[發明專利]金屬掩膜版框架上機加工表面劃傷的表面處理裝置及方法

有效

• 申請號: 202110543073.5
• 申請日: 2021-05-18
• 公開（公告）號: CN113334225B
• 公開（公告）日: 2023-03-10
• 發明（設計）人: 錢超;余洋
• 申請（專利權）人: 南京深光科技有限公司
• 主分類號: B24B29/02
• 分類號: B24B29/02;B24B41/04;B24B41/06;B24B49/12;B24B51/00;B24B55/00;G01N21/88
• 代理公司: 濟南鼎信專利商標代理事務所(普通合伙) 37245
• 代理人: 梁國海

1.金屬掩膜版框架上機加工表面劃傷的表面處理裝置，包括底板(1)和控制系統，其特征在于，所述底板(1)的頂部外壁上固定連接有插槽(14)，所述插槽(14)的內壁上插接有插板(22)，所述插板(22)的兩側外壁上均設有等距離分布的插管(23)，所述插管(23)的內部插接有粘附有研磨砂的棉球(24)，所述底板(1)的頂部外壁上固定連接有兩個支撐桿(9)，兩個所述支撐桿(9)的頂端固定連接有橫板(7)，所述橫板(7)底部外壁的兩側均設有連接風管(18)，兩個所述連接風管(18)的底端均固定連接有出風斗(19)，所述出風斗(19)的內壁上通過軸承連接有驅動扇(21)，且兩個出風斗(19)的底端均分別朝向兩邊，所述底板(1)頂部外壁的四角處均固定連接有支撐腿(2)。

2.根據權利要求1所述的金屬掩膜版框架上機加工表面劃傷的表面處理裝置，其特征在于，所述橫板(7)的頂部外壁上固定連接有風機(6)，風機(6)的出風口處固定連接在兩個連接風管(18)的頂端。

3.根據權利要求1所述的金屬掩膜版框架上機加工表面劃傷的表面處理裝置，其特征在于，所述底板(1)頂部外壁的兩側均設有安裝槽，兩個安裝槽的內壁上均通過軸承連接有反向螺紋桿(11)，兩個反向螺紋桿(11)的外壁上均設有兩個安裝滑塊(13)。

4.根據權利要求3所述的金屬掩膜版框架上機加工表面劃傷的表面處理裝置，其特征在于，所述底板(1)的一側外壁上固定連接有電機(3)，電機(3)輸出軸的一端連接在一個反向螺紋桿(11)的一端。

5.根據權利要求3所述的金屬掩膜版框架上機加工表面劃傷的表面處理裝置，其特征在于，兩個所述反向螺紋桿(11)靠近一端的外壁上設有同一個傳動皮帶(12)。

6.根據權利要求3所述的金屬掩膜版框架上機加工表面劃傷的表面處理裝置，其特征在于，四個所述安裝滑塊(13)頂部外壁的兩側均設有扭簧(15)，且四個安裝滑塊(13)上均通過扭簧(15)連接有兩個夾板(4)。

7.根據權利要求6所述的金屬掩膜版框架上機加工表面劃傷的表面處理裝置，其特征在于，兩個所述夾板(4)靠近兩端的相對一側外壁上均設有軟墊(17)，且兩個夾板(4)之間設有同一個掩膜版框架本體(5)。

8.根據權利要求1所述的金屬掩膜版框架上機加工表面劃傷的表面處理裝置，其特征在于，所述支撐桿(9)的兩側外壁上均設有側板(8)，側板(8)的一側外壁上設有掃描儀(20)。

9.根據權利要求1所述的金屬掩膜版框架上機加工表面劃傷的表面處理裝置，其特征在于，所述控制系統包括控制模塊、掃描模塊、顯示屏設備、信息處理模塊、報警模塊、驅動模塊和定時模塊，且控制系統分別控制掃描模塊、顯示屏設備、信息處理模塊、報警模塊、驅動模塊和定時模塊。

10.金屬掩膜版框架上機加工表面劃傷的表面處理裝置的使用方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1:首先，將加工前的金屬掩膜版框架本體(5)放置到裝置上的夾板(4)上，在扭簧(15)和夾板(4)的共同作用下，保證金屬掩膜版框架本體(5)可以穩定的固定在夾板(4)的中央，控制模塊控制驅動模塊工作，驅動模塊控制電機(3)開啟，電機(3)驅動其中一個反向螺紋桿(11)轉動，在傳動皮帶(12)的帶動下，另一個反向螺紋桿(11)同頻率轉動，在轉動時，由于安裝滑塊(13)分別設置在反向螺紋桿(11)螺紋方向相反的兩側外壁上，安裝滑塊(13)會帶動夾塊上的兩個金屬掩膜版框架本體(5)相向靠近中央位置的插板(22)；

S2:然后，控制系統中的控制模塊控制掃描模塊開始工作，工作中的掃描儀(20)可以檢測金屬掩膜版框架本體(5)相對面上的劃痕情況，同時通過信處理模塊的處理，劃痕信息可以形象的展示在顯示屏設備上，如果檢測到劃痕程度達到事先定下的設計閾值，控制模塊即會控制報警模塊進行報警；

S3:最后，將達到需要劃痕處理的金屬掩膜版框架本體(5)繼續靠近，同時將粘附有研磨砂的棉球(24)插入到對應的插管(23)內部，工作人員可以根據顯示器設備上的劃痕的分布情況，插入適當位置的棉球(24)，這樣當金屬掩膜版框架本體(5)靠近接觸到棉球(24)后，控制模塊控制風機(6)開啟，風機(6)通過連接風管(18)向出風斗(19)內部吹風，從而帶動出風斗(19)內的驅動扇(21)轉動，驅動扇(21)將風從出風口均勻的吹向與棉球(24)接觸的金屬掩膜版框架本體(5)表面，工作人員根據劃痕程度設置了固定時間，在工作到規定時間后，定時模塊將信息傳輸到控制模塊上，控制模塊控制裝置停止工作。