[發明專利]菲林片、金屬網格制備方法及金屬網格在審
| 申請號： | 202110544125.0 | 申請日： | 2021-05-18 |
| 公開（公告）號： | CN113176702A | 公開（公告）日： | 2021-07-27 |
| 發明（設計）人： | 蘇偉;胡守榮;葉宗和 | 申請（專利權）人： | 深圳市志凌偉業光電有限公司 |
| 主分類號： | G03F1/70 | 分類號： | G03F1/70 |
| 代理公司： | 深圳市世紀恒程知識產權代理事務所 44287 | 代理人： | 郝懷慶 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市龍華區觀瀾街道大富*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 菲林片 金屬 網格 制備 方法 | ||
1.一種菲林片，其特征在于，包括：
菲林片本體；以及
網格層，包括設于所述菲林片本體的表面的線路部分和網格部分，所述線路部分包括多條線路、由多條所述線路相交形成的多個交點、及設于所述線路上的斷點，所述網格部分包括多個由所述線路圍合形成的網格，所述斷點數量為多個，多個所述斷點呈折線狀排布，所述交點周圍的所述斷點數量為3個以下。
2.如權利要求1所述的菲林片，其特征在于，所述斷點的寬度為所述線路寬度的1/30至1倍。
3.如權利要求2所述的菲林片，其特征在于，所述斷點的寬度為所述線路寬度的1/25至1/2倍。
4.如權利要求1所述的菲林片，其特征在于，所述斷點長度延伸方向與所述線路延伸方向之間的夾角為45°-90°。
5.如權利要求4所述的菲林片，其特征在于，所述斷點長度延伸方向與所述線路延伸方向之間的夾角為60°-90°。
6.如權利要求5所述的菲林片，其特征在于，所述斷點長度延伸方向與所述線路延伸方向之間的夾角為90°。
7.一種金屬網格制備方法，其特征在于，包括：
在金屬片表面涂布感光材料形成感光層；
將所述金屬片貼附至如權利要求1-6任一項所述的菲林片上，進行曝光；
對所述金屬片使用顯影藥水；
對所述金屬片使用蝕刻液；
去除所述金屬片表面留下的所述感光層，得到完成圖案化的金屬網格。
8.如權利要求7所述的方法，其特征在于，當所述感光材料為負性光阻或干膜時，所述菲林片線路部分透光；
當所述感光材料為正性光阻時，所述菲林片的網格部分和斷點透光。
9.如權利要求7所述的方法，其特征在于，所述在所述金屬片表面涂布感光材料形成感光層的步驟之前或之后還包括：
對所述金屬片進行裁切。
10.一種金屬網格，其特征在于，所述金屬網格由權利要求7-9任一項所述的方法制成，金屬網格包括：
多條金屬線、及多個設于所述金屬線上的斷點。
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G03F 圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專用設備
G03F1-00 用于圖紋面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其專門適用于此的容器；其制備
G03F1-20 .用于通過帶電粒子束(CPB)輻照成像的掩膜或空白掩膜，例如通過電子束；其制備
G03F1-22 .用于通過100nm或更短波長輻照成像的掩膜或空白掩膜，例如 X射線掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM]；PSM空白；其制備
G03F1-36 .具有臨近校正特征的掩膜；其制備，例如光學臨近校正(OPC)設計工藝
G03F1-38 .具有輔助特征的掩膜，例如用于校準或測試的特殊涂層或標記；其制備
