[發明專利]用于光刻膠組合物的酸抑制劑、制備方法及光刻膠組合物

在審

• 申請號: 202110559802.6
• 申請日: 2021-05-21
• 公開（公告）號: CN113296360A
• 公開（公告）日: 2021-08-24
• 發明（設計）人: 陳慧;許翔
• 申請（專利權）人: 上海邃鑄科技有限公司
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004
• 代理公司: 上海段和段律師事務所 31334
• 代理人: 李佳俊;郭國中

1.一種光刻膠組合物，其特征在于，含有一種酸抑制劑，其為聚合物且其酸度系數pKa值為8-12，所述酸抑制劑的結構單元中含有氟原子，每摩爾酸抑制劑結構單元中含有氟原子的含量小于或等于6摩爾。

2.根據權利要求1所述的光刻膠組合物，其特征在于，所含酸抑制劑的結構如式1所示，

X-Y-Z 式1；

式1中Z表示pKa值大于8的基團，Y，Z中至少有一個為含有氟原子的基團，X具有式2所述結構，*為同Y鍵接的位置，X中不含氟原子；

其中R1、R2以及R3選自：氫、碳原子數1～12的烷基、碳原子數5～12的脂環式烷基以及碳原子數6～30的芳香基的一種或多種；

n為2-100的整數。

3.根據權利要求1或2所述的光刻膠組合物，其特征在于，所含酸抑制劑具體包括式3所示結構單元，

R4，R5，R6選自氫原子，碳原子數碳原子數1～12的烷基、碳原子數5～12的脂環式烷基、碳原子數6～30的芳香基的一種或多種；Fo，Fp以及Fq分別表示不同的氟原子，o、p以及q表示對應氟原子的個數；

其中，o、p以及q為0～6的整數，且o+p+q≤6，當有多個o、p以及q存在時，可以相同也可以不同；

酸抑制劑中所有式3所示結構單元中至少含有一種結構單元，其1≤o+p+q≤6。

4.根據權利要求1或2所述的光刻膠組合物，其特征在于，所述酸抑制劑具體包括式4所示結構單元，

R7，R8，R9選自氫原子，碳原子數碳原子數1～12的烷基、碳原子數5～12的脂環式烷基、碳原子數6～30的芳香基的一種或多種；其中(OH)a、(OH)b以及(OH)c分別表示不同的羥基，a、b以及c表示相應羥基的個數；Fo，Fp以及Fq分別表示不同的氟原子，o、p以及q表示對應氟原子的個數；

式4中，a、b、c、o、p以及q為0～6的整數，且o+p+q≤6，當有多個a、b、c、o、p以及q存在時，可以相同也可以不同；

酸抑制劑中所有式4所示結構單元中至少含有一種結構單元，其為1≤o+p+q≤6。

5.一種制備如權利要求1-4中任一項所述的光刻膠中酸抑制劑的制備方法，其特征在于，所述制備方法包括如下步驟：

步驟A：將含有羥基的單體通過聚合反應得到相應的聚合物；

步驟B:將步驟A所得的聚合物通過氟化反應得到所述的酸抑制劑。

6.根據權利要求5所述的光刻膠中酸抑制劑的制備方法，其特征在于，在所述步驟A中，所述單體的結構式為如式5所示：

R10，R11，R12選自氫原子，碳原子數碳原子數1～12的烷基、碳原子數5～12的脂環式烷基、碳原子數6～30的芳香基的一種或多種；其中(OH)d、(OH)e以及(OH)f分別不同的羥基，d、e以及f表示相應羥基的個數，d，e以及f為0～6的整數，且0d+e+f≦6。

7.根據權利要求6所述的制備方法，其特征在于，在所述步驟B中，氟代試劑同所述酸抑制劑中所含式5結構單元的摩爾量的比為0.01～6。

8.根據權利要求1-4所述的光刻膠組合物，其特征在于，所述光刻膠組合物還包括具有酸活性的樹脂、光酸發生劑及有機溶劑。