[發(fā)明專利]顯示面板制備工藝及顯示面板

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110554094.7
• 申請日: 2021-05-20
• 公開（公告）號: CN113284846A
• 公開（公告）日: 2021-08-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉寧;許程;周斌
• 申請（專利權(quán)）人: 合肥鑫晟光電科技有限公司;京東方科技集團(tuán)股份有限公司
• 主分類號: H01L21/77
• 分類號: H01L21/77;H01L27/12
• 代理公司: 北京華夏泰和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11662
• 代理人: 韓來兵

本申請總體來說涉及電子面板技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種顯示面板制備工藝及顯示面板，沉積層間介質(zhì)層并形成電極孔后，在柵極線上方增加過孔，即連接過孔，柵極線對應(yīng)連接過孔的位置形成連接層，連接層采用金屬材質(zhì)，當(dāng)連接過孔處的柵極線斷裂不良后，由于連接層覆蓋在柵極線上，連接層起到對柵極線的修復(fù)作用，保證柵極線的通路狀態(tài)，提高柵極線的穩(wěn)定性，且柵極線與連接層連接后，柵極線的導(dǎo)電能力進(jìn)一步增強(qiáng)，有利于減緩壓降。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請總體來說涉及電子面板技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種顯示面板制備工藝及顯示面板。

背景技術(shù)

TFT顯示器具有短溝道的特點(diǎn)，所以開態(tài)電流得以有效提升，顯示產(chǎn)品多采用頂柵型薄膜晶體管，當(dāng)前，顯示產(chǎn)品逐漸向大尺寸和高像素方向發(fā)展，需要越來越密的金屬布線密度，由于金屬布線越來越密，所以發(fā)生各種斷線不良的概率越來越高，維修成功率低，因此產(chǎn)品報(bào)廢率高。

發(fā)明內(nèi)容

在發(fā)明內(nèi)容部分中引入了一系列簡化形式的概念，這將在具體實(shí)施方式部分中進(jìn)一步詳細(xì)說明。本申請內(nèi)容部分并不意味著要試圖限定出所要求保護(hù)的技術(shù)方案的關(guān)鍵特征和必要技術(shù)特征，更不意味著試圖確定所要求保護(hù)的技術(shù)方案的保護(hù)范圍。

為了解決現(xiàn)有顯示面板的金屬布線斷線率高的技術(shù)問題，本申請的主要目的在于降低柵極線的斷線風(fēng)險(xiǎn)，提高產(chǎn)品的良品率，提供一種顯示面板制備工藝及顯示面板。

為實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本申請采用如下技術(shù)方案：

本申請方案一方面提供一種顯示面板制備工藝，包括：

在襯底基板形成柵極線及位于所述柵極線上層間介質(zhì)層；

在所述層間介質(zhì)層對應(yīng)所述柵極線形成有連接過孔；

在所述連接過孔內(nèi)的柵極線上形成連接層，以用于修復(fù)所述連接過孔處斷裂的柵極線。

進(jìn)一步的，在本方案的一些實(shí)施例中，上述顯示面板制備工藝還包括：

開設(shè)電極孔；

在所述層間介質(zhì)層表面形成圖案化的金屬層；

將所述連接過孔位置的第一金屬層與所述電極孔位置的第二金屬層孤立，所述第一金屬層位于所述柵極線上的部分形成所述連接層。

進(jìn)一步的，在本方案的一些實(shí)施例中，上述在襯底基板形成柵極線之后，包括：

在所述柵極線待與數(shù)據(jù)線的多個(gè)交疊位置形成鏤空結(jié)構(gòu)。

進(jìn)一步的，在本方案的一些實(shí)施例中，上述在所述層間介質(zhì)層對應(yīng)所述柵極線形成有連接過孔，包括：

所述柵極線位于兩個(gè)所述交疊位置之間形成有所述連接過孔。

本申請方案另一方面提供一種顯示面板，包括：

設(shè)置于襯底基板的柵極線；

層間介質(zhì)層，位于所述柵極線的上方，所述層間介質(zhì)層對應(yīng)所述柵極線設(shè)置有連接過孔；

連接層，設(shè)置于所述連接過孔內(nèi)的柵極線上，以用于修復(fù)所述連接過孔處斷裂的柵極線。

進(jìn)一步的，在本方案的一些實(shí)施例中，上述層間介質(zhì)層設(shè)置有電極孔及位于所述層間介質(zhì)層表面的第一金屬層和第二金屬層；

所述第一金屬層形成于所述連接過孔位置，所述第二金屬層形成于所述電極孔位置，所述第一金屬層和所述第二金屬層孤立設(shè)置，且所述第一金屬層位于所述柵極線上的部分形成所述連接層。

進(jìn)一步的，在本方案的一些實(shí)施例中，上述顯示面板包括數(shù)據(jù)線，所述柵極線在與所述數(shù)據(jù)線交疊位置設(shè)置有鏤空結(jié)構(gòu)。