[發(fā)明專利]一種應(yīng)用于輪輻式超導(dǎo)腔的滾磨拋光方法及裝置

在審

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• 申請日: 2021-05-21
• 公開（公告）號: CN113182943A
• 公開（公告）日: 2021-07-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 周全;賀斐思;潘衛(wèi)民;翟紀(jì)元
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院高能物理研究所
• 主分類號: B24B1/00
• 分類號: B24B1/00;B24B31/00
• 代理公司: 北京君尚知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11200
• 代理人: 司立彬

1.一種應(yīng)用于輪輻式超導(dǎo)腔的滾磨拋光方法，其步驟包括：

1)對輪輻腔進行超聲清洗和測量后進行輪輻腔自轉(zhuǎn)滾磨粗拋，粗拋設(shè)定厚度H1后進行步驟2)；其中，自轉(zhuǎn)滾磨粗拋過程中輪輻腔內(nèi)所用磨料為：潔凈水+拋光液+樹脂圓錐磨料；

2)對輪輻腔進行自轉(zhuǎn)滾磨細(xì)拋，精拋設(shè)定厚度H2后進行步驟3)；其中，自轉(zhuǎn)滾磨細(xì)拋過程中輪輻腔內(nèi)所用磨料為：潔凈水+800目純度98％以上的氧化鋁粉末+邊長5mm木方；

3)對輪輻腔進行自轉(zhuǎn)滾磨精拋設(shè)定厚度H3后停止；其中，自轉(zhuǎn)滾磨精拋過程中輪輻腔內(nèi)所用磨料為：潔凈水+40nm的二氧化硅拋光液+邊長5mm木方。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，自轉(zhuǎn)滾磨粗拋過程中先順時針自轉(zhuǎn)粗拋設(shè)定時間后反轉(zhuǎn)，進行逆時針自轉(zhuǎn)粗拋設(shè)定時間后再次反轉(zhuǎn)；進行多次反轉(zhuǎn)直至達到粗拋設(shè)定厚度H1。

3.如權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，粗拋設(shè)定厚度H1為20μm，每隔1小時反轉(zhuǎn)一次。

4.如權(quán)利要求1或2或3所述的方法，其特征在于，自轉(zhuǎn)滾磨精拋過程中先順時針自轉(zhuǎn)粗拋設(shè)定時間后反轉(zhuǎn)，進行逆時針自轉(zhuǎn)精拋設(shè)定時間后再次反轉(zhuǎn)；進行多次反轉(zhuǎn)直至達到精拋光設(shè)定厚度H3。

5.如權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，精拋到設(shè)定厚度H3為5μm，每隔3小時反轉(zhuǎn)一次；細(xì)拋設(shè)定厚度H2為10μm。

6.如權(quán)利要求1或2或3所述的方法，其特征在于，對輪輻腔進行超聲清洗的方法為：將輪輻腔整體放入超聲波清洗機中，使用金屬清潔劑按配比加入50℃熱水中超聲清洗30min以上；隨后取出用潔凈水沖洗干凈。

7.如權(quán)利要求1或2或3所述的方法，其特征在于，滾磨拋光過程中，輪輻腔的腔體溫度不超過30℃，以拋光設(shè)備穩(wěn)定運行為目標(biāo)確定輪輻腔的自轉(zhuǎn)速度。

8.如權(quán)利要求1或2或3所述的方法，其特征在于，輪輻腔內(nèi)填充1/3-2/3的磨料。

9.一種應(yīng)用于輪輻式超導(dǎo)腔的滾磨拋光裝置，其特征在于，包括電機、固定工裝和支撐工裝；其中所述固定工裝用于固定輪輻腔，所述固定工裝上設(shè)有一大輪盤，該大輪盤的旋轉(zhuǎn)軸與輪輻腔同軸；所述支撐工裝包括一底座，該底座上設(shè)有一對軸孔，該大輪盤的軸穿過該對軸孔，實現(xiàn)所述支撐工裝與所述固定工裝的連接；電機的小輪盤通過環(huán)帶帶動該大輪盤旋轉(zhuǎn)，實現(xiàn)輪輻腔自轉(zhuǎn)。

10.如權(quán)利要求9所述的滾磨拋光裝置，其特征在于，所述輪輻腔為單輪輻腔、雙輪輻腔或多輪輻腔。