[發明專利]微型Fabry-Perot可調諧濾波器的制作方法在審
| 申請號： | 202110552298.7 | 申請日： | 2021-05-20 |
| 公開（公告）號： | CN115373137A | 公開（公告）日： | 2022-11-22 |
| 發明（設計）人： | 焦慶斌;譚鑫;馬振予 | 申請（專利權）人： | 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 |
| 主分類號： | G02B27/00 | 分類號： | G02B27/00;G02B26/00 |
| 代理公司： | 長春中科長光知識產權代理事務所(普通合伙) 22218 | 代理人： | 高一明;郭婷 |
| 地址： | 130033 吉林省長春*** | 國省代碼： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 微型 fabry perot 調諧 濾波器 制作方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種微型Fabry-Perot可調諧濾波器的制作方法，其特征在于，包括如下步驟：
S1、基于光學、力學結構、驅動電路、空氣阻尼四個要素建立計算模型，分析微型Fabry-Perot可調諧濾波器在不同光學間隙下的光譜透過率及在不同氣壓、不同電壓下的時間響應特性，確定所述計算模型的參數；
S2、基于所述計算模型采用多晶片共晶鍵合的真空封裝方法制作微型Fabry-Perot可調諧濾波器。
2.如權利要求1所述的微型Fabry-Perot可調諧濾波器的制作方法，其特征在于，在步驟S2之后還包括如下步驟：
S3、結合理論模型對所述微型Fabry-Perot可調諧濾波器的光譜特性、開關時間響應與諧振頻率進行測試與評估，并測試所述微型Fabry-Perot可調諧濾波器的真空封裝的穩定性與使用壽命。
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