[發明專利]高純度鈦粉、鎢鈦合金濺射靶材的制備方法及系統在審
| 申請號： | 202110553332.2 | 申請日： | 2021-05-20 |
| 公開（公告）號： | CN113275589A | 公開（公告）日： | 2021-08-20 |
| 發明（設計）人： | 陳簫簫;林勝樂;高利 | 申請（專利權）人： | 亞芯半導體材料（江蘇）有限公司 |
| 主分類號： | B22F9/30 | 分類號： | B22F9/30;B22F1/00;C23C14/34;C23C16/14 |
| 代理公司： | 常州市權航專利代理有限公司 32280 | 代理人： | 趙慧 |
| 地址： | 213000 江蘇省常州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 純度 鈦合金 濺射 制備 方法 系統 | ||
1.一種高純度鈦粉的制備方法，其特征在于，
采用氣相沉積法，將鈦的鹵化物加熱分解，以制得高純度鈦粉。
2.如權利要求1所述的制備方法，其特征在于，
所述鈦的鹵化物為四碘化鈦。
3.如權利要求1所述的制備方法，其特征在于，
所述鈦的鹵化物加熱分解的加熱溫度為1000～1500℃。
4.一種采用如權利要求1所述的制備方法制得的高純度鈦粉，其特征在于，
所述高純度鈦粉的純度不低于99.99％。
5.一種鎢鈦合金濺射靶材的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
步驟S1，先用氬氣吹掃整個管路后，關閉各管路，以排除各管路內的殘留空氣；
步驟S2，將氫氣和六氟化鎢分別通入反應器內，以使氫氣將六氟化鎢還原成高純金屬鎢并沉積在基體材料上；
步驟S3，向鈦的鹵化物原料罐內通入氬氣，并對其加熱，以將四碘化鈦分解后通入反應器內并沉積于基體材料，制得鎢鈦合金濺射靶材。
6.如權利要求5所述的制備方法，其特征在于，
所述氫氣與六氟化鎢的摩爾比為3：1。
7.如權利要求5所述的制備方法，其特征在于，
所述步驟S2中，將六氟化鎢加熱至120～180℃，所述基體材料的溫度為550～650℃。
8.如權利要求5所述的制備方法，其特征在于，
所述步驟S3中，對鈦的鹵化物加熱的加熱溫度為200～350℃；
所述基體材料的溫度為900～1500℃。
9.一種采用如權利要求8所述的制備方法制得的鎢鈦合金濺射靶材，其特征在于，
所述鎢鈦合金濺射靶材的純度不低于99.999％，氧含量低于300ppm。
10.一種制備鎢鈦合金濺射靶材的系統，其特征在于，包括：
反應器，以及與反應器相連的各原料罐；其中
各原料罐與所述反應器連接的管路上均設置有控制閥。
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