[發明專利]基于MEMS振鏡的高通量陣列掃描式LSPR傳感檢測系統

在審

• 申請號: 202110546624.3
• 申請日: 2021-05-19
• 公開（公告）號: CN113295651A
• 公開（公告）日: 2021-08-24
• 發明（設計）人: 耿照新;馮天泰
• 申請（專利權）人: 中央民族大學
• 主分類號: G01N21/552
• 分類號: G01N21/552;G01N21/01
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 王毅

1.一種基于MEMS振鏡的高通量陣列掃描式LSPR傳感檢測系統，其特征在于，包括：光學探測單元、傳感單元陣列、控制系統和數據記錄與處理單元；所述光學探測單元包括光源、光纖、光學探頭和反射鏡；所述傳感單元陣列包括孔板、置于孔板孔內的柔性芯片和孔板支架；所述控制系統包括計算機終端、步進電機和偏轉電機；所述數據記錄與處理單元包括光譜儀、光纖和計算機終端；其中，所述控制系統中的偏轉電機與所述光學探測單元中的反射鏡構成微電機系統MEMS振鏡，所述微電機系統MEMS振鏡用于按照預設的時間順序和預設的偏轉角度將接收到的光信號進行依次傳導；所述光信號為光學探測單元中光源提供的光信號；所述預設的偏轉角度由偏轉電機控制形成入射光路；

所述光學探測單元用于通過所述光源提供的光信號經所述光學探測單元中的所述光纖傳至所述光學探頭，并經所述微電機系統MEMS振鏡中的反射鏡入射到所述傳感單元陣列；

所述傳感單元陣列用于接收光信號，并通過所述柔性芯片使接收到的光信號按入射光路返回至所述光學探測單元中的光纖，并經光纖進入所述數據記錄與處理單元中的光譜儀實現數據光電轉換；

所述數據記錄與處理單元用于進行數據記錄與數據分析處理；

所述控制系統用于實現對不同探測對象的切換。

2.根據權利要求1所述的基于MEMS振鏡的高通量陣列掃描式LSPR傳感檢測系統，其特征在于，所述孔板和置于孔板孔內的柔性芯片構成柔性芯片陣列，所述柔性芯片陣列用于附帶探測對象。

3.根據權利要求2所述的基于MEMS振鏡的高通量陣列掃描式LSPR傳感檢測系統，其特征在于，所述柔性芯片陣列的表面為具有預設仰角的弧面。

4.根據權利要求1所述的基于MEMS振鏡的高通量陣列掃描式LSPR傳感檢測系統，其特征在于，所述光學探測單元中的光纖為單芯光纖。

5.根據權利要求1所述的基于MEMS振鏡的高通量陣列掃描式LSPR傳感檢測系統，其特征在于，所述光源的光譜范圍為200nm～1500nm。

6.根據權利要求1所述的基于MEMS振鏡的高通量陣列掃描式LSPR傳感檢測系統，其特征在于，所述數據記錄與處理單元中的計算機終端用于數據處理和控制步進電機和偏轉電機。

7.根據權利要求3所述的基于MEMS振鏡的高通量陣列掃描式LSPR傳感檢測系統，其特征在于，所述微電機系統MEMS振鏡位于所述柔性芯片陣列正上方30mm。

8.根據權利要求2所述的基于MEMS振鏡的高通量陣列掃描式LSPR傳感檢測系統，其特征在于，所述探測對象為病毒，或細菌，或蛋白質。

9.根據權利要求1所述的基于MEMS振鏡的高通量陣列掃描式LSPR傳感檢測系統，其特征在于，所述傳感單元陣列的所述孔板為九十六孔板。

10.根據權利要求1所述的基于MEMS振鏡的高通量陣列掃描式LSPR傳感檢測系統，其特征在于，所述光源系統為LED燈，或鹵素燈，或鈉燈，或汞燈。