[發(fā)明專利]一種白K金靶材及其制備方法和應(yīng)用

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110538211.0
• 申請日: 2021-05-18
• 公開（公告）號(hào): CN113215431B
• 公開（公告）日: 2022-03-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 宋俊俊;劉革;常占河;趙宏達(dá);李婷
• 申請（專利權(quán)）人: 沈陽東創(chuàng)貴金屬材料有限公司
• 主分類號(hào): C22C5/06
• 分類號(hào): C22C5/06;C22C1/02;C22F1/14;C23C14/35
• 代理公司: 北京高沃律師事務(wù)所 11569
• 代理人: 劉奇

1.一種白K金靶材，其特征在于，以質(zhì)量分?jǐn)?shù)計(jì)，所述白K金靶材的組分為：Au 22~39%，Ag 53~71%，Cr 1~10%，Ge 0.3~3.0%，Sb 0.01~0.1%，Y 0.01~0.1%；所述白K金靶材在L*a*b*色度系下的L*值為94.51~97.45，a*值為-0.80~-1.14，b*值為4.52~6.52；所述白K金靶材的硬度為154.7~172.9HV_0.2。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的白K金靶材，其特征在于，以質(zhì)量分?jǐn)?shù)計(jì)，所述白K金靶材的組分為：Au 25~35%，Ag 55~68%，Cr 3~8%，Ge 0.5~2.5%，Sb 0.01~0.08%，Y 0.01~0.08%。

3.權(quán)利要求1~2任意一項(xiàng)所述白K金靶材的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

(1)將金、銀、鍺、鉻、釔和銻進(jìn)行熔化，將所得混合熔體精煉，得到合金液；

(2)將所述合金液澆鑄，得到合金錠；

(3)將所述合金錠銑面后依次進(jìn)行退火、熱軋、二次退火、二次熱軋，冷軋、剪切、校平和表面處理，得到白K金靶材。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的制備方法，其特征在于，所述步驟(1)中熔化的方法具體為：先將金加熱至1000~1300℃熔化，然后加入銀、鍺、鉻、釔和銻進(jìn)行加熱熔化。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的制備方法，其特征在于，所述精煉的時(shí)間為3~15min。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的制備方法，其特征在于，所述澆鑄具體為：將所述合金液澆入到預(yù)熱至300~400℃的銅模中，然后進(jìn)行水冷。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的制備方法，其特征在于，所述退火的溫度為600~750℃，退火的時(shí)間為1~1.5h；所述熱軋的加工量為20~30%；所述二次退火的溫度為600~700℃，二次退火的時(shí)間為1~1.5h；所述二次熱軋的加工量為20~30%。

8.權(quán)利要求1~2任意一項(xiàng)所述的白K金靶材或權(quán)利要求3~7任意一項(xiàng)所述制備方法制備的白K金靶材在磁控濺射鍍膜中的應(yīng)用。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的應(yīng)用，其特征在于，所述鍍膜所得膜層在L*a*b*色度系下的L*值為94.21~97.10，a*值為-0.83~-1.12，b*值為4.57~6.43。