[發明專利]一種低漏導高耐壓固態電介質薄膜電容器及其制備方法

有效

• 申請號: 202110557019.6
• 申請日: 2021-05-21
• 公開（公告）號: CN113410055B
• 公開（公告）日: 2022-10-25
• 發明（設計）人: 蘇振;李在房;宋嘉興;胡林;尹新星;金英芝
• 申請（專利權）人: 嘉興學院
• 主分類號: H01G4/33
• 分類號: H01G4/33;H01G4/10
• 代理公司: 上海科盛知識產權代理有限公司 31225
• 代理人: 蔣亮珠

1.一種低漏導高耐壓固態電介質薄膜電容器，其特征是：包括殼體及封裝在殼體內的電容器單元，所述電容器單元包括自上而下一次設置的上部電極、氧化物電介質薄膜、基底，所述氧化物電介質薄膜表面為一層結晶化的氧化物；

所述氧化物電介質薄膜為鋁氧化合物，厚度為200-300nm；

所述氧化物電介質薄膜表面經plasma處理得到結晶化的氧化物厚度為5-10nm。

2.根據權利要求1所述的一種低漏導高耐壓固態電介質薄膜電容器，其特征是：所述上部電極為金屬電極，厚度為150-250nm。

3.根據權利要求2所述的一種低漏導高耐壓固態電介質薄膜電容器，其特征是：所述上部電極沉積在氧化物電介質薄膜上。

4.一種如權利要求3所述的低漏導高耐壓固態電介質薄膜電容器的制備方法，其特征是：具體包括如下步驟：

(1)制備鋁氧化合物溶膠前驅體：

(1-1)將0.01-0.02mol異丙醇鋁進行研磨，隨后加入到50-60mL乙二醇乙醚中進行超聲分散10-30min，并于60-80℃恒溫攪拌0.5-1h；

(1-2)在步驟(1-1)所得的溶液中加入0.02-0.03mol乙酰丙酮，在60-80℃下恒溫攪拌0.5-1h，得到溶液；

(1-3)在步驟(1-2)所得的溶液中加入10mL冰醋酸，在60-80℃下恒溫攪拌0.5-1h，得到澄清的溶膠前驅體；

(2)將步驟(1-3)制得的溶膠前驅體涂覆在基底上，并進行熱處理，制得1層該氧化物薄膜；重復此步驟5-9次后，經450℃退火3-5h制得鋁氧化合物薄膜；

(3)將步驟(2)得到鋁氧化合物薄膜的表面經過Plasma，得到表面結晶化的鋁氧化合物薄膜；

(4)采用蒸發鍍膜法或磁控濺射法在上述鋁氧化合物薄膜上制備一層金屬薄膜作為上部電極，得到電容器單元；

(5)將制備好的電容器單元或將電容器單元組合，通過絕緣介質進行封裝固化，再進行兩端引線，制得低漏導高耐壓固態電介質薄膜電容器。

5.根據權利要求4所述的一種低漏導高耐壓固態電介質薄膜電容器的制備方法，其特征是：所述的步驟(2)中制備的鋁氧化合物薄膜的厚度為200-300nm。

6.根據權利要求4所述的一種低漏導高耐壓固態電介質薄膜電容器的制備方法，其特征是：所述的步驟(2)中所采用的基體為硬質或柔性基底，且基體為有機或無機材料。

7.根據權利要求4所述的一種低漏導高耐壓固態電介質薄膜電容器的制備方法，其特征是：所述的步驟(3)中鋁氧化合物薄膜表面Plasma處理時間為0.5-5min。

8.根據權利要求4所述的一種低漏導高耐壓固態電介質薄膜電容器的制備方法，其特征是：所述的步驟(3)中鋁氧化合物薄膜表面結晶化的鋁氧化合物厚度為5-10nm。