[發(fā)明專利]梯度壓電復(fù)合材料及其制造方法、以及壓電換能器在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202110536479.0 | 申請(qǐng)日: | 2021-05-17 |
| 公開(公告)號(hào): | CN113394336A | 公開(公告)日: | 2021-09-14 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 岳晴雯;梁瑞虹;董顯林 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 中國(guó)科學(xué)院上海硅酸鹽研究所 |
| 主分類號(hào): | H01L41/18 | 分類號(hào): | H01L41/18;H01L41/187;H01L41/193;H01L41/29;H01L41/37;H04R17/00 |
| 代理公司: | 上海瀚橋?qū)@硎聞?wù)所(普通合伙) 31261 | 代理人: | 曹芳玲;鄒蘊(yùn) |
| 地址: | 200050 *** | 國(guó)省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 梯度 壓電 復(fù)合材料 及其 制造 方法 以及 換能器 | ||
1.一種梯度壓電復(fù)合材料,其特征在于,
是具備多層梯度復(fù)合結(jié)構(gòu)的梯度壓電復(fù)合材料;
所述梯度壓電復(fù)合材料包括作為壓電相的壓電材料和作為有機(jī)相的填充物;
所述壓電材料在工作面上開設(shè)有向遠(yuǎn)離該工作面的方向延伸多組有底凹槽;
所述多組有底凹槽的內(nèi)部填充有所述填充物;
所述多組有底凹槽的深度互不相同。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的梯度壓電復(fù)合材料,其特征在于,
所述多組有底凹槽以彼此平行或相交的形式設(shè)置于所述壓電材料的所述工作面。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的梯度壓電復(fù)合材料,其特征在于,
所述壓電材料為陶瓷壓電材料或單晶壓電材料。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的梯度壓電復(fù)合材料,其特征在于,
所述填充物為環(huán)氧樹脂或氧化物顆粒的環(huán)氧樹脂混合物。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的梯度壓電復(fù)合材料,其特征在于,
所述梯度壓電復(fù)合材料為1-3型梯度壓電復(fù)合材料或2-2型梯度壓電復(fù)合材料。
6.一種制造根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的梯度壓電復(fù)合材料的制造方法,其特征在于,包括以下步驟:
(1)準(zhǔn)備壓電材料;
(2)在所述壓電材料的工作面上制作一組有底凹槽;
(3)使用填充物填充所述有底凹槽;
(4)重復(fù)步驟(2)與步驟(3);
(5)制備電極并進(jìn)行極化。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的梯度壓電復(fù)合材料的制造方法,其特征在于,
所述步驟(2)中,通過切割或刻蝕方式在所述壓電材料的所述工作面上制作有底凹槽。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的梯度壓電復(fù)合材料的制造方法,其特征在于,
所述步驟(3)中,在所述填充物固化后,研磨去除多余的填充物至所述壓電材料表面平整。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的梯度壓電復(fù)合材料的制造方法,其特征在于,
所述步驟(4)中,每組有底凹槽的深度依次遞減。
10.一種壓電換能器,其特征在于,
包括背襯吸聲層、發(fā)聲壓電層和透聲匹配層;
所述發(fā)聲壓電層由權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的梯度壓電復(fù)合材料構(gòu)成。
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