[發(fā)明專利]基于納米管復(fù)合結(jié)構(gòu)的自驅(qū)動寬波段光電探測器

在審

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• 申請日: 2021-05-18
• 公開（公告）號: CN113299834A
• 公開（公告）日: 2021-08-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張國偉;李振;裴宏銘;孫家林
• 申請（專利權(quán)）人: 西北工業(yè)大學(xué)
• 主分類號: H01L51/42
• 分類號: H01L51/42;H01L51/46;H01L51/44
• 代理公司: 西北工業(yè)大學(xué)專利中心 61204
• 代理人: 屠沛

1.一種基于納米管復(fù)合結(jié)構(gòu)的自驅(qū)動寬波段光電探測器，其特征在于：包括自下而上依次層疊設(shè)置的金屬基底、電子傳輸層、半透明光電轉(zhuǎn)換層；

其中，金屬基底作為光電探測器的下電極；

半透明光電轉(zhuǎn)換層作為光電探測器的上電極，采用碳納米管薄膜；

電子傳輸層采用二氧化鈦納米管陣列；

所述上電極依次通過上電極引線、電信號檢測設(shè)備以及下電極引線與下電極構(gòu)成回路；且上電極與上電極引線連接的區(qū)域下方設(shè)置有絕緣層。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述基于納米管復(fù)合結(jié)構(gòu)的自驅(qū)動寬波段光電探測器，其特征在于：

所述金屬基底采用厚度為0.5-5毫米的鈦片。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述基于納米管復(fù)合結(jié)構(gòu)的自驅(qū)動寬波段光電探測器，其特征在于：

所述碳納米管薄膜采用直徑為1-10納米的碳納米管。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一所述基于納米管復(fù)合結(jié)構(gòu)的自驅(qū)動寬波段光電探測器，其特征在于：

所述二氧化鈦納米管陣列采用外徑100-200納米、壁厚30-60納米、管長400-550納米的二氧化鈦納米管組成。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述基于納米管復(fù)合結(jié)構(gòu)的自驅(qū)動寬波段光電探測器，其特征在于：

所述二氧化鈦納米管的頂部為開口、底部為閉口，且橫截面呈圓形或多邊形。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述基于納米管復(fù)合結(jié)構(gòu)的自驅(qū)動寬波段光電探測器，其特征在于：

所述碳納米管薄膜的中部與電子傳輸層接觸，兩側(cè)與電子傳輸層間均設(shè)置有絕緣層。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述基于納米管復(fù)合結(jié)構(gòu)的自驅(qū)動寬波段光電探測器，其特征在于：

所述電信號檢測設(shè)備為安捷倫B2911A型測量源表。