[發明專利]金屬遮罩

在審

• 申請號: 202110557109.5
• 申請日: 2021-05-21
• 公開（公告）號: CN113416923A
• 公開（公告）日: 2021-09-21
• 發明（設計）人: 侯冠廷;李清鋒
• 申請（專利權）人: 達運精密工業股份有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56
• 代理公司: 北京市立康律師事務所 11805
• 代理人: 梁揮;孟超

1.一種金屬遮罩，其特征在于，包括：

至少一工作區塊，包括：

一周圍部，具有多個第一開口；

一中央部，具有多個第二開口，其中該周圍部圍繞并連接該中央部，而該周圍部的厚度大于該中央部的厚度；以及

一外圍空白區塊，圍繞并連接于該至少一工作區塊。

2.根據權利要求1所述的金屬遮罩，其特征在于，該金屬遮罩具有一第一表面與一相對該第一表面的第二表面，而所述第一開口與所述第二開口皆延伸至該第一表面與該第二表面，各該第一開口具有：

一第一環形凸棱，位于該第一表面與該第二表面之間；以及

一第一側壁，連接于該第一表面與該第一環形凸棱之間，其中所述第一環形凸棱實質上皆位于一參考平面，而該第一側壁與該參考平面之間形成一第一夾角，其中該第一夾角小于90度；

各該第二開口具有：

一第二環形凸棱，位于該第一表面與該第二表面之間；以及

一第二側壁，連接于該第一表面與該第二環形凸棱之間，其中所述第二環形凸棱實質上皆位于該參考平面，而該第二側壁與該參考平面之間形成一第二夾角，其中該第二夾角小于該第一夾角。

3.根據權利要求2所述的金屬遮罩，其特征在于，該周圍部內的所述第一夾角的變化從該外圍空白區塊朝向該中央部遞減。

4.根據權利要求1所述的金屬遮罩，其特征在于，該金屬遮罩具有一第一表面以及一相對該第一表面的第二表面，而所述第一開口與所述第二開口皆延伸至該第一表面與該第二表面，該第一表面具有多個點狀平面，而所述點狀平面分布于該周圍部，不分布于該外圍空白區塊。

5.根據權利要求4所述的金屬遮罩，其特征在于，該第一表面還具有多個端點，而所述端點僅分布于該中央部，不分布于該周圍部與該外圍空白區塊。

6.根據權利要求5所述的金屬遮罩，其特征在于，至少一該端點位于四個相鄰的所述第二開口之間。

7.根據權利要求4所述的金屬遮罩，其特征在于，至少一該點狀平面位于四個相鄰的所述第一開口之間。

8.根據權利要求1所述的金屬遮罩，其特征在于，所述第一開口與所述第二開口呈陣列排列。