[發(fā)明專利]一種敏感單元及光學(xué)陀螺儀

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110545032.X
• 申請(qǐng)日: 2021-05-19
• 公開（公告）號(hào): CN113280803A
• 公開（公告）日: 2021-08-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馮麗爽;青晨;劉丹妮;李慧;馮昌坤
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京航空航天大學(xué)
• 主分類號(hào): G01C19/72
• 分類號(hào): G01C19/72
• 代理公司: 北京高沃律師事務(wù)所 11569
• 代理人: 王愛濤

1.一種敏感單元，其特征在于，包括：相位調(diào)制芯片和波導(dǎo)諧振腔芯片，所述相位調(diào)制芯片的輸出端與所述波導(dǎo)諧振腔芯片的輸入端接觸連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種敏感單元，其特征在于，所述波導(dǎo)諧振腔芯片包括：芯片和刻蝕在所述芯片上的波導(dǎo)耦合器模塊和諧振腔，所述波導(dǎo)耦合器模塊的輸入端與所述相位調(diào)制芯片的輸出端連接，所述波導(dǎo)耦合器模塊的輸出端與所述諧振腔的輸入端連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種敏感單元，其特征在于，所述波導(dǎo)耦合器模塊包括：第一波導(dǎo)耦合器和第二波導(dǎo)耦合器，所述第一波導(dǎo)耦合器的輸入端與所述相位調(diào)制芯片的上調(diào)制臂連接，所述第一波導(dǎo)耦合器的輸出端與所述諧振腔的第一輸入端連接；所述第二波導(dǎo)耦合器的輸入端與所述相位調(diào)制芯片的下調(diào)制臂連接；所述第二波導(dǎo)耦合器的輸出端與所述諧振腔的第二輸入端連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種敏感單元，其特征在于，所述接觸連接的方式為片上耦合或端面耦合。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種敏感單元，其特征在于，所述諧振腔的材料為硅基材料。

6.一種光學(xué)陀螺儀，其特征在于，包括激光器、探測(cè)器模塊和如權(quán)利要求1-5中任意一項(xiàng)所述的敏感單元；

所述激光器與所述敏感單元中相位調(diào)制芯片的輸入端連接，所述敏感單元中波導(dǎo)諧振腔芯片的輸出端與所述探測(cè)器模塊的輸入端連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種光學(xué)陀螺儀，其特征在于，所述探測(cè)器模塊包括第一探測(cè)器和第二探測(cè)器，所述第一探測(cè)器的輸入端與所述波導(dǎo)諧振腔芯片的第一輸出端連接；所述第二探測(cè)器的輸入端與所述波導(dǎo)諧振腔芯片的第二輸出端連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種光學(xué)陀螺儀，其特征在于，所述激光器、所述探測(cè)器模塊和所述敏感單元之間接觸連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種光學(xué)陀螺儀，其特征在于，還包括：基底，所述激光器、所述探測(cè)器模塊和所述敏感單元均設(shè)置在所述基底上。

10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種光學(xué)陀螺儀，其特征在于，所述激光器為可調(diào)諧窄線寬激光器。