[發明專利]一種IZO靶材的回收方法

在審

• 申請號: 202110537592.0
• 申請日: 2021-05-17
• 公開（公告）號: CN113149612A
• 公開（公告）日: 2021-07-23
• 發明（設計）人: 李開杰;邵學亮;張來穩;司振華;朱劉
• 申請（專利權）人: 先導薄膜材料（廣東）有限公司
• 主分類號: C04B35/01
• 分類號: C04B35/01;C04B35/453;C04B35/622;C04B35/626;C23C14/34
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 顏希文

1.一種IZO靶材的回收方法，其特征在于，包括以下步驟：

(1)將回收的IZO靶材經拋光及熱處理后，粉碎至顆粒為微米級，得前驅粉末A；

(2)將步驟(1)所得前驅粉末A置入燒結爐中升溫至550～900℃并保溫6～18h，得舊料粉末B；

(3)將氧化鋅和氧化銦按比例混合并置入球磨機中進行球磨處理，得新料粉末C；所述氧化鋅和氧化銦的質量比為1：(5～15)；

(4)將舊料粉末B和球磨機中的新料粉末C混合均勻，同時加入純水及添加劑并進行球磨處理，得球磨漿料D；所述添加劑包括分散劑和粘結劑，所述分散劑包括聚乙烯吡咯烷酮、聚羧酸系化合物、聚乙烯酸鹽中的至少一種，所述粘結劑包括聚乙烯醇、羧甲基纖維素、聚丙烯酰胺、聚丙烯酸鹽、聚乙二醇中的至少一種；

(5)將步驟(4)所得球磨漿料D進行噴霧造粒，即得IZO粉末。

2.如權利要求1所述IZO靶材的回收方法，其特征在于，步驟(1)所述熱處理的溫度為200～300℃，時間為4～12h。

3.如權利要求1所述IZO靶材的回收方法，其特征在于，步驟(3)所述球磨處理的轉速為42～48r/min，時間為6～12h。

4.如權利要求1所述IZO靶材的回收方法，其特征在于，步驟(4)所述添加的舊料粉末B與新料粉末C的質量比為0.9～1.4：1。

5.如權利要求1所述IZO靶材的回收方法，其特征在于，步驟(4)所述球磨漿料D中固體的質量含量為40～75％，漿料的粒度D₅₀＜0.5μm，D₉₀＜1μm。

6.如權利要求5所述IZO靶材的回收方法，其特征在于，所述分散劑的添加量占新料粉末C質量含量的1～15％，粘結劑的添加量占新料粉末C質量含量的1～15％。

7.如權利要求1所述IZO靶材的回收方法，其特征在于，步驟(4)所述球磨處理的轉速為42～48r/min，時間為24～48h。

8.如權利要求1所述IZO靶材的回收方法，其特征在于，步驟(5)所述噴霧造粒時的溫度為80～110℃。

9.一種IZO靶材的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：將權利要求1～8任一項所述IZO靶材的回收方法制備的IZO粉末經過干壓和冷等靜壓處理后，在常壓下燒結，即得所述IZO靶材。

10.如權利要求9所述IZO靶材的制備方法，其特征在于，所述燒結的具體步驟為：將材料以0.1～1℃/min升溫至600～1000℃，再以0.1～1℃/min升溫至1300～1550℃，保溫5～12h后，以1℃/min降溫至室溫。