[發(fā)明專利]智能壓力平衡控制系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110541512.9
• 申請日: 2021-05-18
• 公開（公告）號: CN113406980A
• 公開（公告）日: 2021-09-17
• 發(fā)明（設計）人: 陳奇志;鐘曉宏;何永文;肖岳意
• 申請（專利權）人: 凱德技術長沙股份有限公司
• 主分類號: G05D16/20
• 分類號: G05D16/20
• 代理公司: 長沙鑫澤信知識產權代理事務所(普通合伙) 43247
• 代理人: 李翠梅

本發(fā)明公開了智能壓力平衡控制系統(tǒng)，包括反應爐，所述反應爐的內壁固定連接有多個壓強檢測器，所述反應爐的兩側分別固定連接有進氣端和出氣端，所述反應爐的一側設有用于增加反應爐內壓強的加壓組件，所述反應爐的另一側設有用于降低反應爐內壓強的降壓組件，所述反應爐的一側固定連接有控制面板，本發(fā)明結構簡單，使用方便，通過啟動驅動電機和第一電動推桿可以分別打開進氣端與出氣端，方便平衡反應爐內的壓強，且通過啟動轉動電機和第二電動推桿可以使反應爐內的氣體分布均勻，方便在反應爐內不同位置的壓強檢測器檢測到準確的壓強，進而方便控制面板控制驅動電機、第一電動推桿、抽氣泵和吸氣泵來平衡反應爐內的壓強。

技術領域

本發(fā)明涉及壓力平衡控制技術領域，尤其涉及智能壓力平衡控制系統(tǒng)。

背景技術

半導體或太陽能擴散爐設備中，傳統(tǒng)的擴散爐生產工藝中采用非閉管方式，此種方式由于對爐內的壓力沒有約束和控制，不能達到相應的爐內壓力平衡，所以傳統(tǒng)設備在工藝水平上想要實現(xiàn)擴散工藝中爐內壓力平衡的標準具有一定的難度，隨著半導體工業(yè)的飛速發(fā)展，對擴散工藝均勻性及工藝擴展性的要求越來越高，同時對于擴散設備的爐內壓力控制提出了相應的全新標準，因此，擴散爐爐內壓力平衡的實現(xiàn)是半導體工業(yè)發(fā)展的一個關鍵環(huán)節(jié)。

現(xiàn)有技術中，無法有效、精準的對爐內壓力進行平衡控制，因此導致無法提高工藝水平，且在控制爐內壓力平衡時，由于爐內氣體分布不均勻，因此無法對爐內的壓強進行準確的檢測。

發(fā)明內容

本發(fā)明的目的是為了解決現(xiàn)有技術中存在的缺點，而提出的智能壓力平衡控制系統(tǒng)。

為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用了如下技術方案：

智能壓力平衡控制系統(tǒng)，包括反應爐，所述反應爐的內壁固定連接有多個壓強檢測器，所述反應爐的兩側分別固定連接有進氣端和出氣端，所述反應爐的一側設有用于增加反應爐內壓強的加壓組件，所述反應爐的另一側設有用于降低反應爐內壓強的降壓組件，所述反應爐的一側固定連接有控制面板，所述反應爐內設有用于使反應爐內氣體分布均勻的攪拌組件。

優(yōu)選地，所述加壓組件包括設置在反應爐一側的抽氣泵，所述抽氣泵的出氣管延伸至進氣端內，所述進氣端內滑動連接有擋板，且擋板的頂部滑動貫穿進氣端的頂部，所述進氣端的頂部轉動連接有轉輪，所述轉輪的外壁設有滑槽，所述擋板的一側頂部固定連接有與滑槽滑動連接的連接塊，所述進氣端的頂部固定連接有驅動電機，所述驅動電機的輸出軸與轉輪通過齒輪傳動。

優(yōu)選地，所述降壓組件包括設置在反應爐另一側的吸氣泵，所述吸氣泵的吸氣管延伸至出氣端內，所述出氣端內呈橫向轉動連接有轉軸，所述轉軸的外壁固定套設有轉動板，且轉動板的頂部與底部分別與出氣端的頂部內壁與底部內壁相碰觸，所述轉軸的一端轉動貫穿出氣端的一側并固定連接有第一齒輪，所述出氣端的一側固定連接有第一電動推桿，所述第一電動推桿的活塞桿固定連接有與第一齒輪相嚙合的第一齒條。

優(yōu)選地，所述攪拌組件包括設置在反應爐一側的轉動電機，所述反應爐內呈橫向轉動連接有兩個相對稱的轉動桿，所述轉動桿的外壁固定套設有圓套，所述圓套的外壁等距固定連接有多個攪拌葉，兩個所述轉動桿靠近轉動電機的一端均延伸至反應爐的一側并均固定連接有第一同步輪，所述轉動電機的輸出軸與其中一個轉動桿的一端固定連接，所述反應爐靠近轉動電機的一側轉動連接有第二同步輪和第三同步輪，所述第二同步輪、第三同步輪和兩個第一同步輪上傳動連接有同一個同步帶。

優(yōu)選地，所述反應爐內轉動連接有與轉動桿呈垂直方向的轉動軸，所述轉動軸的外壁固定套設有位于兩個圓套之間的滑動套，所述滑動套內滑動連接有兩個相對稱的滑動桿，所述滑動桿遠離轉動軸的一端均轉動連接有與圓套的外壁滑動連接的滑塊，所述轉動軸的一端延伸至反應爐的一側并固定連接有第二齒輪，所述反應爐的一側固定連接有第二電動推桿，所述第二電動推桿的活塞桿固定連接有與第二齒輪相嚙合的第二齒條。

優(yōu)選地，所述進氣端的頂部設有密封圈，且擋板的一側滑動貫穿密封圈，通過密封圈可以增加進氣端的密封性。