)產(chǎn)生裝置(15)中心處整體開通孔，包括三層金屬柵網(wǎng)，分別作為電場(chǎng)區(qū)域的正電極(16)、接地極(17)和負(fù)電極(18)；差分泵(20)裝配在加速電場(chǎng)產(chǎn)生裝置(15)的一側(cè)；所述熱陰極燈絲(10)放電裝置使用鎢絲作為電子產(chǎn)生材料，所述鎢絲連接至電源(11)；所述通孔的直徑為10厘米；所述差分泵(20)與所述加速電場(chǎng)產(chǎn)生裝置(15)相連接，所述差分泵(20)與所述電離腔(14)相連通；
所述的通孔為離子引出通孔(19)；
所述電離腔(14)設(shè)計(jì)有進(jìn)氣管道(13)和離子出射口(21)；
所述裝置在工作時(shí)，氣體進(jìn)入電離腔(14)中并充滿整個(gè)電離腔(14)，與此同時(shí)，為熱陰極燈絲(10)接通電壓源，鎢絲發(fā)熱產(chǎn)生熱電子，熱電子在電離腔(14)內(nèi)受電磁場(chǎng)作用發(fā)生運(yùn)動(dòng)并與氣體原子碰撞產(chǎn)生離子，離子在電離腔(14)內(nèi)被引出至加速電場(chǎng)產(chǎn)生裝置(15)。
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