[發明專利]氧化物殼層包覆核殼結構粉體的環形生成裝置

有效

• 申請號: 202110554600.2
• 申請日: 2021-05-21
• 公開（公告）號: CN113299535B
• 公開（公告）日: 2022-05-10
• 發明（設計）人: 陳昱;柳彥博;孫乾泰
• 申請（專利權）人: 北京理工大學
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32;B01J13/02;B22F1/16;C23C8/36
• 代理公司: 北京高沃律師事務所 11569
• 代理人: 史云聰

1.一種氧化物殼層包覆核殼結構粉體的環形生成裝置，其特征在于：包括卡盤和布氣元件，所述布氣元件固定在所述卡盤上，且所述卡盤中部固定有噴管，所述噴管用于連通等離子噴槍，所述布氣元件用于連通供氧元件，供氧元件用于向所述布氣元件內提供氧氣，所述布氣元件的側壁上開設有至少一個出氧孔組，各所述出氧孔組包括多個在所述噴管周向呈環形布設的出氧孔，所述出氧孔用于排出氧氣，所述噴管能夠向各所述出氧孔之間噴射攜帶粉體的等離子體；

所述布氣元件包括至少一個布氣環和多個出氣柱，多個所述出氣柱圍繞所述卡盤的中心軸周向固定，各所述出氣柱之間圍成反應腔，所述出氣柱用于連通供氧元件；所述布氣環與所述噴管同軸設置，所述出氣柱均勻周向固定在所述布氣環的外壁上，且所述布氣環與所述出氣柱連通，一個所述布氣環上對應設有一個所述出氧孔組，多個所述出氧孔均勻開設于所述布氣環的內側壁上。

2.根據權利要求1所述的氧化物殼層包覆核殼結構粉體的環形生成裝置，其特征在于：所述卡盤內部中空，且各所述出氣柱均與所述卡盤內部連通，所述噴管與所述卡盤內部不連通，所述卡盤用于連通供氧元件。

3.根據權利要求2所述的氧化物殼層包覆核殼結構粉體的環形生成裝置，其特征在于：所述卡盤在遠離所述出氣柱的一端的端面上開設有多個充氧孔，所述充氧孔用于連通供氧元件。

4.根據權利要求3所述的氧化物殼層包覆核殼結構粉體的環形生成裝置，其特征在于：多個所述充氧孔圍繞所述卡盤的中心軸均勻周向固定。

5.根據權利要求2所述的氧化物殼層包覆核殼結構粉體的環形生成裝置，其特征在于：所述出氣柱的一端固定在所述卡盤上，另一端封堵，且各所述出氣柱上靠近所述卡盤中心軸的一側的側壁上均開設有多個所述出氧孔，各所述出氧孔沿所述出氣柱的軸向均勻排列，所述出氧孔用于向所述反應腔內通入氧氣。

6.根據權利要求2所述的氧化物殼層包覆核殼結構粉體的環形生成裝置，其特征在于：所述出氣柱為弧形管，且所述出氣柱的中部向遠離所述卡盤中心軸的方向彎曲。

7.根據權利要求1所述的氧化物殼層包覆核殼結構粉體的環形生成裝置，其特征在于：所述噴管與所述卡盤同軸設置。

8.根據權利要求1所述的氧化物殼層包覆核殼結構粉體的環形生成裝置，其特征在于：所述出氣柱為八個，所述布氣環為兩個，且兩個所述布氣環沿所述噴管的軸向排列。

9.根據權利要求1所述的氧化物殼層包覆核殼結構粉體的環形生成裝置，其特征在于：所述卡盤上遠離所述布氣元件的一側固定有若干個支腿，所述支腿用于支撐所述卡盤。